1、学校编码： 分类号 密级 学号： UDC 硕 士 学 位 论 文锰氧化物膜、钛氧化物膜的模型制备和研究Preparation and Investigation of Model MnOx and TiOx Thin Films 指导教师姓名： 专 业 名 称：物 理 化 学论文提交日期： 论文答辩时间： 学位授予日期： 答辩委员会主席： 评 阅 人： 年 月摘要摘 要模型催化模拟真实催化反应，克服真实催化反应的复杂性。真实催化剂结构复杂，表面不均一，难以准确关联其构效关系。表面化学是从原子分子水平上研究多相催化反应体系催化剂的表面结构-催化性能关系和催化反应机理，从而指导催化剂的改进。本文主
2、要利用俄歇电子能谱(AES)、高分辨电子能量损失谱(HREELS) 和低能电子衍射 (LEED)对所制备的 MnOx/Rh(100)和 TiOx/Pt(111)反模型催化剂进行表征。以期研究 Rh 基催化剂加入助剂 Mn 的作用关系和利用TiOx/Pt(111)体系来研究 SMSI 的产生机理。一、干净的 Rh(100)单晶，在高氧分压氧化下，表面形成稳定的 O-Rh-O 三层结构；采用后氧化法，在 110-7 Torr 氧气中，700 K 温度氧化下蒸Mn，MnO x 膜呈层-层生长模式； HREELS 结果表明在低覆盖度时形成 O-Mn-O，对应的 HREELS 峰为 47 和 76 me
3、V；大于 1 ML 时，开始形成 Mn3O4 结构，在 800 K 以下温度退火，结构稳定。所以 MnOx/Rh(100)的稳定性能确保作为模型催化剂来研究反应的反应机理。二、规整有序的 TiOx 薄膜，在 Pt(111)面上，TiO x 薄膜以层状(Frank-van der Merwe)生长模式生长。小于 1ML 时，TiO x 薄膜以 Ti2O3 的形式生长，界面层以上，以 TiO2 的形式生长，同时界面层的 Ti2O3 能稳定存在。关键词：MnO x 薄膜；Rh(100)； TiOx 薄膜；Pt(111);AbstractAbstractModel catalyst has mimic
4、ed the real catalytic reaction, which can simply the complexity of the real catalyst. The real catalysts are usually complex and their surfaces are inhomogenous, which makes it difficult to be determined the structure-activity relationship. Surface chemistry is used to understand the relationship be
5、tween surface structure and the catalytic performance in heterogeneous catalysis reactions and also used to explore the mechanism of catalytic reaction at the atomic scale.This thesis work mainly used Auger electron spectroscopy(AES)，Low-energy electron diffraction(LEED) and High-resolution electron
6、 energy loss spectroscopy(HREELS) to study MnOx/Rh(100) and TiOx/Pt(111) inverse model catalysts. The work is in order to study the additives effect of MnOx to Rh catalyst and TiOx to Pt (111) for understanding the origin of strong metal-support interaction .(1) We have successfully grown MnOx thin
7、films on the Rh(100) surface, The growth of MnOx thin film on the Rh(100) surface follows a layer-by-layer mode. An O-Rh-O trilayer structure formed on the Rh(100) surface upon oxidized at oxygen pressures of above 510-6 Torr O2. Two phonon losses at 47 and 76meV observed for MnOx coverage below 1 M
8、L characterize an O-Mn-O trilayer structure formed on the Rh(100) surface. A Mn3O4-like structure was formed at coverages higher than 1 ML, which was stable in annealing at 800 K. The results presented here indicate that the MnOx/Rh(100) film can serve as a model catalyst system for studying the rea
9、ction mechanism of C2-oxygenates from syngas.(2) Ordered TiOx films can be prepared by reactive deposition Ti on Pt(111). The growth of TiOx thin film on the Pt(111) surface follows a layer-by-layer mode.Below 1ML,Ti2O3 formed on the surface. Above 1ML, TiO2 formed, meanwhile Ti2O3 existed stably at
10、 the interface.Key words: MnOx thin film; Rh(100) surface; TiOx thin film; Pt(111) surface;目录i目 录摘 要 IAbstractII第一章 绪论 11.1 引言 .11.2 论文的构思和目的 .51.3 论文的结构和概要 .6参考文献 .7第二章 实验部分 .112.1 实验仪器 112.2 表面分析技术和基本原理 .122.2.1 俄歇电子能谱(AES) .122.2.2 低能电子衍射(LEED) 152.2.3 高分辨电子能量损失谱(HREELS) 162.3 实验方法 182.3.1 样品单晶的清
11、洁 21-23182.3.2 氧化物薄膜的制备 182.3.3 氧化物薄膜的表征 20参考文献 .21第三章 MnOx/Rh(100)模型催化剂的制备及表征 .233.1 研究进展 23目录ii3.1.1 Rh 氧化物结构 .233.1.2 MnOx 薄膜的研究进展 .253.2 实验部分 273.2.1Rh(100)清洁和氧化 283.2.2MnOx 薄膜制备 283. 3 结果和讨论 283.3.1 Rh(100)表面氧化物结构 .283.3.2 MnOx 制备条件和标定 .323.3.3 MnOx 膜的考察 .353.3.4 MnOx 膜的稳定性 363.4 小结 .38参考文献 .39
12、第四章 TiOx/ Pt(111)模型催化剂的制备和表征 .454.1 钛氧化物模型催化剂的研究进展 .454.2 样品制备 474.3 结果与讨论 .484.4 小结 .51参考文献 .52硕士期间发表论文目录 .55致 谢 57ContentsiiiContentsAbstract in Chinese IAbstract in English .IIChapter 1 Introduction .11.1 Prolegomenon 11.2 Objectives of this thesis 51.3 Outline of this thesis 6References7Chapter
13、2 Experiment.112.1 Experimental intruments.112.2 Surface analytic technologies .122.2.1 Auger electron spectroscopy (AES).122.2.2 Low energy electron diffraction (LEED)152.2.3 High-resolution electron energy loss spectroscopy(HREELS)162.3 Experimental methods182.3.1 Cleanness of single crystals21-23
14、.182.3.2 Preparation of the oxide thin film .182.3.3 Characterization of the oxide thin film20References21Chapter 3 Preparation and characterization of MnOx/Rh(100) 23Contentsiv3.1 Recent progress.233.1.1 Structure of Rh oxide.233.1.2 Recent progress of MnOx thin film.253.2 Experiment273.2.1 Cleanne
15、ss and oxidation of Rh(100) 273.2.2 Preparation of MnOx thin film283. 3 Results and discussion .283.3.1 Structure of Rh(100) surface oxide 283.3.2 Preparation and calibration of MnOx thin film 323.3.3 Investigate of MnOx thin film 353.3.4 Stability study of MnOx thin film363.4 Brief summary.38Refere
16、nces39Chapter 4 Preparation and characterization of TiOx/ Pt(111) .454.1 Recent progress of TiOx thin film.454.2 Preparation.474.3 Results and discussion 484.4 Brief summary.51References52List of Publication.55Acknowledgements .57第一章 绪论1第一章 绪论1.1 引言多相催化研究多年，反应一般发生在催化剂的表面，催化剂的表面组成结构（电子结构和几何结构）是影响其催化性
17、能的主要因素 1。由于目前表征手段的局限性，对催化剂的微观性质认识仍有限。所以对于催化剂如何将反应物分子转变为目标产物这一过程的认识，仍然具有很大的挑战性。因此，催化过程一直被视为“ 黑箱子” 真实多相催化反应体系非常复杂, 其催化表面物理化学研究具有很大的挑战性.。催化剂的制备方法和热处理方法都会对催化剂表面结构和催化剂的性能产生很大的影响，因此对催化剂表面的表征以及各种性质反应过程中的变化的监控，和催化剂表面的变化能帮助人们更好的理解催化过程。表面科学是利用超高真空（ultra high vacuum，UHV ）的条件下，利用各种现代表面科学研究方法来研究表面规整的模型催化体系（金属单晶、
18、氧化物单晶以及氧化物薄膜等）研究的新方向。通过模型催化体系, 利用 20 世纪 60 年代起逐渐发展起来的超高真空表面科学研究手段,是催化表面物理化学最有效的研究方法 2,4,5。模型催化剂的研究能够建立催化剂暴露晶面( 表面组成和几何结构) 与其催化性能之间的构效关系和获得在不同晶面上催化反应机理, 不过该类模型催化剂体系与真实催化剂相比，两者之间存在所谓的“ 材料鸿沟” 。 在催化反应过程中，真实的催化剂的纳米粒子暴露的不同晶面有不同的催化活性。而模型催化与真实催化之间有明显差别的。在真实的催化体系中，通常在常压或高压的条件下进行，模型催化剂在超高真空体系中，所以模型催化剂和真实催化剂之间
19、还存在着“ 压力差异” 3。为了解决压力差异，表面检测手段如TDS、 IRAS、 ESR、SRG、STM、X 射线散射、X 射线吸收等能在气相中工作。以使模型催化剂在反应条件上更接近真实催化反应。从而对真实催化剂的合成提供有效的指导，为研制高效的催化剂提供基础。厦门大学理学硕士学位论文2通过各种表面表征手段，可以探究许多金属表面的原子结构和电子特性 4。一些催化反应的机理可以利用模型催化在超高真空的反应中被阐述。比如 CO的氧化 6-9，合成氨 10,11和合成甲醇 12,13。模型催化推断出的机理可以很好的指导实际催化剂的合成和有助于提高产率。CO 是无色，无味，无刺激性的有毒气体，是大气中
20、分布最为广和数量最多的污染物，同时在燃烧过程中也会产生大量的 CO。所以 CO 的氧化反应不仅可以有效缓解环境污染，而且具有重要的实际意义 14,15。J. Gustafson 等 16在Rh(111)单晶上实际反应条件下，对 CO 催化氧化进行研究。他们发现特殊结构的表面氧化物 Rh 基催化剂对 CO 的氧化具有高活性 (图 1.1)。在纯 Rh(111)单晶上进行 CO 氧化反应，没有检测到 CO2 的信号，而在氧化物表面有活性。CO吸附在氧化物表面，类似的 RuO2(110)17,18晶面上也是这样的结果。第一章 绪论3图 1.1 (a) Rh(111)表面氧化物模型，(b) Rh(11
21、1) 倒易晶格的示意图，(c) SXRD 扫描图Figure 1.1 (a) Model of the surface oxide found on all investigated Rhsurface orientations, here shown on top of a (111) surface. (b) Map ofthe reciprocal space corresponding to Rh(111), (c) SXRD scan alongthe red line in panel b, for a surface oxide covered Rh(111) crystal.G
22、oodman 等 7,19-21对 Pt 系金属表面模型上 CO 氧化也做了一系列的研究。他们通过研究得出的 CO 活性相与 J. Gustafson16提出的表面氧化物结构不相符。Goodman 等认为 CO 氧化的表面活性相是金属态表面，CO 解离吸附在金属上，而不是表面氧化物。厦门大学理学硕士学位论文4Goodman 和合作者 22,23在将 Au 蒸到 TiOx/Mo(112)表面薄膜上，考察其 CO氧化的性能。利用 LEED 和 STM 观察形貌，如图 1.2(a)模型。当 Au 覆盖第一层时，CO 氧化的催化活性较低，具有两个原子层厚度的 Au 催化活性较好。在TiO2 载体负载
23、Au 团簇催化剂也有这样的变化规律(图 1.2(b)。图 1.2 (a) 不同厚度的 Au/TiOx 催化剂对应的 CO 氧化性能关系 23；(b) Au/TiO 2催化剂的粒径与 CO 催化氧化的性能关系 22.Fig 1.2 (a) Activity for CO oxidation at room temperature as a function of Au coverage above the monolayer on Mo(112)-(82)-TiOx;(b) Catalytic activity for CO oxidation as a function of particle
24、 size on the TiO2.1978 年 S. J. Tauster24首先提出了在负载 TiO2 的 Pt, Pd, Ru, Rh 等第 8 族贵金属上存在金属- 载体之间强相互作用。随后人们用 X 光电子能谱、量化计算、X 射线粉末衍射、电子顺磁共振、程序升温脱附、同步辐射等方法对金属 -载体之间强相互作用的产生机理进行广泛的研究,由于不同催化剂体系产生强相互作用的机理也不相同,所以仍然没有统一的结论。S. J. Tauster 等 25研究发现原先均匀分布在 Pt/TiO2 催化剂的 Pt 颗粒,在氢气气氛下高温处理后，会发生迁移聚集而构成三维多面体,作者认为 Pt 出现的这种三
25、维多面体形貌特征与金属载体强相互作用存在平行关系(如图 1.3)。所以，金第一章 绪论5属-载体强相互作用的产生机理可能与金属簇的这种特殊的形貌特征有关系。 。图 1.4 Pt/TiO2 氧化还原下的循环转化Fig 1.4 Behavior of Pt/TiO2 under consecutive reduction-oxidation cycles. (Both the thickness of the platinum particles and the chemical composition of the substrate surface undergo change)A.Y. St
26、akheev 等 26认为金属-载体强相互作用是金属与载体间电荷转移产生的电子效应的原因。高温处理 Pt/TiO2 后, Pt 中心会变成富电子中心，这是因为低价钛离子物种和铂之间会发生化学作用。图 1.4 是金属-载体强相互作用机理,经过高温氢处理,载体 TiO2 本身与氢之间以某种形式发生键合 ,有低价含氢钛物种生成,将电荷传递给 Pt 金属 ,使得 Pt 原子减弱甚至丧失在室温下解离吸附氢分子的能力,并产生 Pt2TiO2 -H 体系，这体系有储氢作用,从而抑制了室温下吸附氢。通过 X 光电子能谱数据和体相电导的分析, 得出金属 -载体之间强相互作用是因为 Pt 能捕获从 TiO2 体相
27、中的导带电子，导带电子容易隧穿薄 TiO2 层到达 Pt颗粒表面, 然后形成了大量的带负电荷的 Pt 颗粒,Pt -能很好的解离 H2,但与解离后的 H 原子形成很弱的键的原因造成的。当然还有认为金属间成键 27和载体对金属的包覆(如图 1.4)28作用而产生的金属- 载体强相互作用。所以对于具体产生原因依然不是很清楚。厦门大学理学硕士学位论文6图 1.4 Ni/CeO2 包裹示意图Fig 1.4 Schematic evolution of the Ni/ceria system submitted to reduction and evacuation treatments28.模型催化可
28、以研究反应的机理，并对催化剂的合成有指导意义。同时探究金属表面的电子特性和原子结构，利用化学吸附探究表面的化学性质，并且模拟金属- 载体的作用来进一步了解 SMSI 的产生原因。1.2 论文的构思和目的铑(Rh) 基催化剂在催化合成乙醇、乙醛、乙酸等 C2 含氧产物的过程中因具有较好的活性和选择性而被广泛应用。在 Rh 基催化剂加入 Mn 氧化物助剂能有效的提高催化活性和选择性。但在分子水平上对加入氧化物助剂的机理还不是很清楚。尽管表面科学对一些简单的催化反应机理的研究取得了一些成果，但对助剂作用的研究仍然还一知半解。Rh 基催化剂催化 CO+H2 反应生成烃类，甲醇和 C2 含氧化合物。加入
29、 Mn助剂到 Rh/SiO2 催化剂会显著提高 C2 含氧化合物的选择性。但 Mn 助剂加入后Mn 是以什么态在 CO2 解离的过程中存在，MnO x 与 Rh 之间的相互作用尚不清楚。我们制备反模型催化剂 MnOx/Rh(100)，利用表面的分析手段，以期探明Rh 与 MnOx 的相互作用，揭示 Mn 助剂在反应气氛下的存在态，为合成高活性的催化剂提供指导。第一章 绪论7负载型催化剂中，金属与载体的强相互作用具有很多应用。在催化反应中，SMSI 效应会使烃类的加氢、脱氢反应,其活性受到很大的抑制；但是对于有 CO参加的反应,如 CO + H2 的反应,CO + NO 的反应,能显著提高其反应
30、活性,同时选择性也增强。所以有效利用 SMSI 效应对实际解决环保和能源问题有积极的意义。TiO x/Pt(111)模型催化剂利用表面的敏感的仪器，研究 TiOx 薄膜的结构和振动，研究 TiOx 与 Pt 之间的相互作用，以期能对 SMSI 效应能有进一步的了解。1.3 论文的结构和概要本论文主要由四部分组成：第一章 绪论。对模型催化和表面化学的简要介绍，同时说明本论文的选题和研究目的。第二章 实验部分。介绍实验所用的表面仪器和制备方法，简要介绍各仪器的原理和应用。第三章 制备 MnOx/Rh(100)反模型催化剂，通过表面的表征手段进行表征，探究 Mn 与基底的相互关系。考察 MnOx 薄
31、膜的稳定性。第四章 TiOx/Pt(111)体系的制备和表面振动的探究，TiO x 薄膜的生长模式，以及 Ti 的氧化态。参考文献：1 G.A. Sormojai.Introduction to Surface Chemistry and Catalysis.John Wiley & Sons, 1994.2 J.H.Sinfelt. Role of surface science in catalysis. Surf Sci, 2004, 500: 923-946.3 D.W. Goodman. Correlations between surface science models and”
32、real-world” catalysts. J.phys.Chem, 1996, 100: 13090-13102. 4 P.L.J. Gunter, J.W.H. Niemantsverdriet, F.H. Ribeiro, G.A. Somorjai. Surface 厦门大学理学硕士学位论文8Science Approach to Modeling Supported Catalysts J. Cat. Rev.-Sci. Eng., 1997, 39(1-2): 77-168.5 C.R. Henry. Surface studies of supported model cata
33、lysts J. Surf. Sci. Rep., 1998, 31: 231-325.6 T.Engel, G.Ertl, Elementary Steps in the Catalytic Oxidation of Carbon Monoxide on Platinum Metals, 1979, 28: 1-78.7 M.S. Chen, Y.Cai, Z. Yan, K. K. Gath, S. Axnanda, D. W. Goodman. Highly active surfaces for CO oxidation on Rh, Pd, and Pt J. Surface Sci
34、ence, 2007, 601:5326-5331.8 Eiswirth, M.Mller, P.Wetzl, K.Imbihl, R.Ertl, Mechanisms of spatial self-organization in isothermal kinetic oscillations during the catalytic CO oxidation on Pt single crystal surfaces, The Journal of Chemical Physics, 1989, 90: 510-521.9 S. Kelling, S. Cerasari, H.H. Rot
35、ermund, G. Ertl, D.A. King, A photoemission electron microscopy (PEEM) study of the effect of surface acoustic waves on catalytic CO oxidation over Pt(110), Chemical Physics Letters, 1998, 293: 325-330.10G. Ertl, D. Prigge, Surface characterization of ammonia synthesis catalysts, Journal of Catalysi
36、s, 1983, 79: 359-377.11S. Dahl, P.A. Taylor, E. Trnqvist, I. Chorkendorff. The synthesis of ammonia over a ruthenium single crystal J. Journal of Catalysis, 1998, 178:679-686.12T.S. Askgaard, J.K. Norskov, C.V. Ovesen, P. Stoltze. A Kinetic Model of Methanol Synthesis J. Journal of Catalysis, 1995,
37、156:229-242.13J. Yoshihara, T. Charles Campbell, Methanol Synthesis and Reverse WaterGas Shift Kinetics over Cu(110) Model Catalysts: Structural Sensitivity, J. Journal of Catalysis, 1996,161:776-782.14J.Jansson, A.E.C. Palmqvist, E. Fridell, On the catalytic activity of Co3O4 in low-temperature CO
38、oxidation, J.Catal. 2002, 211: 387-397.15R.M.T. Sanchez, A. Ueda, K. Tanaka et a1. Selective oxidation of CO in 第一章 绪论9hydrogen over gold supported on manganese oxides, J.Catal. 1997, 168: 125-127.16J.Gustafson, R.Westerstrom, O.Balmes, A. Resta, R. van Rijn, X. Torrelles, C. T. Herbschleb, J. W. M.
39、 Frenken, E. Lundgren, Catalytic Activity of the Rh Surface Oxide: CO Oxidation over Rh(111) under Realistic Conditions, J. Phys. Chem. C, 2010, 114, 4580-4583.17H. Over, Y.D. Kim, A.P. Seitsonen, S. Wendt, E. Lundgren, M. Schmid, P. Varga, A. Morgante, G. Ertl. Atomic-Scale Structure and Catalytic
40、Reactivity of the RuO2(110) Surface, Science. 2000, 287, 1474-1476.18H. Over, O. Balmes, E. Lundgren. In situ structure-activity correlation experiments of the ruthenium catalyzed CO oxidation reaction, Catal. Today, 2009, 145, 236.19F. Gao, Y. Cai, K. K. Gath, Y. Wang, M. S. Chen, Q. L. Guo, D.W. G
41、oodman, CO Oxidation on Pt-Group Metals from Ultrahigh Vacuum to Near Atmospheric Pressures, J. Phys. Chem. C, 2009, 113, 182-192.20F. Gao, S.M. McClure, Y. Cai, K.K. Gath, Y. Wang, M.S. Chen, Q.L. Guo, D.W. Goodman. CO oxidation trends on Pt-group metals from ultrahigh vacuum to near atmospheric pr
42、essures: A combined in situ PM-IRAS and reaction kinetics study, Surface Science, 2009, 603, 65-70.21M. McClure, D.W. Goodman, New insights into catalytic CO oxidation on Pt-group metals at elevated pressures, Chemical Physics Letters, 2009, 469, 1-13.22M. Valden, X. Lai, D. W. Goodman, Onset of Cat
43、alytic Activity of Gold Clusters on Titania with the Appearance of Nonmetallic Properties, Science. 1998, 281, 1647-1650.23M.S. Chen, D.W. Goodman, The Structure of Catalytically Active Gold on Titania, Science, 2004, 306, 252-255.24S.J. Tauster, S.C. Fung, R.L. Garten, Strong metal-support interact
44、ions. Group 8 noble metals supported on titanium dioxide, J. Am. Chem. Soc,1978, 100, 170-175.厦门大学理学硕士学位论文1025S.J. Tauster, S.C. Fung, R.T.K. Baker, J.A. Horsley, Strong Interactions in Supported-Metal Catalysts, Science. 1981, 211, 1121-1125.26Aleksandr Yu. Stakheev, Yurii M. Shulga, Natalia A. Gai
45、dai, Natalya S. Telegina, Olga P. Tkachenko, Leonid M. Kustov, Khabib M. Minachev, New evidence for the electronic nature of the strong metal-support interaction effect over a Pt/TiO2 hydrogenation catalyst, Mendeleev Communications, 2001, 11, 186-188.27Y. Chao, G.R. Weisman, G.D.Y. Sogah, D.J. Cram
46、, Host-guest complexation. 21. Catalysis and chiral recognition through designed complexation of transition states in transacylations of amino ester salts, J. Am. Chem. Soc., 1979, 101 (17), 4948-4958.28Alfonso Caballero, Juan P. Holgado, Victor M. Gonzalez-delaCruz, Susan E. Habas, Tirma Herranz, M
47、iquel Salmeron, In situ spectroscopic detection of SMSI effect in a Ni/CeO2 system: hydrogen induced burial and dig out of metallic nickel, Chem. Commun, 2010, 46, 1097-1099.第二章 实验部分11第二章 实验部分2.1 实验仪器 随着超高真空表面科学研究技术的不断发展, 对表面科学的表征手段不断丰富，为研究催化表面物理化学提供了最有效的研究方法 1。本论文的相关的工作实验主要是 LK5000 型高分辨电子能量损失谱仪，系统装
48、置如图 2.1 所示，主要装备有俄歇电子能谱(Auger Electron Spectroscopy，AES)、低能电子衍射(Low Energy Electron Diffraction，LEED)以及高分辨电能量损失谱(High Resolution Electron Energy Loss Spectroscopy，HREELS)。超高真空(UHV)系统的超高真空是利用涡轮分子泵、离子泵和机械泵及钛升华泵获得，经 400K 烘烤 24-36 小时，基压为 3.0-5.010-10 Torr。图 2.1 超高真空实物图AES/LEEDUHVchamberHREELS厦门大学理学硕士学位论文
49、12Figure 2.1 Photo of the UHV system在实验中，样品单晶通过钽丝焊接在样品杆的穿透子上，然后固定在样品架上，样品杆可做 XYZ 三个方向的移动，并可以绕轴 360旋转。利用电子束(E-beam)对样品进行轰击加热，当焊在样品背面的钽丝有电流通过时，钽丝会发射电子，同时对样品施加 400 V 左右的正电压，这个时候样品的背面被加速后的电子束轰击到，使样品升温(E-beam 轰击最高可达 2000 K 以上)。向样品杆中倒液氮，样品的冷却温度最低降至约 150 K。通过点焊在样品背部的 C.型热电偶(5 Re 95W-26 Re74W 丝) 测量样品的温度。本实验中所用到的高纯的 Ar、O 2、CO 等气体均由香港特气提供(纯度为99999)，气体利用钢瓶连接漏阀引入到真空系统中，通过离子规测量气体压力，未作进一步校正离子规。2.2 表面分析技术和基本原
