防静电定期检测规范.doc

1、防静电定期检测规范5、作业程序5.1 测试方法：5.1.1 测试环境：环境温度 235，相对湿度 40%70%。5.1.2测试仪器使用方法5.1.2.1静电场测试仪（TREK520）静电场测试仪是感应式的，该仪器表面有 2 个按键：“POWER” 、 “RANGE/ZERO”、 “HOLD”,按“POWER” 键开机/关机。该仪器有两个量程：02KV、020KV,可通过按“RANGE/ZERO”键进行切换。当显示 3 位小数时，量程范围为 02KV；当显示 2位小数时，量程范围为 020KV。每次测试时都应进行读数清零工作，方法为：将 sensor 对准一个已知的电压为 0V 的导体上，按“R

2、ANGE/ZERO”键至少 3 秒钟。为保证测试值的准确性，测试时人体必须戴静电环或穿防静电鞋。测试前，先将待测物放置在绝缘的物体上（如干燥的硬纸板） ，手持干燥并干净的棉布以每分钟 120 次的速度，施加适当的压力（24 千克力） ，单向摩擦待测物表面 20次，然后用仪器测量电压（senor 距离被测物表面的距离为 2.54CM 及两个红灯重合在一起） ，将显示的读数乘以 1000 即得实际的电压值，例如读数为“.018” ，则实际电压为 18V。5.1.2.2 表面电阻测试仪（ACL-385）ACL-385为简易表面电阻测试仪，该仪器两个测试电极间距根据标准不变，测试时将被测物放于绝缘的平

3、面上，表面电阻测试仪平置在材料表面上，手指施加适当压力（24KG）于测试按钮上，使测试电极与材料表面接触良好，指示灯发亮档即为读数。如果被测材料为软性材料，可施加46kg的压力进行测试。5.1.2.3 接地电阻测试仪（EMI-20780）EMI-20780 可以测试点对点电阻(RTT), 接地电阻(RTG)、体积电阻,和表面电阻率, 配套两点测试电极可测量微小物体表面电阻.测试范围为: 1x 103 - 1012；测试电压为 : 10V或100V+/-5%；测试精度为 : +/-10%;测试时间为 15秒；测试时：把2条连接线分别插入测试表上端的“A”插口, 注意白色连接线和黑色连接线的插头不

4、同, 不要插错. 然后连接线另一端分别插入点对点重锤电极；按下“D”测试按键15秒, 这时LCD屏幕按顺序显示如下: 华氏温度 摄氏温度 相对湿度 电阻值 所采用的测试电压电阻测试结果由“B”显示屏和“C”冥数LED 指示灯共同显示, 例如电阻值为175，000，000, 显示如下:1.75显示在“B”显示屏上, 同时“C” LED指示灯的 8会亮,表示测试结果为: 1.75 x 108。如果LCD显示屏显示“1_”, 说明超过该仪器测试范围。测试电压为10V或100V, 按下“F”键, 采用10V电压测试, 如果不按下“F”键, 仪器会根据不同测试材料自动选择测试电压. 阻值在10 5以下时

5、采用10V测试电压, 阻值在10 6以上时采用100V测试电压5.1.2.4 人体综合电阻测试（腕带测试、鞋测试）测试步骤：1. 员工进入车间前应首先确认静电手腕佩戴正确，静电鞋鞋底干净，穿戴正确。左右两脚分别踏上静电测试仪的左右两个金属脚踏板，然后将防静电手腕插入静电测试仪面板的手环插口。2. 扫描工卡后，电脑会显示你的身份资料，同时仪器的LCD面板提示“请您按下测试键”。手指按下测试键，（确保手指与按钮金属键的完全接触）开始测试，3 秒后仪器将测试完毕。3. 如果受测对象合格，仪器“嘟”长响一声，同时仪器的LCD面板显示“通过”，如果测试不合格，仪器“嘟嘟嘟嘟”短响8声，同时仪器的LCD

6、面板显示“不通过”。不通过时可连续测试4次，若还是不合格，员工立即到IPQA处更换。4. IPQA应维持测试秩序并监督每位员工的测试过程。5.1.2.5接地桩电阻测试仪（ZC29B型号）1.沿被测接地极E使电位探棒P和电流探棒C依直线彼此相距20米，且电位探棒P系在E和C之间。2.E端钮接5m导线，P端钮接20m导线，C端钮接40m导线。3.将仪表放置水平后检查检流计是否指零，否则可将零位调正器调节零位。4.将“位率标度”置于最大倍率慢慢转动发动的摇把，同时旋动电位器刻度盘，使检流计指针指“0”。5.当检流计的指针接近平衡时，加快发电机摇柄转速，使其达到每分钟150转。再转支电位器刻度盘，使检

7、流计平衡，此时刻度盘的读数乘以倍率档即为被测接地电阻数值。6.当刻度盘读数小于1时应将倍率开关置于较小倍率，重新调整刻度盘以得正确读数。7.当测量小于1欧的接地电阻时，应将2个E端的联结片打开，分别用导线联接到被测接地体上，以消除测量时联接导线电阻的附加误差，操作步骤同上。8.当检流计的灵敏度过高时，可将二根探棒插入土壤中浅一些，当检流计灵敏度过低时，可沿探棒注水使其湿润。5.1.2.6 离子风机测试仪（3M-718 /3M-718A）1、 打开测试仪（718）电源，将测试仪（718）金属板一端与静电产生仪（718A）金属端相连接，同时按下静电产生仪“+”按钮和测试仪“HOLD”键，测试仪显静

8、电值应大于“+1000V”。2、 在离子风机下不超过30cm处水平移动静电测试仪3秒钟(金属板向上)，再看测试仪显示值应大于-40V小于+40V。3、 打开测试仪（718）电源，将测试仪（718）金属板一端与静电产生仪（718A）金属端相连接，同时按下静电产生仪“-”按钮和测试仪“HOLD”键，测试仪显静电值应小于“-1000V”。4、 离子风机下不超过30cm处水平移动静电测试仪3秒钟(金属板向上)，再看测试仪显示值应大于-40V小于+40V。5、 在检测表中记录显示值，注明检测日期，调节后的值。注意：要求平衡电压为-40平衡电压40V5.1.2.7 手腕监视器电容测试仪（SAML1800）

9、：测试时，开关旋转至“1801 FALL”档， SALM1801S-I 的 LED 变成红色，蜂鸣器发出报警声响；旋转开关至“1801 PASS”档，SALM1801S-I 的 LED 变成绿灯，蜂鸣器停止发出报警声响。此为合格。5.2 测试项目5.2.1 静电接地极电阻测试每半年使用 ZC29B 进行一次测试，要求静电接地极对地电阻小于 1,将测试结果记录在ESD 点检记录表格中。5.2.2设备、仪器接地电阻测试每月由ESD专员或指定人员用万用表测试设备仪器接地电阻一次（新建工位或工位调整后要立即测试）测试结果记录在ESD点检记录表格中。1. 设备仪器接地电阻：设备仪器外壳与静电接地线之间的

10、阻抗要小于10。测试频率：每月。2. 电烙铁：对使用中的电烙铁进行接地电阻测试，要求烙铁头与静电接地线之间的阻抗要小于10。测试频率：每天。5.2.3 静电接地线接地电阻：每半年ESD专员对静电接地线的接地电阻进行检测。要求每条线都要测。测试方法：在每条静电接地线上任意找一个点，将万用表的一端连在这个点上，另一端插在电源地线孔里。要求电阻值小于10。测试结果记录在ESD点检记录表格中。5.2.4防静电工服PE工程师或指定人员，每季度对员工的工衣用EMI-20780测试仪进行测试，要求表面电阻1105R S 1109 （上衣做点对点、袖对袖、片对片测试，裤子做裤脚对裤脚、点对点测试），“每次全检

11、，测试结果记录在ESD点检记录表格中。如检测到不合格的情况，在此防静电服的胸口处盖上“此防静电服不合格”章，并邮件通知该员工经理让其当天之内到库房更换。IPQA监督有无不合格静电服流入产线。5.2.5防静电工作台ESD专员负责每月使用EMI-20780测试仪测试一次，要求表面电阻在110 51109欧姆和接地电阻在110 61109欧姆。每块工作台面测试3个点，将测试结果平均值记录在ESD点检记录表格中。5.2.6地板由ESD专员负责每季度使用EMI-20780测试仪测试表面电阻一次，要求地板的表面电阻在1*1051*109之间。每100 平米地面测5个点（对于面积小于 100平方米的独立区域

12、如：IQC、RD实验室、来料仓，每个区域要测5个点）。测试时两个电极距离为0.6米1米，测试结果记录在ESD点检记录表格中。同时由厂务或指定人员每半年测试地板的接地电阻一次，接地电阻在1*10 5-1*109之间。测试方法：将EMI-20780的一个电极放在地板上，另一端插入电源地线插孔里。每100平米测试1个点。测试结果记录在ESD点检记录表格中。5.2.7物流器具（如：周转箱、周转车、货架）5.2.7.1由ESD专员负责每半年使用TREK520和EMI-20780测试仪测试一次，要求摩擦电压小于100V，周转箱表面电阻：110 3- 1109，每次每种器具抽检，每1条线抽检10Pcs，如果

13、有1Pcs不合格则全检。测试结果记录在ESD点检记录表格中。5.2.7.2 由ESD专员负责每季度使用EMI-20780测试仪测试一次，要求周转车，货架表面电阻小于110 9，接地电阻在 1103- 1109之间。测试结果记录在ESD点检记录表格中。5.2.8腕带、工鞋性能检测操作类员工每日进入车间前要进行手环、工鞋测试，测试结果由电脑自动保存，产线专门人员进行存档管理；在车间办公的职员，每日上班进入车间前要进行工鞋测试，对于有可能接触产品的职员（如生产主管、工艺、设备、质控人员）每日上班也必须使用人体综合电阻测试仪，测试记录由电脑自动保存。如有测试不合格者需立即到IPQA处更换。测试合格后方

14、能进入产线。腕带系统电阻：800K10M；工鞋系统电阻：100K-35M。5.2.9静电场检测由ESD专员负责每季度使用静电场测试仪（TREK520）对车间各工位的静电场强进行一次测试，并将测试结果记录在ESD点检记录表格中。测试要求：距工作台30CM范围内，静电值要小于+/- 100 V5.2.10 离子风机测试由ESD专员负责每季度使用 3M-718与3M-718A对车间的离子风机性能进行测试，测试内容包括“平衡电压”、“消电时间”，并将结果记录在ESD点检记录表格中测试要求：测试仪器距离离子风扇正前方30厘米；合格标准:1000V降到100V的消电时间小于3秒，平衡电压绝对值小于40V。

15、注：CPM要分别在正、负两种充电状态下测试5.2.11防静电工作椅子由ESD专员负责每月使用EMI-20780测试仪测试一次，要求表面电阻和接地电阻都在1105-1109欧姆之间，。将测试结果平均值记录在ESD点检记录表格中。5.2.12传送带测试由ESD专员负责每季度使用表面阻抗测试仪测试一次，要求表面电阻在110 5-1109欧姆之间。每条传送带测试3个点，将测试结果平均值记录在ESD点检记录表格中。5.2.13 手腕监视器测试由 ESD专员负责每半年使用SAML1800校正仪对手腕监视器的电容进行一次。测试不合格立即更换。5.3 防静电包装材料的测试5.3.1 认证测试：首先要求供应商送

16、样给 PE 确认，同时附上产品的相关参数说明书或产品相关性能指标认定书，经 PE 验证合格后方可采购。防静电性能测试环境要求：温度235,湿度155测试项目材料 表面电阻摩擦电压屏蔽泄漏电压高温环境模拟测试ESD标志PE袋 吸塑盒、物料盒 汽珠袋、泡棉 有机保护屏 缓冲材料 屏蔽袋 防静电胶带 防静电防尘布 打“”为必测项目高温测试：在温度为60，湿度为15的干燥箱内烘烤12天或在温度为70，湿度为15的干燥箱内烘烤8天，然后放于室温存放24小时再进行表面电阻、摩擦电压测试5.3.2 接收测试品管部门对所有无物料代码的ESD辅料进行来料检验。不定期全检。检验要求如下：防静电性能测试环境要求：温

17、度235,湿度4070测试项目材料 表面电阻 摩擦电压 屏蔽泄漏电压 高温环境模拟测试ESD标志PE袋 吸塑盒、物料盒 汽珠袋、泡棉 有机保护屏 。缓冲材料 。防静电胶带 屏蔽袋 防静电防尘布 5.3.3 点检测试由ESD小组人员每个月使用表面阻抗测试仪对各条线的防静电袋、自制容器、防静电胶、有机玻璃屏进行抽检。要求表面电阻在110 4-11011欧姆之间，摩擦电压小于100V。每条线测试5Pcs，若有3Pcs不合格则整条线全检并更换相应物料。以上这些物料必须有防静电标识才可投入产线使用，一经IPQA发现将没收，找替代品或者做防静电加工。5.4 各类防静电物品、设施检测指标测试项目 摩擦电压

18、表面电阻 系统电阻防静电工服、工帽1105R S 1109工鞋 1105R s11090.1106R3.5107腕带 内面110 5 外面110 70.8106R3.5107防静电地板 0.1106R S 11090.1106R 1109工作台 1106R S 11090.75106R 1109周转箱、周转盒、托盘、料盒、防静电刷子、防静电镊子、防静电推车100V 1103R S 1109传送带 1106R S 1109防静电工作椅 1105 RS11091106 R1109PE袋 100V 1104R S 11011吸塑盒 100V 1104R S 11011汽珠袋、泡棉 100V 1104

19、R S 11011缓冲材料 100V 1104R S11011屏蔽型防静电袋100V 1104R S 11011防静电胶带 100V 1104R S 11011防静电有机玻璃板100V 1104R S 11011防静电防尘布、手套、指套100V 1104R S 11011注：1.屏蔽袋要加测“屏蔽泄漏电压” ，要求小于 100V；2.为便于包装材料的接收检验，选择包材时可根据实际情况选择表面电阻及体电阻在 1105110 10的材料。3.对产线自制物料盒需要经过 PE 认证检验后并贴上防静电标志才能使用。4.胶带要加测剥离电压小于 100V 才能接收。6、 相关文件记录6.1 ESD 手环点检

20、记录表6.2 ESD 点检记录表6.3 EPA 保护区查检表7、附录各类点检项目明细点检项目 频率 表面电阻 接地电阻 摩擦电 压 备注烙铁头 每天 10 设备仪器 每月 10 工作台面 每月 1105- 1109 1106- 1109 防静电椅 每月 1105- 1109 1105- 1109 防静电袋、胶带、自制器具、有机玻璃屏每月 1104- 11011 100V每次月度稽核时ESD 组员负责检验。条线抽检5Pcs，3Pcs 不合格则整条线全检并更换。防静电服 季度 1105- 1109 地板 季度 1105- 1109 推车/货架 季度 110 9 1103- 1109 静电场 季度 静电场电压+/- 100 V离子风机 季度 耗散时间3S，平衡电压绝对值40V传送带 季度 1105- 1109 静电接地极 半年 1 静电接地线 半年 10 厂务人员测试地板 半年 1105- 1109 厂务人员测试周转箱/盒 半年 1103- 1109 100V每条线抽检10Pcs，有 1 个不合格则全检并更换手腕监视器 半年 校正仪进行校正