1、美国 ASTM D5127电子及半导体工业用纯水水质要求项目 TypeE-1 TypeE-11 TypeE-1.2 TyPeE-2 TyPeE-3 TyPeE-4线宽(m) 1.0-0.5 0.5-0.25 0.25-0.18 5-1 5 -电阻率 18.2 18.2 18.2 17.5 12 0.5热源(EU/ml) 0.03 0.03 0.03 0.25 - -TOC(gL) 5 2 1 50 300 1000溶解氧 DO(gL) 1 1 1 - - -蒸发残渣(gL) 1 0.5 0.1 - - -微粒(m)(SEM 检测) 0.10.2 1000 1000 200 0.20.5 500
2、 500 l00 3000 0.51.0 50 50 1 10000 10 - - - 100000 微粒(m)(在线检测) 0.050.1 500 500 100 0.10.2 300 300 50 0.20.3 50 50 20 0.30.5 20 20 10 0.5 4 4 1 细菌 100ml Sample 1 1 1 1L Sample 1 1 0.1 10 10000 100000 硅(m) 总硅 3 0.5 0.5 10 50 1000 溶解硅 1 0.1 0.05 离子(gL) NH4 0.1 0.1 0.05 - - Br 0.1 0.05 0.02 - - Cl 0.l 0
3、.05 0.02 1 10 1000 F 0.1 0.05 0.03 - - - N03 0.1 0.05 0.02 1 5 500 N02 0.l 0.05 0.02 - - - P04 0.1 0.05 0.02 1 5 500 S04 0.1 0.05 0.02 1 5 500 Al 0.05 0.02 0.005 - - - Ba 0.05 0.02 0.001 - - - B 0.05 0.02 0.005 - - - Ca 0.05 0.02 0.002 - - - Cr 0.05 0.02 0.002 - - - Cu 0.05 0.02 0.002 1 2 500 Fe 0.05 0.02 0.002 - - - Pb 0.05 0.02 0.005 - - - Li 0.05 0.02 0.003 - - - Mg 0.05 0.02 0.002 - - - Mn 0.05 0.02 0.002 - - - K 0.05 0.02 0.002 1 2 500 K 0.05 0.02 0.005 2 5 500 Na 0.05 0.02 0.005 1 5 1000 Sr 0.05 0.02 0.00l - - - zi 0.05 0.02 0.002 1 5 500
