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电子厂房废气处理系统简介.pptx

上传人:hwpkd79526 文档编号:7272590 上传时间:2019-05-12 格式:PPTX 页数:29 大小:8.42MB
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资源描述

1、废弃处理系统简介,系统分类,酸洗涤塔排气系统 碱洗涤塔排气系统 剥离液洗涤塔排气系统 CVD洗涤塔排气系统 有机排气系统 工艺普通及热排气系统 氢排气系统,酸洗涤塔排气系统(SEX system),目录 一、废气成分及反应原理 二、设备运行流程 三、主要组件 四、特性与优点,一、废气成分及反应原理,主要成分:酸性废气、SF6、CL2、NO2、氟化物反应原理: 水溶法 废气通过洗涤塔,与其中的洗涤夜发生中和反应 得到净化.洗涤液成分 = 氢氧化钠 + 水,二、设备运行流程,工作原理 废气由进风口流入后水平流过填料床,洗涤液垂直流过填料床。这种气液错流方式使废气与洗涤液充分作用。有效清除废气中的杂

2、质。 洗涤液流入洗涤塔底部的污水槽,垂直不密封的泵用于循环洗涤液。为了达到最大的去除效率,在洗涤塔顶部的非固定式螺旋喷嘴为填料床提供均匀而连续的洗涤液。 在洗涤塔的出口处,净化过的气体流过人字型刀片式的除雾器,清除99% 10微米的水雾。 洗涤塔使气体从气态转化为液态的过程称为化学吸附。通过洗涤塔内部随意放置的填充物,使这一转化的效率大大的提高。填充物不但增大了气液混合物的接触面积,同时不断破坏水滴,使的新形成的水滴表面总是暴露于空气中,极大的提高了吸附的效率。 洗涤液的酸碱度通过加药设施得以精确控制,使得废气中可溶性部分被洗涤液吸附,转化成中性的液体最终排放出洗涤塔。,系统流程图,洗涤塔主体

3、 每套洗涤塔主体都按客户要求设计并根据项目要求制造。空间经过完善的处理以保证有足够的维护空间。 主体选择具有机械强度并耐腐蚀的材料作为处理媒介,符合相关的ASTM或DIN标准。 结构材料可从以下选择:,乙烯基酯类玻璃钢(FRP) 阻燃玻璃钢(FRP-FR) 聚丙烯(PP) 阻燃聚丙烯(PP-FR) 内衬聚丙烯玻璃钢(FRP/PP) 内衬PVDF玻璃钢(FRP/PVDF) 内衬ECTFE玻璃钢(FRP/ECTFE),蓄水槽 洗涤塔设计了一个与主体紧密结合的蓄水槽。为循环水提供水池并维持适当容量。,维护人孔 为便于灵活维护,洗涤塔在以下位置提供了检修口:,进气口与出气口 蓄水槽 循环泵 填料部分

4、除雾器 喷嘴,除雾器 作为一个重要部件,除雾器由叶片紧密组合在PP框架中,外部用滑石加强的聚丙烯(PPTV)为增加强度的同时提供耐腐蚀能力。 每个除雾器都设计并可定制在最低气压下的最大除雾率。 作为附加组件,除雾器可以带有洗涤液喷淋装置用来清洗除雾叶片。 .,液体输送 液体输送由喷嘴集管与喷嘴组成,经过对喷嘴的仔细选择而使液体形成既定形状,每个喷嘴的位置都可以使液体被平均分布在被灌溉的填料表面,并且没有死角。 喷嘴可以从洗涤塔上面直接卸掉而不需要拆除螺栓和螺母。,可选择部件,进气过滤器 使进气减少粉尘。 多阶段洗涤塔 为需要不同化学处理的部分给予适当环境。 维护平台 便于对高处的洗涤塔进行维护

5、操作。 防漏槽 为防止洗涤塔内的液体溢出,特别是洗涤塔内液体位于临界容积时。,除雾器,4” Q-PAC 填料,螺旋喷嘴,风机 洗涤塔安装了高效离心风机来进行抽风。风机的材质可使用PP,PPS,FRP/PP,FRP和钢材。,三、主要组件,内部组件,Q-Pac 4” 填料,喷嘴,特点:- 可在负压下工作 抗污、防堵塞,特点:- 螺旋形 圆锥体 每台12个,除雾器:- V字形 去除灰尘、薄雾,四、特性与优点,更低的压降(降低电力成本)由于可让气体在低压降下通过填充床和除雾器,洗涤塔所需的电力成本更低。洗涤塔使用4寸QPAC 填料,相对于常规的填料它的独特几何形状可以降低压力的损失。刀片状的除雾器也有

6、降低压力损失的效果。同时, 洗涤塔气液转化所需的要求也更低,使得洗涤塔更省能源,从而降低运营成本。,更高的处理效率 相对常规的填料,4”填料可以提供更低的传质单元高度。这就意味在处理效率一致的情况下,洗涤搭所需的填料较少。或者说,在填料数量一样的情况下,洗涤塔可以获得更高的处理效率。耐脏、不易堵塞 4寸填料因为它的大空间和广泛间隔的设计可以减少生物活动和尘土堵塞管路问题,进而减少电力损耗。因此,洗涤塔在一次清洁后可以工作更长的时间.,易维护 每个洗涤塔在设计时都要求考虑到维护的简便性。出入人孔的位置使得填料、除雾器、喷嘴入口出口的转折和泵浦的清洗变得很轻松。更低的流速 填料设计时被要求在低流速

7、下获得同样的效率。因此它可以降低泵能量的消耗同时降低电力消耗。,碱洗涤塔排气系统(AEX system),废气成分及反应原理主要成分:氨、TMAH反应原理: 水溶法 废气通过洗涤塔,与其中的洗涤夜发生中和反应 得到净化.洗涤液成分= 硫酸+ 水,CVD排气系统(CVD system),废气成分及反应原理主要成分:SF6、CL2、氟化物反应原理: 水溶法 废气通过洗涤塔,与其中的洗涤夜发生中和反应 得到净化.洗涤液成分= 氢氧化钠+ 水,剥离液洗涤塔排气系统,一、废气成分及反应原理主要成分:MEA、DMSO、NH3反应原理: 水溶法 废气通过洗涤塔,与其中的洗涤夜发生中和反应 得到净化.洗涤液成

8、分=硫酸+ 水,二、剥离液冷凝器原理,生产过程中的高温剥离液蒸气经过冷凝器后,转化为液态后回收.残余的废气由风管送至剥离液洗涤塔处理. 原理:气体 冷凝 液体,系统流程图,有机排气系统(SOX system),目录 一、废气成分及反应原理 二、设备处理流程 三、主要组件 四、特性与优点 五、活性碳吸附塔,一、废气成分及反应原理,主要成分:乙醇、乙醇胺、丙酮、IPA、NMP、PGMEA反应原理:浓缩,有机物高温氧化,二、设备处理流程,三、主要组件,浓缩转轮通过吸附作用,将废气中的有机物去除.吸附效率在90%以上.通过脱附作用,将转轮上吸附的有机物浓缩并导入燃烧室.,RTO (Regenerati

9、ve Thermal Oxidizer )蓄热式热氧化器,是一种用于处理中低浓度挥发性有机废气的节能型环保装置。基本原理:在高温下(850 )使有机废气氧化生成CO2和H2O,从而予以去除。RTO主体结构由一个燃烧室、两个陶瓷填料床组成(见右图)。该装置中的蓄热式陶瓷填充床换热器可使热能得到最大限度的回收,热回收率大于95%;处理有机气体时不用或使用很少的燃料。,四、特性与优点,操作费用低,超低燃料费。 净化率高,净化率在90%以上。 不产生二次污染,主要生成CO2和H2O 。 全自动控制、操作简单。 安全性高。,五、活性碳吸附塔,性能参数:填料采用圆柱型椰壳活性炭粒径 3-4mm总表面积1200m2/g.二甲苯吸附率70%.主要功用:当VOC系统停机时作为备用系统起用.,工艺普通及热排气系统,主要成分: 生产过程中产生的一般排气 处理方式: 风机直排(两用一备).单台风量 60000CMH全压 2200Pa最大马力 45KW,氢排气系统,主要成分: 生产过程中产生的氢气 处理方式: 风机直排(一用一备) 单台风量 5000CMH全压 2000Pa最大马力 45KW,

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