1、电池片各工序质量控制,目录,7.分选测试,5.PECVD,1.一次清洗,4.二次清洗,6.2 烧结,6.1 印刷电极,3.周边刻蚀,8.检验入库,2.扩散,1.一次清洗,1.自检要求 1.1外观检验要求甩干后的硅片颜色均匀，和样品色差不大。表面没有水痕，没有明显的斑点。 1.2硅片重量检查一次清洗后硅片重量减轻25g2.不合格片处理不符合1.标准的硅片视为不合格片。按照以下方式处理：2.1硅片颜色不均匀，或者均匀但与样品差据较大，或者有较多斑点的，需要整批返工制绒。2.2硅片表面仅是有水痕的，整批重新清洗。（不需要制绒）3.异常处理 3.1设备异常 凡出现不符合工艺文件的要求的情况，立刻停止生
2、产，报告设备工程师。 3.2工艺异常 连续两批出现颜色不均匀，或者均匀但与样品差据较大，或者有较多斑点的情况，停止生产，报告工艺工程师。,4.外观缺陷,1.一次清洗,4.外观缺陷,1.一次清洗,一次清洗后水痕,4.外观缺陷,1.一次清洗,花篮印,水痕,2.扩散,1.自检要求 1.1外观要求： A.扩散前检查：确保硅片已彻底甩干，绒面良好没有色斑和雨点，没有 碎片和隐裂片，硅片数目与流程卡一致。如存在此类问题，返还上一道工序进行处理。 B.扩散后检查：确保硅片偏磷酸污染，裂纹，崩边，V型缺口。如出现此类问题，由本工序组长决定是否返工。批量出现时立即联系技术部值班工程师，值班工程师给予解决。1.2
3、方块电阻要求： 1.2.1不均匀度=（Rmax - Rmin）/( Rmax + Rmin）100%,且同一炉硅片方块电阻不均匀度10%，同一硅片方块电阻不均匀度5%。如有异常，则联系值班工程师进行处理。 1.2.2根据硅片来料电阻率控制方块电阻值的范围,具体如下表：,2.扩散,3少子寿命要求： 3.1扩散前抽测：每盒抽测一片，确保少子寿命大于2us，否则返还上道工序 进行酸洗。 3.2扩散后抽测：每批次抽测五片，确保少子寿命大于4 us，否则报告值班工程师进行处理。,3.刻蚀,1.自检1.1导电类型检测：将夹具左右两侧螺丝平衡拧开后，按上中下的顺序从硅片叠中各取两片共六片用导电类型检测仪对刻
4、蚀后硅片的周边一圈导电类型进行检测，测试时冷热笔测试端必须紧紧靠在硅片边缘上，看主机面板上直接显示的测试结果“P/N”，显示“P”为合格，否则不合格。1.2刻蚀后外观检查：对硅片扩散面活性面积被刻蚀掉的情况进行目视检查，白色痕宽度正常为0.5mm、灰白色痕宽度2mm，要不然，即刻蚀过多，则认为异常,3.刻蚀,2.异常处理 2.1导电类型异常：检测时只要发现任一硅片周边任何一处的导电类型不合格，即没有刻蚀完全，则应对整个这一批次的硅片进行返工处理，返工处理的辉光时间缩短为5min，待返工刻蚀合格后再流入后面的工序。2.2外观异常：对刻蚀后硅片外观进行目视检测，如果发现硅片扩散面的有效面积被刻蚀掉
5、过多，虽该批次硅片仍旧可以流入后续工序，但必须报告。,4.二次清洗,1.自检要求 外观检验：要求硅片清洗后表面脱水，即表面没有水膜，只有少数水滴；甩干后硅片表面没有水痕。2.不合格片处理 达不到6.1指标的片视为不合格片。有不合格片出现的，整批硅片重新清洗。3.异常处理 3.1设备异常 凡出现不符合4.24.5的情况，立刻停止生产，报告值班班长。 3.2工艺异常 连续两批出现不合格片，停止生产，报告。,4.二次清洗,4.不良缺陷图片,二洗白点（恩地清洗液痕迹）,二洗水纹（HF脏）,5. PECVD,1.自检操作人员在卸片过程中，应同时参考硅片样本的颜色对硅片进行外观自检。 自检要求如下所示：1
6、.1颜色检验： 每石墨框随机目视检查2-4片，要求硅片颜色为深蓝色，没有出现明显的色斑、水斑、不均匀、色差。1.2破片检验：要求硅片没有裂片、没有明显裂纹、崩边、缺角。1.3椭偏仪测量： 每隔1小时，在石墨框的左、中、右各取1片硅片测试厚度和折射率；要求单晶硅片厚度为（75-78）3nm，折射率2.10.1；多晶硅片厚度824nm，折射率2.10.1。,1.4镀膜厚度控制办法 若厚度小于75nm，降低带速（1-3cm/min）；若厚度大于78nm，则提高带速（1-3cm/min），使镀膜厚度控制在（75-78）3nm。每次修改带速后，必须抽测膜厚。2返工标准： 规定以下的情况必须返工： 2.1
7、厚度大于85nm或者小于65nm； 2.2折射率大于2.25或者小于1.95； 2.3过程出现故障，导致硅片上吸附很多碎屑； 2.4过程出现故障，导致硅片镀膜严重不均匀。,5. PECVD,5. PECVD,3.不良缺陷图片,6. 印刷烧结,1.自检操作人员在生产过程中，应同时参考CSG-SL125太阳电池标准定时对硅片进行外观自检。自检要求如下所示：1.1硅片外观检测 要求硅片印刷图形完整，清晰；无印刷缺陷，漏浆，栅线断线，表面玷污。1.2网板检测检测网板张力是否足够，是否存在破损。1.3胶条检测检测印刷胶条是否有破损、变形。,2.不合格处理 2.1不合格品放置于单独的承载盒里，不允许流入下
8、一工序。 2.2不合格的网板和胶条要立即更换。3.异常处理 3.1设备出现故障信号（红灯显示），组长应立即报告班长。 3.2工艺出现异常，如破片率高、连续印刷质量问题，组长立即通知班长和工艺工程师。 3.3后续工序异常,烧结炉、测试分选仪出现工艺异常或设备故障，丝网印刷机需紧急停止印刷，待工艺、设备人员确认后续工序恢复正常后，后方可继续印刷。,6. 印刷烧结,6. 印刷烧结,4.不良缺陷图片,印刷漏浆,6. 印刷烧结,4.不良缺陷图片,背电极缺失,正面电极偏移,7.分选,1.电性能分选自动分选仪自动分选，共16个档位。 2.电池片分选仪每日转班时质检员用二级标定片标定一次。 3.外观分选：根据CSG-SL125太阳电池标准将电池片分类A、B、NG三类。破片和隐裂片，崩边、缺角片单独放置。,1.包装外观分类完毕的电池片，相同档次，相同外观等级的电池片每50片为一包，按照包装要求用热收缩包装机包装。2. 标贴打印和张贴对每一包电池片做标签打印；注明分类档次，外观等级，操作班次，操作人员。将打印出的标签贴在电池片的包装上 ，标贴上的产品信息和吸塑之前的标贴一致。3.外箱封装和标贴同种功率的电池片每满1000片/20包即可封装入库，外箱标贴上的电池片效率信息和内标贴一致。4.入库,8.入库,
