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封闭漂移阳极层型线性离子源的研究.doc

上传人:cjc2202537 文档编号:1544931 上传时间:2018-08-01 格式:DOC 页数:27 大小:104KB
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1、化工过程机械专业优秀论文 封闭漂移阳极层型线性离子源的研究关键词:线性离子源 封闭漂移 阳极层 电磁场 Maxwell 三维模拟 离子辅助沉积镀膜工艺摘要:封闭漂移阳极层型线性离子源,英文名称为 Closed Drift Anode Layer Type Linear Ion Souree,是一种由航天用阳极层推进器发展而来,装备于大型平板玻璃镀膜、大型装饰镀膜生产线上的大型离子源,主要应用在离子束在线清洗、镀前处理和离子辅助沉积等镀膜工艺中。近年来,由于封闭漂移阳极层型线性离子源具有低电压、低气压、高束流;无灯丝、无空心阴极、无栅极、可长时间稳定运行和生产;适应各种惰性气体和反应气体等优点而

2、备受青睐。 国内封闭漂移阳极层型线性离子源的研制虽发展很快,但由于起步较晚和国外相比还有很大差距;另一方面,国内镀膜技术发展迅速,这种离子源的市场潜力巨大。为满足市场的需要,大连远东真空技术有限公司于 2005 年 9 月开始研制这种离子源。经过本文作者与该公司科技人员近一年的共同努力,成功研制出了封闭漂移阳极层型线性离子源。本文主要论述了该离子源从原理分析、设计与结构优化、三维模拟一直到性能检测的全过程。具体研究工作如下: (1)探析封闭漂移阳极层型线性离子源的概况和发展; (2)介绍封闭漂移阳极层型线性离子源的原理; (3)重点研究封闭漂移阳极层型线性离子源的设计和结构优化,分别对离子源的

3、放电室结构、外形尺寸、磁场、电场、通气系统、冷却系统进行设计,着重分析该离子源中永磁铁、内外磁极靴、磁轭、阳极的尺寸参数对磁场和电场的影响,从而优化离子源结构; (4)利用 Maxwell 软件对-设计后的离子源进行三维模拟,着重分析沿狭缝方向磁场和电场的均匀性情况、阳极上方磁场和电场的分布情况,以检验磁场和电场设计的合理性; (5)对加工出来的封闭漂移阳极层型线性离子源进行性能检测,主要包括磁场检测和放电电流检测。其中电流检测是通过通入不同气体、调节电源电压、改变通气流量等方式,测量出对应的放电电流,并做出它们的关系曲线,找出放电规律。验证设计的合理性和模拟的正确性的同时,总结该离子源的最佳

4、工作状态及其工作参数。正文内容封闭漂移阳极层型线性离子源,英文名称为 Closed Drift Anode Layer Type Linear Ion Souree,是一种由航天用阳极层推进器发展而来,装备于大型平板玻璃镀膜、大型装饰镀膜生产线上的大型离子源,主要应用在离子束在线清洗、镀前处理和离子辅助沉积等镀膜工艺中。近年来,由于封闭漂移阳极层型线性离子源具有低电压、低气压、高束流;无灯丝、无空心阴极、无栅极、可长时间稳定运行和生产;适应各种惰性气体和反应气体等优点而备受青睐。 国内封闭漂移阳极层型线性离子源的研制虽发展很快,但由于起步较晚和国外相比还有很大差距;另一方面,国内镀膜技术发展迅

5、速,这种离子源的市场潜力巨大。为满足市场的需要,大连远东真空技术有限公司于 2005 年 9 月开始研制这种离子源。经过本文作者与该公司科技人员近一年的共同努力,成功研制出了封闭漂移阳极层型线性离子源。本文主要论述了该离子源从原理分析、设计与结构优化、三维模拟一直到性能检测的全过程。具体研究工作如下: (1)探析封闭漂移阳极层型线性离子源的概况和发展; (2)介绍封闭漂移阳极层型线性离子源的原理; (3)重点研究封闭漂移阳极层型线性离子源的设计和结构优化,分别对离子源的放电室结构、外形尺寸、磁场、电场、通气系统、冷却系统进行设计,着重分析该离子源中永磁铁、内外磁极靴、磁轭、阳极的尺寸参数对磁场

6、和电场的影响,从而优化离子源结构; (4)利用 Maxwell 软件对-设计后的离子源进行三维模拟,着重分析沿狭缝方向磁场和电场的均匀性情况、阳极上方磁场和电场的分布情况,以检验磁场和电场设计的合理性; (5)对加工出来的封闭漂移阳极层型线性离子源进行性能检测,主要包括磁场检测和放电电流检测。其中电流检测是通过通入不同气体、调节电源电压、改变通气流量等方式,测量出对应的放电电流,并做出它们的关系曲线,找出放电规律。验证设计的合理性和模拟的正确性的同时,总结该离子源的最佳工作状态及其工作参数。封闭漂移阳极层型线性离子源,英文名称为 Closed Drift Anode Layer Type Li

7、near Ion Souree,是一种由航天用阳极层推进器发展而来,装备于大型平板玻璃镀膜、大型装饰镀膜生产线上的大型离子源,主要应用在离子束在线清洗、镀前处理和离子辅助沉积等镀膜工艺中。近年来,由于封闭漂移阳极层型线性离子源具有低电压、低气压、高束流;无灯丝、无空心阴极、无栅极、可长时间稳定运行和生产;适应各种惰性气体和反应气体等优点而备受青睐。 国内封闭漂移阳极层型线性离子源的研制虽发展很快,但由于起步较晚和国外相比还有很大差距;另一方面,国内镀膜技术发展迅速,这种离子源的市场潜力巨大。为满足市场的需要,大连远东真空技术有限公司于 2005 年 9 月开始研制这种离子源。经过本文作者与该公

8、司科技人员近一年的共同努力,成功研制出了封闭漂移阳极层型线性离子源。本文主要论述了该离子源从原理分析、设计与结构优化、三维模拟一直到性能检测的全过程。具体研究工作如下: (1)探析封闭漂移阳极层型线性离子源的概况和发展; (2)介绍封闭漂移阳极层型线性离子源的原理; (3)重点研究封闭漂移阳极层型线性离子源的设计和结构优化,分别对离子源的放电室结构、外形尺寸、磁场、电场、通气系统、冷却系统进行设计,着重分析该离子源中永磁铁、内外磁极靴、磁轭、阳极的尺寸参数对磁场和电场的影响,从而优化离子源结构; (4)利用 Maxwell 软件对-设计后的离子源进行三维模拟,着重分析沿狭缝方向磁场和电场的均匀

9、性情况、阳极上方磁场和电场的分布情况,以检验磁场和电场设计的合理性; (5)对加工出来的封闭漂移阳极层型线性离子源进行性能检测,主要包括磁场检测和放电电流检测。其中电流检测是通过通入不同气体、调节电源电压、改变通气流量等方式,测量出对应的放电电流,并做出它们的关系曲线,找出放电规律。验证设计的合理性和模拟的正确性的同时,总结该离子源的最佳工作状态及其工作参数。封闭漂移阳极层型线性离子源,英文名称为 Closed Drift Anode Layer Type Linear Ion Souree,是一种由航天用阳极层推进器发展而来,装备于大型平板玻璃镀膜、大型装饰镀膜生产线上的大型离子源,主要应用

10、在离子束在线清洗、镀前处理和离子辅助沉积等镀膜工艺中。近年来,由于封闭漂移阳极层型线性离子源具有低电压、低气压、高束流;无灯丝、无空心阴极、无栅极、可长时间稳定运行和生产;适应各种惰性气体和反应气体等优点而备受青睐。 国内封闭漂移阳极层型线性离子源的研制虽发展很快,但由于起步较晚和国外相比还有很大差距;另一方面,国内镀膜技术发展迅速,这种离子源的市场潜力巨大。为满足市场的需要,大连远东真空技术有限公司于 2005 年 9 月开始研制这种离子源。经过本文作者与该公司科技人员近一年的共同努力,成功研制出了封闭漂移阳极层型线性离子源。本文主要论述了该离子源从原理分析、设计与结构优化、三维模拟一直到性

11、能检测的全过程。具体研究工作如下: (1)探析封闭漂移阳极层型线性离子源的概况和发展; (2)介绍封闭漂移阳极层型线性离子源的原理; (3)重点研究封闭漂移阳极层型线性离子源的设计和结构优化,分别对离子源的放电室结构、外形尺寸、磁场、电场、通气系统、冷却系统进行设计,着重分析该离子源中永磁铁、内外磁极靴、磁轭、阳极的尺寸参数对磁场和电场的影响,从而优化离子源结构; (4)利用 Maxwell 软件对-设计后的离子源进行三维模拟,着重分析沿狭缝方向磁场和电场的均匀性情况、阳极上方磁场和电场的分布情况,以检验磁场和电场设计的合理性; (5)对加工出来的封闭漂移阳极层型线性离子源进行性能检测,主要包

12、括磁场检测和放电电流检测。其中电流检测是通过通入不同气体、调节电源电压、改变通气流量等方式,测量出对应的放电电流,并做出它们的关系曲线,找出放电规律。验证设计的合理性和模拟的正确性的同时,总结该离子源的最佳工作状态及其工作参数。封闭漂移阳极层型线性离子源,英文名称为 Closed Drift Anode Layer Type Linear Ion Souree,是一种由航天用阳极层推进器发展而来,装备于大型平板玻璃镀膜、大型装饰镀膜生产线上的大型离子源,主要应用在离子束在线清洗、镀前处理和离子辅助沉积等镀膜工艺中。近年来,由于封闭漂移阳极层型线性离子源具有低电压、低气压、高束流;无灯丝、无空心

13、阴极、无栅极、可长时间稳定运行和生产;适应各种惰性气体和反应气体等优点而备受青睐。 国内封闭漂移阳极层型线性离子源的研制虽发展很快,但由于起步较晚和国外相比还有很大差距;另一方面,国内镀膜技术发展迅速,这种离子源的市场潜力巨大。为满足市场的需要,大连远东真空技术有限公司于 2005 年 9 月开始研制这种离子源。经过本文作者与该公司科技人员近一年的共同努力,成功研制出了封闭漂移阳极层型线性离子源。本文主要论述了该离子源从原理分析、设计与结构优化、三维模拟一直到性能检测的全过程。具体研究工作如下: (1)探析封闭漂移阳极层型线性离子源的概况和发展; (2)介绍封闭漂移阳极层型线性离子源的原理;

14、(3)重点研究封闭漂移阳极层型线性离子源的设计和结构优化,分别对离子源的放电室结构、外形尺寸、磁场、电场、通气系统、冷却系统进行设计,着重分析该离子源中永磁铁、内外磁极靴、磁轭、阳极的尺寸参数对磁场和电场的影响,从而优化离子源结构; (4)利用 Maxwell 软件对-设计后的离子源进行三维模拟,着重分析沿狭缝方向磁场和电场的均匀性情况、阳极上方磁场和电场的分布情况,以检验磁场和电场设计的合理性; (5)对加工出来的封闭漂移阳极层型线性离子源进行性能检测,主要包括磁场检测和放电电流检测。其中电流检测是通过通入不同气体、调节电源电压、改变通气流量等方式,测量出对应的放电电流,并做出它们的关系曲线

15、,找出放电规律。验证设计的合理性和模拟的正确性的同时,总结该离子源的最佳工作状态及其工作参数。封闭漂移阳极层型线性离子源,英文名称为 Closed Drift Anode Layer Type Linear Ion Souree,是一种由航天用阳极层推进器发展而来,装备于大型平板玻璃镀膜、大型装饰镀膜生产线上的大型离子源,主要应用在离子束在线清洗、镀前处理和离子辅助沉积等镀膜工艺中。近年来,由于封闭漂移阳极层型线性离子源具有低电压、低气压、高束流;无灯丝、无空心阴极、无栅极、可长时间稳定运行和生产;适应各种惰性气体和反应气体等优点而备受青睐。 国内封闭漂移阳极层型线性离子源的研制虽发展很快,但

16、由于起步较晚和国外相比还有很大差距;另一方面,国内镀膜技术发展迅速,这种离子源的市场潜力巨大。为满足市场的需要,大连远东真空技术有限公司于 2005 年 9 月开始研制这种离子源。经过本文作者与该公司科技人员近一年的共同努力,成功研制出了封闭漂移阳极层型线性离子源。本文主要论述了该离子源从原理分析、设计与结构优化、三维模拟一直到性能检测的全过程。具体研究工作如下: (1)探析封闭漂移阳极层型线性离子源的概况和发展; (2)介绍封闭漂移阳极层型线性离子源的原理; (3)重点研究封闭漂移阳极层型线性离子源的设计和结构优化,分别对离子源的放电室结构、外形尺寸、磁场、电场、通气系统、冷却系统进行设计,

17、着重分析该离子源中永磁铁、内外磁极靴、磁轭、阳极的尺寸参数对磁场和电场的影响,从而优化离子源结构; (4)利用 Maxwell 软件对-设计后的离子源进行三维模拟,着重分析沿狭缝方向磁场和电场的均匀性情况、阳极上方磁场和电场的分布情况,以检验磁场和电场设计的合理性; (5)对加工出来的封闭漂移阳极层型线性离子源进行性能检测,主要包括磁场检测和放电电流检测。其中电流检测是通过通入不同气体、调节电源电压、改变通气流量等方式,测量出对应的放电电流,并做出它们的关系曲线,找出放电规律。验证设计的合理性和模拟的正确性的同时,总结该离子源的最佳工作状态及其工作参数。封闭漂移阳极层型线性离子源,英文名称为

18、Closed Drift Anode Layer Type Linear Ion Souree,是一种由航天用阳极层推进器发展而来,装备于大型平板玻璃镀膜、大型装饰镀膜生产线上的大型离子源,主要应用在离子束在线清洗、镀前处理和离子辅助沉积等镀膜工艺中。近年来,由于封闭漂移阳极层型线性离子源具有低电压、低气压、高束流;无灯丝、无空心阴极、无栅极、可长时间稳定运行和生产;适应各种惰性气体和反应气体等优点而备受青睐。 国内封闭漂移阳极层型线性离子源的研制虽发展很快,但由于起步较晚和国外相比还有很大差距;另一方面,国内镀膜技术发展迅速,这种离子源的市场潜力巨大。为满足市场的需要,大连远东真空技术有限公

19、司于 2005 年 9 月开始研制这种离子源。经过本文作者与该公司科技人员近一年的共同努力,成功研制出了封闭漂移阳极层型线性离子源。本文主要论述了该离子源从原理分析、设计与结构优化、三维模拟一直到性能检测的全过程。具体研究工作如下: (1)探析封闭漂移阳极层型线性离子源的概况和发展; (2)介绍封闭漂移阳极层型线性离子源的原理; (3)重点研究封闭漂移阳极层型线性离子源的设计和结构优化,分别对离子源的放电室结构、外形尺寸、磁场、电场、通气系统、冷却系统进行设计,着重分析该离子源中永磁铁、内外磁极靴、磁轭、阳极的尺寸参数对磁场和电场的影响,从而优化离子源结构; (4)利用 Maxwell 软件对

20、-设计后的离子源进行三维模拟,着重分析沿狭缝方向磁场和电场的均匀性情况、阳极上方磁场和电场的分布情况,以检验磁场和电场设计的合理性; (5)对加工出来的封闭漂移阳极层型线性离子源进行性能检测,主要包括磁场检测和放电电流检测。其中电流检测是通过通入不同气体、调节电源电压、改变通气流量等方式,测量出对应的放电电流,并做出它们的关系曲线,找出放电规律。验证设计的合理性和模拟的正确性的同时,总结该离子源的最佳工作状态及其工作参数。封闭漂移阳极层型线性离子源,英文名称为 Closed Drift Anode Layer Type Linear Ion Souree,是一种由航天用阳极层推进器发展而来,装

21、备于大型平板玻璃镀膜、大型装饰镀膜生产线上的大型离子源,主要应用在离子束在线清洗、镀前处理和离子辅助沉积等镀膜工艺中。近年来,由于封闭漂移阳极层型线性离子源具有低电压、低气压、高束流;无灯丝、无空心阴极、无栅极、可长时间稳定运行和生产;适应各种惰性气体和反应气体等优点而备受青睐。 国内封闭漂移阳极层型线性离子源的研制虽发展很快,但由于起步较晚和国外相比还有很大差距;另一方面,国内镀膜技术发展迅速,这种离子源的市场潜力巨大。为满足市场的需要,大连远东真空技术有限公司于 2005 年 9 月开始研制这种离子源。经过本文作者与该公司科技人员近一年的共同努力,成功研制出了封闭漂移阳极层型线性离子源。本

22、文主要论述了该离子源从原理分析、设计与结构优化、三维模拟一直到性能检测的全过程。具体研究工作如下: (1)探析封闭漂移阳极层型线性离子源的概况和发展; (2)介绍封闭漂移阳极层型线性离子源的原理; (3)重点研究封闭漂移阳极层型线性离子源的设计和结构优化,分别对离子源的放电室结构、外形尺寸、磁场、电场、通气系统、冷却系统进行设计,着重分析该离子源中永磁铁、内外磁极靴、磁轭、阳极的尺寸参数对磁场和电场的影响,从而优化离子源结构; (4)利用 Maxwell 软件对-设计后的离子源进行三维模拟,着重分析沿狭缝方向磁场和电场的均匀性情况、阳极上方磁场和电场的分布情况,以检验磁场和电场设计的合理性;

23、(5)对加工出来的封闭漂移阳极层型线性离子源进行性能检测,主要包括磁场检测和放电电流检测。其中电流检测是通过通入不同气体、调节电源电压、改变通气流量等方式,测量出对应的放电电流,并做出它们的关系曲线,找出放电规律。验证设计的合理性和模拟的正确性的同时,总结该离子源的最佳工作状态及其工作参数。封闭漂移阳极层型线性离子源,英文名称为 Closed Drift Anode Layer Type Linear Ion Souree,是一种由航天用阳极层推进器发展而来,装备于大型平板玻璃镀膜、大型装饰镀膜生产线上的大型离子源,主要应用在离子束在线清洗、镀前处理和离子辅助沉积等镀膜工艺中。近年来,由于封闭

24、漂移阳极层型线性离子源具有低电压、低气压、高束流;无灯丝、无空心阴极、无栅极、可长时间稳定运行和生产;适应各种惰性气体和反应气体等优点而备受青睐。 国内封闭漂移阳极层型线性离子源的研制虽发展很快,但由于起步较晚和国外相比还有很大差距;另一方面,国内镀膜技术发展迅速,这种离子源的市场潜力巨大。为满足市场的需要,大连远东真空技术有限公司于 2005 年 9 月开始研制这种离子源。经过本文作者与该公司科技人员近一年的共同努力,成功研制出了封闭漂移阳极层型线性离子源。本文主要论述了该离子源从原理分析、设计与结构优化、三维模拟一直到性能检测的全过程。具体研究工作如下: (1)探析封闭漂移阳极层型线性离子

25、源的概况和发展; (2)介绍封闭漂移阳极层型线性离子源的原理; (3)重点研究封闭漂移阳极层型线性离子源的设计和结构优化,分别对离子源的放电室结构、外形尺寸、磁场、电场、通气系统、冷却系统进行设计,着重分析该离子源中永磁铁、内外磁极靴、磁轭、阳极的尺寸参数对磁场和电场的影响,从而优化离子源结构; (4)利用 Maxwell 软件对-设计后的离子源进行三维模拟,着重分析沿狭缝方向磁场和电场的均匀性情况、阳极上方磁场和电场的分布情况,以检验磁场和电场设计的合理性; (5)对加工出来的封闭漂移阳极层型线性离子源进行性能检测,主要包括磁场检测和放电电流检测。其中电流检测是通过通入不同气体、调节电源电压

26、、改变通气流量等方式,测量出对应的放电电流,并做出它们的关系曲线,找出放电规律。验证设计的合理性和模拟的正确性的同时,总结该离子源的最佳工作状态及其工作参数。封闭漂移阳极层型线性离子源,英文名称为 Closed Drift Anode Layer Type Linear Ion Souree,是一种由航天用阳极层推进器发展而来,装备于大型平板玻璃镀膜、大型装饰镀膜生产线上的大型离子源,主要应用在离子束在线清洗、镀前处理和离子辅助沉积等镀膜工艺中。近年来,由于封闭漂移阳极层型线性离子源具有低电压、低气压、高束流;无灯丝、无空心阴极、无栅极、可长时间稳定运行和生产;适应各种惰性气体和反应气体等优点

27、而备受青睐。 国内封闭漂移阳极层型线性离子源的研制虽发展很快,但由于起步较晚和国外相比还有很大差距;另一方面,国内镀膜技术发展迅速,这种离子源的市场潜力巨大。为满足市场的需要,大连远东真空技术有限公司于 2005 年 9 月开始研制这种离子源。经过本文作者与该公司科技人员近一年的共同努力,成功研制出了封闭漂移阳极层型线性离子源。本文主要论述了该离子源从原理分析、设计与结构优化、三维模拟一直到性能检测的全过程。具体研究工作如下: (1)探析封闭漂移阳极层型线性离子源的概况和发展; (2)介绍封闭漂移阳极层型线性离子源的原理; (3)重点研究封闭漂移阳极层型线性离子源的设计和结构优化,分别对离子源

28、的放电室结构、外形尺寸、磁场、电场、通气系统、冷却系统进行设计,着重分析该离子源中永磁铁、内外磁极靴、磁轭、阳极的尺寸参数对磁场和电场的影响,从而优化离子源结构; (4)利用 Maxwell 软件对-设计后的离子源进行三维模拟,着重分析沿狭缝方向磁场和电场的均匀性情况、阳极上方磁场和电场的分布情况,以检验磁场和电场设计的合理性; (5)对加工出来的封闭漂移阳极层型线性离子源进行性能检测,主要包括磁场检测和放电电流检测。其中电流检测是通过通入不同气体、调节电源电压、改变通气流量等方式,测量出对应的放电电流,并做出它们的关系曲线,找出放电规律。验证设计的合理性和模拟的正确性的同时,总结该离子源的最

29、佳工作状态及其工作参数。封闭漂移阳极层型线性离子源,英文名称为 Closed Drift Anode Layer Type Linear Ion Souree,是一种由航天用阳极层推进器发展而来,装备于大型平板玻璃镀膜、大型装饰镀膜生产线上的大型离子源,主要应用在离子束在线清洗、镀前处理和离子辅助沉积等镀膜工艺中。近年来,由于封闭漂移阳极层型线性离子源具有低电压、低气压、高束流;无灯丝、无空心阴极、无栅极、可长时间稳定运行和生产;适应各种惰性气体和反应气体等优点而备受青睐。 国内封闭漂移阳极层型线性离子源的研制虽发展很快,但由于起步较晚和国外相比还有很大差距;另一方面,国内镀膜技术发展迅速,这

30、种离子源的市场潜力巨大。为满足市场的需要,大连远东真空技术有限公司于 2005 年 9 月开始研制这种离子源。经过本文作者与该公司科技人员近一年的共同努力,成功研制出了封闭漂移阳极层型线性离子源。本文主要论述了该离子源从原理分析、设计与结构优化、三维模拟一直到性能检测的全过程。具体研究工作如下: (1)探析封闭漂移阳极层型线性离子源的概况和发展; (2)介绍封闭漂移阳极层型线性离子源的原理; (3)重点研究封闭漂移阳极层型线性离子源的设计和结构优化,分别对离子源的放电室结构、外形尺寸、磁场、电场、通气系统、冷却系统进行设计,着重分析该离子源中永磁铁、内外磁极靴、磁轭、阳极的尺寸参数对磁场和电场

31、的影响,从而优化离子源结构; (4)利用 Maxwell 软件对-设计后的离子源进行三维模拟,着重分析沿狭缝方向磁场和电场的均匀性情况、阳极上方磁场和电场的分布情况,以检验磁场和电场设计的合理性; (5)对加工出来的封闭漂移阳极层型线性离子源进行性能检测,主要包括磁场检测和放电电流检测。其中电流检测是通过通入不同气体、调节电源电压、改变通气流量等方式,测量出对应的放电电流,并做出它们的关系曲线,找出放电规律。验证设计的合理性和模拟的正确性的同时,总结该离子源的最佳工作状态及其工作参数。特别提醒 :正文内容由 PDF 文件转码生成,如您电脑未有相应转换码,则无法显示正文内容,请您下载相应软件,下

32、载地址为 http:/ 。如还不能显示,可以联系我 q q 1627550258 ,提供原格式文档。我们还可提供代笔服务,价格优惠,服务周到,包您通过。“垐垯櫃 换烫梯葺铑?endstreamendobj2x 滌甸?*U 躆 跦?l, 墀 VGi?o 嫅#4K 錶 c#x 刔 彟 2Z 皙笜?D 剧珞 H 鏋 Kx 時 k,褝仆? 稀?i 攸闥-) 荮vJ 釔絓|?殢 D 蘰厣?籶(柶胊?07 姻Rl 遜 ee 醳 B?苒?甊袝 t 弟l?%G 趓毘 N 蒖與叚繜羇坯嵎憛?U?Xd* 蛥?-.臟兄+鮶 m4嵸/E 厤U 閄 r塎偨匰忓tQL 綹 eb?抔搉 ok 怊 J?l?庮 蔘?唍*舶裤爞 K 誵Xr 蛈翏磾寚缳 nE 駔殞梕 壦 e 櫫蹴友搇6 碪近躍邀 8 顪?zFi?U 钮 嬧撯暼坻7/?W?3RQ 碚螅 T 憚磴炬 B- 垥 n 國 0fw 丮“eI?a揦(?7 鳁?H?弋睟栴?霽 N 濎嬄! 盯 鼴蝔 4sxr?溣?檝皞咃 hi#?攊(?v 擗谂馿鏤刊 x 偨棆鯍抰Lyy|y 箲丽膈淢 m7 汍衂法瀶?鴫 C?Q 貖 澔?wC(?9m.Ek?腅僼碓 靔 奲?D| 疑維 d袣箈 Q| 榉慓採紤婏(鞄-h-蜪7I冑?匨+蘮.-懸 6 鶚?蚧?铒鷈?叛牪?蹾 rR?*t? 檸?籕

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