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压力传感器的芯片封装技术_孙以材.pdf

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2、0TY,fS.8/ ,1991,(1):24 269 +.8/ ,1994,(2):23 2610 . LT/ 460,199211 Walls G,Pomerantz D J.J.Appl.phys,1969,40:3946 394912 Borom M P,Amer J.Ceram.Soc.,1997,56:254 25713 S .8,1996,(4):8 1014 S .8/ ,1994,(6):54 ;=5 P; 15GB ;=5|/B; ,CX L 。 / = !1998 M -g r“ 。 ;=5o410nm。visO q K ,o ,sO q。yN ;=5V : c V1CDVD; 2.5,r15GB : c 。 ;=5 15GBH z 1o, / P / TNq。 GaN$;=5,7 / 5;o;=5=o(SHG);。 SHG| ; M 3 , ; 。/ p4 ? F zTS(-1060)#。 K4223 2 8 1998 M6

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