1、“提高石墨坩埚使用寿命”QC活动,概 要,提高石墨坩埚使用寿命,降 低 成 本,选题,本部门症结,公司要求,选 题 理 由,现 状 调 查,易断裂,事故率高,经济损失大,成本高,石墨坩埚寿命短,?必须解决!,现 状 调 查,2009年5月-8月石墨坩埚使用情况的调查数据：,现 状 调 查,石墨坩埚寿命提高75,目 标 设 定,单位：炉,世上无难事只要肯登攀,石墨坩埚 使用寿命短,易发生断裂,结构设计不合理,原 因 分 析,石墨件材质不合要求,防护不到位,温度波动大,易磨损,操作不当,工艺不完善,操作工不熟悉工艺,操作工培训不够,要 因 确 定,石墨件,原包装,现在包装,要 因 确 定,由调查表
2、看出，目前石墨坩埚都是使用细石墨材质，但使用寿命也是不同的，所以石墨件材质不合要求不是主要原因。,要 因 确 定,1.公司规定，新近员工要进行岗位技术的培训，并考核合格后方可上岗。我们查阅了操作工培训记录，培训情况如下表：,2.2009.9.05我们对操作工进行了技能测试考核，结果如下：,要 因 确 定,我们调查了清装炉作业指导书，发现对石墨坩埚的防护这方面并没有任何措施。但在高温中，石墨坩埚与石英坩埚会起碳还原反应，尤其是石墨坩埚结合处温度更高，反应更剧烈，导致内壁损耗严重。,下表是我们调查石墨坩埚在使用过程中内壁的损耗情况：,要 因 确 定,硅液对石墨坩埚的作用为对埚壁的作用力f1和对埚底
3、的作用力f2，它们的合力为f。因此在整个拉晶过程中，石墨坩埚受力最大处为圆弧处。同时圆弧上部承受高温时间较长，f1对锅底产生较大的力矩f1H，所以圆弧上部直壁处为易断裂处。,制 定 对 策,实施对策(一),将石墨坩埚底部外形改为夹角为134度的锥面，使坩埚托盘对石墨坩埚圆弧角有一个向心的支撑力N，其水平分力N1减小了f1对锅底产生的力矩，提升了埚壁的抗断裂能力。同时在底部外边缘处增加了挡硅环，避免了硅液顺着石墨坩埚外壁流至底部与坩埚托盘发生粘结的现象。,改进后结构,改进后,改进后,实施对策(一),在石墨坩埚结合处铺垫碳纸，减缓其与石英坩埚反应速度，降低R角磨损。,在放置石墨坩埚的台车上铺垫废旧石墨条，避免直接接触温度变化过快，内部产生应力。,碳纸,石墨条,实施对策(二),效 果 检 查,2010年1月-4月石墨坩埚使用情况的调查数据：,达到目标！,效 果 检 查,QC活动前后石墨坩埚平均寿命对比,石墨坩埚寿命为20炉，年消耗在300只左右；寿命为40炉，年消耗在150只左右，一年可节约150只。一只石墨坩埚价格按21000元计算，一年可节约300万元左右。,150,21000,300万,效 果 检 查,经济效益,巩 固 措 施,实施对策，并监督检查。,总 结 及 展 望,谢谢大家！,
