1、洁净室标准规格说明（一）目前世界各国虽有自订规格，但普遍还是采用美国联邦标准 209 为多，今就 209D 及 209E 和世界上其他各国之所订标准再做更进一步之介绍与相互比较。表 1-1 为美国联邦标准 209D 之洁净室规格。表 1-1 美国联邦标准 209D 洁净室规格至于 209E 和 209D 等最大之不同点在于 209E 表示单位增加了公制单位，即洁净室等级以“M”字头表示，如 M1、M1.5 、M2 、M2.5 、M3 依此类推，其目的在于配合国际公制单位之标准化。M 字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中0.5um 之微尘粒子数目字以 10 的幂次方表示，而取指数为之；若微尘粒子
2、数介于前后二者完全幂次方之间（即非整数，则以 1.5、2.5、或 3.5等表示之。表 1-2 即为 1992 年 9 月新颁布之美国联邦标准 209E 之内容，前述之 M 字母后的数字，可从表中 0.5um 列的数值中求出，读者可试算之。 表 1-2 美国联邦标准 209E美国联邦标准 FS 209D 都以英制每立方英尺为单位，而日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位；另外 209D 与日本 JIS（B9920-1989）标准中另一不同点为 209D 是以 0.5um 之粒子数为计数基准，而日本则以 0.1um 微粒子为计数标准。日本标准之表示法是以 Class1,Class2,Class3,
3、Class8 表示，即最好之等级为 Class1,最差则为 Class8,表 1-3 为日本 JIS（9920-1989）之标准规定的粒子上限数（个/m3）。其Class1，Class2. 之数目字以 0.1um 粒子为基准，而以每立方公尺中微尘粒子总数中化为 10 之幂次方，取其指数而得。 表 1-3 日本 JIS（9920 1989）标准洁净室标准规格说明（二）在德国工业及医学等之多数领域中，洁净室是为相关产业界所重视和期望发展之技术，因此在 1967 年完成了德国的洁净室规格，在德国规格中洁净室等级之表示法与美国规格不同，其表示法是以 4*10”的形式表示粒径 0.5um 以上之粒子数，
4、而以其中之指数 n 规定等级，如 4*103 即表示等级为 3，此等级与美国联邦规格 Class100 想近似。表 1-4 为德国规格所容许之粒子数与美国、法国、近似等级之表示。表 1-4 德国规格表 表 1-5 为美国联邦标准 209D 标准粒子之数目上限值（个 /ft3）（以 0.5u 粒子为依准）。由于美国与日本之规格中所表示之单位分类不同，为让使用人员有一快速之获知二者之相近标准等级，以期运用于工作上，故有必要将二者之间做一洁净度级别之换算，如表 1-6 表 1-5 美国 209D 规定粒子数（上限值）*（）内之数值单位：个/M3。 表 1-6 美日洁净度级别换算除了美国、日本、德国、
5、之洁净室标准外，世界上尚有英国、法国、澳洲及韩国、中国大陆之规格，表1-6 即为世界各国洁净度等级规格之比较。表 1-6 世界各国洁净度等级规格表*以 0.5um 为区别。 洁净室标准中华人民共和国国家标准 洁净厂房设计规范(部分章节）GBJ73-84第一章 总则第 101 条洁净厂房设计必须贯彻执行国家的有关方针政策，做到技术先进、经济合理、安全适用、确保质量，符合节约能源和环境保护的要求。第 102 条本规范适用于新建和改建、扩建的洁净厂房设计，但不适用于以细菌为控制对象的生物洁净室。本规范有关防火和疏散、消防设施章节的规定，不适用于建筑高度超过 24 米的高层洁净厂房和地下洁净厂房的设计
6、。第 103 条在利用原有建筑进行洁净技术改造时，洁净厂房设计必须根据生产工艺要求，因地制宜、区别对待，充分利用已有的技术设施。第 104 条洁净厂房设计应为施工安装、维护管理、测试和安全运行创造必要的条件。第 105 条洁净厂房设计除应按本规范执行外，尚应符合现行的国家标准、规范的有关要求。 第二章 空气洁净度等级第 201 条 空气洁净度应按表 2.0.1 规定划分为四个等级。 空气洁净度等级 表 2.0.1注：对于空气洁净度为 100 级的洁净室内大于等于 5 微米尘粒的计算应进行多次采样。当其多次出现时，方可认为该测试数值是可靠的。 第 202 条洁净室空气洁净度等级的检验，应以动态条
7、件下测试的尘粒数为依据。洁净室空气洁净度的测试，应符合附录二规定。第三章 总体设计第一节 洁净厂房位置选择和总平面布置第 3.1.1 条洁净厂房位置的选择，应根据下列要求并经技术经济方案比较后确定：一、应在大气含尘浓度较低，自然环境较好的区域；二、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。如不能远离严重空气污染源时，则应位于其最大频率风向上风侧，或全年最小频率风向下风侧；三、应布置在厂区内环境清洁、人流货流不穿越或少穿越的地段。第 312 条对于兼有微振控制要求的洁净厂房的位置选择，应实际测定周围现有振源的振动影响，并
8、应与精密设备、精密仪器仪表允许环境振动值进行分析比较。第 313 条洁净厂房最大频率风向上风侧有烟囱时，洁净厂房与烟囱之间的水平距离不宜小于烟囱高度的 12 倍。第 3.1.4 条 洁洁厂房与交通干道之间的距离不宜小于 50 米。第 315 条 洁净厂房周围宜设置环形消防车道(可利用交通道路) ，如有困难时，可沿厂房的两个长边设置消防车道。第 316 条洁净厂房周围的道路面层，应选用整体性好、发尘少的材料。第 317 条洁净厂房周围应进行绿化。可铺植草坪、种植对大气含尘农度不产生有害影响的树木，并形成绿化小区。但不得妨碍消防操作。第二节 工艺布置和设计综合协调第 321 条 工艺布置应符合下列
9、要求：一、工艺布置合理、紧凑。洁净室或洁净区内只布置必要的工艺设备以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室。二、在满足生产工艺要求的前提下，空气洁净度高的洁净室或洁净区宜靠近空气调节机房，空气洁净度等级相同的工序和工作室宜集中布置，靠近洁净区人口处宜布置空气洁净度等级较低的工作室。三、洁净室内要求空气洁净度高的工序应布置在上风侧，易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置。四、应考虑大型设备安装和维修的运输路线，并预留设备安装口和检修口。五、应设置单独的物料人口，物料传递路线应最短，物料进入洁净区之前必须进行清洁处理。第 322 条洁净厂房内宜少设隔间，但在下列情况下可予以分隔。一、按生产的火灾
10、危险性分类，甲、乙类与非甲、乙类相邻的生产区段之间，或有防火分隔要求者。二、生产过程中产生较强噪声或散发较多热量、尘粒和有害气体，且不能采取局部措施加以控制者。三、生产联系少，并经常不同时使用的两个生产车间之间。第 323 条洁净厂房的平面和空间设计，宜将洁净区、人员净化、物料净化和其他辅助用房进行分区布置。同时应考虑生产操作、工艺设备安装和维修、气流组织型式、管线布置以及净化空气调节系统等各种技术设施的综合协调效果。第 324 条洁净厂房设计必须合理确定各种管线的平面位置和竖向标高。第 325 条 洁净厂房内各种固定技术设施(如送风口、照明器、回风口、各种管线等) 的布置，宜首先考虑净化空气
11、调节系统的要求。第三节 噪声控制第 331 条洁净室内的噪声级，应符合下列要求：一、动态测试时，洁净室内的噪声级不应超过 70 分贝 A。二、空态测试时，乱流洁净室的噪声级不宜大于 60 分贝 A；层流洁净室的噪声级不应大于 65 分贝A。注：（1）由于技术经济条件限制，或噪声大于 70 分贝 A 对生产无影响时，噪声级可适当放宽，但不宜大于 75 分贝 A；（2）上述噪声级是指在室内每一个工作点人耳位置（人离开）的测量值。对于变动噪声，则取相同位置处在一个正常工作日内的等效连续声压级。第 332 条洁净室的噪声频谱限制，应采用倍频程声太级；各频带声压级值不宜大于表 3.3.2 的规定。第 3
12、33 条洁净厂房的平、剖面布置，应考虑噪声控制的要求，其围护结构应有良好的隔声性能，并宜使各部分隔声量相接近。第 334 条洁净室内的各种设备均应选用低噪声产品。对于辐射噪声超过洁净室允许值的设备，应设置专用隔声设施(如隔声间、隔声罩等 )。第 3.3.5 条净化空气调节系统噪声超过允许值时，应采取隔声、消声、隔声振等控制措施。除事故排风外，应对洁净室内的排风系统进行减噪设计。第 336 条净化空气调节系统，根据室内噪声级的要求，风管内风速宜按下列规定选用：一、总风管为 610 米/秒。二、无送、回风口的支风管为 68 米/秒。三、有送、回风口的大风管为 36 米/秒。第 337 条洁净厂房的
13、噪声控制设计必须考虑生产环境的空气洁净度要求，不得因控制噪声而影响洁净室的净化条件。第四节 振动控制第 3.4.1 条洁净厂房和周围辅助性站房内有强烈振动的设备(包括水泵等) 及其通往洁净室的管道，应采取积极隔振措施。第 342 条对洁净厂房内外各类振源，应测定其对洁净厂房的综合振动影响。如受条件限制，也可根据经验对综合振动影响进行评价。并应与精密设备、精仪器仪表的允许环境振动值进行比较，以确定对其采取必要的隔振措施。第 343 条精密设备、精密仪器仪表的隔振措施，应考虑减少发生量、保持洁净室内合理的气流组织等要求。当采用空气弹簧隔振台座时，应地气源进行处理，使其达到洁净室的空气洁净度等级。
14、第五章 空气净化第一节 一般规定第 511 条洁净厂房内各洁净室的空气洁净度等级的确定，应符合下列要求：一、洁净室内有多种工序时，应根据各工序的不同要求，采用不同的空气洁净度等级。二、在满足人生产工艺要求的前提下，洁净室的气流组级别，宜采用局部工作区空气净化和全室空气净化相结合的形式。第 5.1.2 条 层流洁净室和乱流洁净室以及运行班次和使用时间不同的洁净室，其净化空气调节系统均宜分开设置。第 513 条洁净室内的计算温、温度、应符合下列规定：一、满足生产工艺要求二、生产工艺无温、湿度要求时，洁净室温度为 2026 度，温度 70 度。第 514 条洁净室内应保证一定的新鲜空气量，其数值频取
15、下列风量中的最大值；一、乱流洁净室总送风量的 10%30% ，层流洁净室总送风量的 24%。二、补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量。三、保证室内每人每小时的新鲜空气量不小于 40 立方米。第 515 条洁净区的清扫，宜采用移动式高效真空吸尘器或设置集中式真空吸尘系统。洁净室内集中式真空吸尘系统的管道，应暗敷。第 516 条在净化空气调节系统设计中，对施工和维护管理要求，可按附录四和附录五的规定。第二节 洁净室正压控制第 521 条洁净室必须维持一定的正压。不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的静压差，应不小于 4.9Pa，洁净区与室外的静压差，应不小于 9.8Pa。第 522 条
16、洁净室维持不同的正压值所需的正压风量，宜按下式计算：Qq1（qL） （5.2.2）式中 Q维持洁净室正压值所需的正压风量(米 3/时) ；a根据围扩结构气密性确定的安全系数，可取 1.11.2；q当洁净室为某一正压值时，其围护结构单位长度缝隙的渗漏风量(米 3/时 米)；L围扩结构的缝隙长度(米) 。第 523 条围护结构单位长度缝隙的渗漏风量，可按表 5.2.3 采用。表 5.2.3第七章 工业气体管道 第一节 一般规定第 711 条工业气体管道的干管，应敷设在技术夹层、技术夹道内。氢气和氧气管道且明敷，如敷设在技术夹层、技术夹道内时，应采取良好的通风措施。引入洁净的支管宜明敷。第 712
17、条高纯气体管道设计，应符合下列要求：一、根据计算确定管径。二、管道系统应尽量短。三、不宜设预留口。四、不应出现“盲管” 等不易吹除的部位。五、干管不支管上应设置吹除口。六、在管系统上应设置吹除口。第 7.13 条穿过洁净室墙壁或楼板的气体管道，应敷设在预埋套管内，套管内的管段不应有焊缝。管道与套管之间应采取可靠的密封措施。第 714 条氢气和氧气管道的末端或最高点宜设放散管。放散管应高出屋脊 1 米，并应设在防雷保护区内。第 715 条气体净化装置应根据气源和生产工艺对气体统一计划的要求进行选择。气体终端净化装置应设在靠近用气点处。第 716 条气体过滤器应根据生产工艺对气体含尘量的要求进行选
18、择。高纯气体管道应装设高效气体过滤器。第二节 管道材料、阀门和附件721 条根据不同的气体及其纯度和用途，管道材料应按下列规定选用：一、气体纯度大小或等于 99.999%时，应采用不锈钢管。二、气体纯度大于或等于 99.99%时，宜采用不锈钢管、铜管、无缝钢管。三、气体纯度小于 99.99%时，可采用无缝钢管。四、管道与设备的连接段，宜采用金属管道；如为非金属软管时，宜采用聚四氟乙烯管、聚乙烯管、不得采用乳胶管。第 722 条高纯气体管道应采用密封性能好的低门和附件，其材料与管道相适应。阀门的密合圈应为有色金属、不锈钢或聚四氟乙烯材料。阀门的填塞料应采用聚四氟乙烯材料。第 723 高纯气体管道
19、与附件连接的密封垫，应采用不锈钢、有色金属、聚四氟乙烯或氟橡胶材料。第三节 管道连接和清洗第 731 条管道连接应采用焊接。高纯气体管道应采用承插焊。第 732 条管道与设备、阀门的连接处，宜采用法兰、螺纹或其它密封性能优良的连接件。螺纹处宜采用聚四氟乙烯带密封。第 733 条 高纯性气体管道内的内壁、阀门和附件在安装前，应进行清洗、脱脂等预处理。第四节 安全技术第 741 条 工业气体管道设计的安全技术，应符合下列规定；一、氢气管道的支管和放散管上，应设置回火防止器。二、氢气和氧气管道应设置导除静电装置。三、各种气体管道应设明显标志。第 742 条洁净室内使用氢气时，宜在室内设置报警装置。第 743 条各种气瓶应集中设置在洁净厂房外，当日用气量不超过一瓶时，气瓶可设置在洁净室内。
