1、洁净室（区）空气洁净级别表洁净度级别尘粒最大允许数/立方米0.5m 尘粒数5m 尘粒数微生物最大允许数浮游菌/立方米沉降菌/皿100 级 3,500 0 5 110,000 级 350， 000 2，000 100 3100， 000 级 3，500，000 20，000 500 10300， 000 级 10，500，000 60，000 1000 15ISO14644-1（国际标准）大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（空气粒子数个/立方米）空气洁净度等级(N) 0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 1.0um 5.0umISO Class1 10 2ISO Class2 100
2、 24 10 4ISO Class3 1,000 237 102 35 8ISO Class4 10,000 2,370 1,020 352 83ISO Class5 100,000 23,700 10,200 3,520 832 29ISO Class6 1,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293ISO Class7 352,000 83,200 2,930ISO Class8 3,520,000 832,000 29,300ISO Class9 35,200,000 8,320,000 293,000注：由于涉及测量过程的不确定性，故要求用不超过三
3、个有效的浓度数字来确定等级水平各国洁净度等级近似对照表个/M0.5umISO14644-1US209E(1992)US209D(1988)EECcGMP(1989)FRANCEAFNOR(1981)GERMANYVDI 2083(1990)JAPANJAOA(1989)1 - - - - - - -3.5 2 - - - - 0 210.0 - M1 - - - - -35.3 3 M1.5 1 - - 1 3100 - M2 - - - - -353 4 M2.5 10 - - 2 41,000 - M3 - - - - -3,530 5 M3.5 100 A+B 4,000 3 510,0
4、00 - M4 - - - - -35,300 6 M4.5 1,000 1,000 - 4 6100,000 - M5 - - - - -353,000 7 M5.5 10,000 C 400,000 5 71,000,000 - M6 - - - - -3,530,000 8 M6.5 100,000 D 4,000,000 6 810,000,000 - M7 - - - - -洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m)空气洁净度等级(N)0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 1um 5um1 10 22 100 24 10 43 1000 237 102 35 84（十级） 10000 2370 1020 352 835（百级） 100000 23700 10200 3520 832 296（千级） 1000000 237000 102000 35200 8320 2937（万级） 352000 83200 29308（十万级） 3520000 832000 293009（一百万级） 35200000 8320000 293000
