1、 G15PM产品技术说明 上海乾曜光学科技有限公司 1 15mm倒立式（ G15PM）激光干涉仪 一、 仪器规格参数 G15PM激光干涉仪针对手机面板摄像头小孔区域的透过波前及平行度检测而专门设计，并偏重于研发部门使用。由于摄像头区域的透过波前及平行度对成像的解像力有直接影响，因此，该产品又可称为摄像孔解像力测试仪。 仪器规格参数表： 硬件部分： 产品型号 G15PM 产品名称 15mm倒立式激光干涉仪 测试口径 15mm 成像倍率 1-6.7X 标准镜面形精度 /20 光源 进口 He-Ne激光器（ 632.8nm) 光路切换 对准与测试模式电控切换 标准配件 高分辨率显示器 电源 AC22
2、0V50HZ 软件部分： 软件名称 移相算法（简称 PH） 分析项目 透过波前 PV值、平行度 Tilt值等 测试重复性 PV： 0.01 RMS:0.003 测试时间 2秒 2 二、 仪器特点 1、 摄像孔干涉图图像清晰 由于手机摄像孔直径只有 3mm，在 市 场 上 常 规 的 30mm和 25.4mm（ 1英寸）干涉仪上测量，图像特别小，且边缘衍射严重，影响测量精度。尤其是像差比较大时，干涉条纹较密 集，无法清晰分辨（甚至无法显示）。 G15PM激光干涉仪测试口径为 15mm，且 具 有 1-6.7X光学放大成像功能，专为测量手机摄像孔设计，在 1X成像时即能够得到较大的摄像孔干涉图，结
3、合变倍成像，摄像孔区域的图像可以充满整个视场。 2、 可测量透过波前误差达 10 在 1X成像时，即可满足透过波前 PV值 5以内的测量；当 3X以上倍率成像时，可满足透过波前 PV值 10以内的测量 。 3、 光源为进口 He-Ne激光器（波长 632.8nm） He-Ne激光相比半导体激光相比有如下优点：相干性更好，干涉图的对比度及清晰度更高 ；半 导 体 激 光 随 着 温 度 变 化 产 生 的 温 飘 会 改变干涉仪空腔的干涉条纹数，对测量结果有影响，而 He-Ne激光器频率稳定，且寿命更长。 3 三、 仪器操作说明 图 1、 G15PM干涉仪结构图 图 2、干涉仪控制箱接口图 1、
4、 G15PM干涉仪包括干涉仪主机、控制箱（集成了图像采集与移相控制功能）、移相器、透射标准镜、待测样品测试工装、反射标准镜、俯仰调整架及监视器。 4 2、参照图 2将干涉仪、移相器、控制箱、监视器与计算机建立连接。 3、将透射标准镜与反射标准镜分别安装在移相器及机架上的俯仰调整架上，如图 1所示 。 4、将“ 对 准 /测试切换开关” 切换到“对准”模式， 将透射标准镜及反射标准镜反射回的光点调节到十字叉丝中心并重合 ；切换到“测试”模式， 将背景干涉条纹调节至零场（条纹数接近 0） 。 5、将待检样品插入两个标准镜之间的干涉腔内。 此时的干涉条纹的数目就代表了样品前后表面的平行度，条纹的弯曲
5、程度就表征了样品的透过波前 。乾 曜 光 学 可 以 给 客 户 定 制 各 种 测 试 检 具 ，保 证 检 测过程的效率。下图所示，是分别为前置与后置摄像头检测设计的检具： 图 3、测试治具 5 四、 软件操作说明 1、 软件快速入门： 干涉仪软件基于移相算法来开发，并针对生产现场大规模检测需求做了优化。 软件主界面如下图所示： 在软件的右侧，显示测量结果；软件下方为质量控制窗口，可以根据预先设定的数值来直观判断“ OK”或“ NG”。 第一步：绘制分析掩模，选择测试区域。 在菜单栏“工具”中选择“掩模绘制工具”，或在工具栏中点击mask编辑 图标： 6 绘制圆掩模，绘制出尺寸合适的掩模，
6、覆盖需要测试的区域： 第二步：在工具栏中点击“测试”按钮，完成一次测试。 软件会一次性测量得到摄像孔区 域的透过波前和平行度，分别用PV和 Tilt来表示。 注：在放入待测镜片前，需要先将空腔调整为零场，此时 Tilt数7 值才能代表镜片前后表面的平行度。 第三步，保存数据。 可以保存单次测量的完整数据；也可以在一个批次的测量完成后，批量输出结果。 批量数据输出，通常与自动测量结合使用。在软件主界面右侧“ Record”里面，可以记录多次测量的数据，并以 Excel格式导出。在记录一个批次的数据之前，先点击“清空数据”。在之后的测试过程中，每次测量的 PV值都会显示在表格中。 在一个批次的镜片测量完成后， 将数据导出至 Excel表格。客户可依据批量数据来评估良品率，改进工艺。
