1、实验 硅热氧化工艺在硅片表面生长一层优质的氧化层对整个半导体集成电路制造过程具有极为重要的意义。它不仅作为离子注入或热扩散的掩蔽层，而且也是保证器件表面不受周围气氛影响的钝化层，它不光是器件与器件之间电学隔离的绝缘层，而且也是 MOS 工艺以及多层金属化系统中保证电隔离的主要组成部分。因此了解硅氧化层的生长机理，控制并重复生长优质的硅氧化层方法对保证高质量的集成电路可靠性是至关重要的。在硅片表面形成 SiO2 的技术有很多种：热氧化生长，热分解淀积（即VCD 法） ，外延生长，真空蒸发，反应溅射及阳极氧化法等。其中热生长氧化在集成电路工艺中用得最多，其操作简便，且氧化层致密，足以用作为扩散掩蔽
2、层，通过光刻易形成定域扩散图形等其它应用。一、实验目的1、掌握热生长 SiO2 的工艺方法（干氧、湿氧、水汽） 。2、熟悉 SiO2 层在半导体集成电路制造中的重要作用。3、了解影响氧化层质量有哪些因素。4、能建立起厚度 d 和时间 t 的函数关系。5、了解形成 SiO2 层的几种方法及它们之间的不同之处。二、实验原理热生长二氧化硅法是将硅片放在高温炉内，在以水汽、湿氧或干氧作为氧化剂的氧化气氛中，使氧与硅反应来形成一薄层二氧化硅。图 1 和图 2 分别给出了干氧和水汽氧化装置的示意图。图 1、干氧氧化装置示意图图 2、水汽氧化装置示意图将经过严格清洗的硅片表面处于高温的氧化气氛（干氧、湿氧、
3、水汽）中时，由于硅片表面对氧原子具有很高的亲和力，所以硅表面与氧迅速形成 SiO2层。硅的常压干氧和水汽氧化的化学反应式分别为：Si+O2SiO 2 （21）Si+2H2OSiO 2+2H2 （22）如果生长的二氧化硅厚度为 0(m)，所消耗的硅厚度为 i，则由定量分析可知：（23）46.0i即生长 1m 的 SiO2，要消耗掉 0.46m 的 Si。由于不同热氧化法所得二氧化硅的密度不同，故 值亦不同。图 3 示出了硅片氧化前后表面位置的变化。图 3、SiO 2 生长对应硅片表面位置的变化当硅片表面生长一薄层 SiO2 以后，它阻挡了 O2 或 H2O 直接与硅表面接触，此时氧原子和水分子必
4、须穿过 SiO2 薄膜到达 SiSiO2 界面才能与硅继续反应生长 SiO2。显然，随着氧化层厚度的增长，氧原子和水分子穿过氧化膜进一步氧化就越困难，所以氧化膜的增厚率将越来越小。DealGrove 的模型描述了硅氧化的动力学过程。他们的模型对氧化温度 700至 1300，压强 0.2 至 1 个大气压（也许更高些） ，生长厚度 300 至 20000 的干氧和湿氧氧化证明是合适的。通过多种实验已经证明，硅片在热氧化过程中是氧化剂穿透氧化层向 SiSiO2 界面运动并与硅进行反应，而不是硅向外运动到氧化膜的外表面进行反应，其氧化模型如图 4 所示。氧化剂要到达硅表面并发生反应，必须经历下列三个
5、连续的步骤：图 4、DealGrove 热氧化模型 从气体内部输运到气体氧化物界面，其流密度用 F1 表示。 扩散穿透已生成的氧化层，到达 SiO2Si 界面，其流密度用 F2 表示。 在 Si 表面发生反应生成 SiO2，其流密度用 F3 表示。在氧化过程中，由于 SiO2 层不断生长，所以 SiO2Si 界面也就不断向 Si内移动，因此，这里所碰到的是边界随时间变化的扩散问题。我们可以采用准静态近似，即假定所有反应实际上都立即达到稳定条件，这样变动的边界对扩散过程的影响可以忽略。在准静态近似下，上述三个流密度应该相等，则有F1=F2=F3 （24）附面层中的流密度取线性近似，即从气体内部到
6、气体氧化物界面处的氧化剂流密度 F1 正比于气体内部氧化剂浓度 Cg 与贴近 SiO2 表面上的氧化剂浓度 Cs 的差，数学表达式为（25）)(1sgCh其中 是气相质量输运（转移）系数。gh假定在我们所讨论的热氧化过程中，亨利定律是成立的：即认为在平衡条件下，固体中某种物质的浓度正比于该物质在固体周围的气体中的分压。于是SiO2 表面的氧化剂浓度 Co 正比于贴近 SiO2 表面的氧化剂分压 Ps，则有(26)SOHPCH 为亨利定律常数。在平衡情况下，SiO 2 中氧化剂的浓度 C*应与气体（主气流区）中的氧化剂分压 Pg 成正比，即有C* = HPg （27）由理想气体定律可以得到（28
7、）KTPg（29）S把式（26）（29）代入式（25）中，则有（210）)(*1OChF（211）HKTg其中 h 是用固体中的浓度表示的气相质量输运（转移）系数，而式（210）是用固体中的浓度表示的附面层中的流密度。通过 SiO2 层的流密度 F2 就是扩散流密度，数学表达式为（212）OiXCDD 为氧化剂在 SiO2 中的扩散系数，Co 和 Ci 分别表示 SiO2 表面和 SiO2Si 界面处的氧化剂浓度，X O 为 SiO2 的厚度。如果假定在 SiO2Si 界面处，氧化剂与 Si 反应的速率正比于界面处氧化剂的浓度 Ci，于是有（213）iSKF3KS 为氧化剂与 Si 反应的化学
8、反应常数。根据稳态条件 F1=F2=F3，再经过一定的数学运算，可得到 Ci 和 Co 的具体表达式（214）DXKhCOSi*（215）hOSO1*当上面两式中扩散系数 D 极大或极小时，硅的热氧化存在两种极限情况。当 D 非常小时，C i0，C oC *，这种情况称为扩散控制态。它导致通过氧化层的氧化输运流量比在 SiSiO2 界面处反应的相应流量来得小（因为 D 小） ，因此氧化速率取决于界面处提供的氧。第二种极限情况是 D 非常大时，（216）hKCSoi1*此时称为反应控制态。因为在 SiSiO2 界面处提供足够的氧，氧化速率是由反应速率常数 KS 和 Ci（等于 C0）所控制。为了
9、计算氧化层生长的速率，我们定义 N1 为进入单位体积氧化层中氧化的分子数，由于每立方厘米氧化层中 SiO2 分子密度为 2.21022 个，每生成一个SiO2 分子需要一个氧分子，或者两个水分子，这样对氧气氧化来说 N1 为2.21022/cm3,对水汽氧化来说 N1 为 4.41022/cm3。随着 SiO2 不断生长，界面处的 Si 也就不断转化为 SiO2 中的成份，因此 Si表面处的流密度也可表示为（217）dtXNFO13把（214）式代入到（213）式中，并与上式联立，则得到 SiO2 层的生长厚度与生长时间的微分方程（218）DXKhCdt OSO1*31这个微分方程的初始条件是
10、 X0（0）=X i，X i 代表氧化前硅片上原有的 SiO2 厚度。这样的初始条件适合两次或多次连续氧化的实际情况。微分方程（218）的解给出了 SiO2 的生长厚度与时间的普遍关系式。（219）)(2tBAO其中（220）)1(hKDS（221）1*2NCB(222)AXiiA 和 B 都是速率常数。方程（219）的解为（223）1422BAtO在氧化过程中，首先是氧化剂由气体内部扩散到二氧化硅界面处。因为在汽相中扩散速度要比在固相中大得多，所以扩散到二氧化硅与气体界面处的氧化剂是充足的，也就是说 SiO2 的生长速率不会受到氧化剂在汽相中输运（转移）速度的影响。因此，SiO 2 生长的快
11、慢将由氧化剂在 SiO2 种的扩散速度以及与 Si反应速度中较慢的一个因素所决定， 。即存在上面叙述过的扩散控制和表面化学反应控制两种极限情况。从 SiO2 厚度与生长时间的普遍关系式（223）中也可以得到上述两种极限情况。当氧化时间很长，即 t 和 t 时，则 SiO2 生长厚度与时间BA42的关系式可简化为（224）)(2tBXO这种情况下的氧化规律称抛物型规律，B 为抛物型速率常数。由（221）式可以看到，B 与 D 成正比，所以 SiO2 的生长速率主要由氧化剂在 SiO2 中的扩散快慢所决定，即为扩散控制。当氧化时间很短，即（t + ） ,则 SiO2 的厚度与时间的关系式可BA42
12、简化为（225）)(tXO这种极限情况下的氧化规律称线性规律，B/A 为线性速率常数，具体表达式为（226）1*NChKABS表 1：硅的湿氧氧化速率氧化温度（）A(m)抛物线型速率常数B（m 2 / h）线性型速率常数B / A（m h）1200 0.05 0.720 14.40 01100 0.11 0.510 4.64 01000 0.226 0.287 1.27 0920 0.50 0.203 0.406 0表 2：硅的干氧氧化速率氧化温度 A(m)抛物线型速率常数B（m 2 / h）线性型速率常数B / A（m h）1200 0.040 0.045 1.12 0.0271100 0.
13、090 0.027 0.30 0.0761000 0.165 0.0117 0.071 0.37920 0.235 0.0049 0.0208 1.40800 0.370 0.0011 0.0030 9.0700 0.00026 81.0表 1 和表 2 分别为硅湿氧氧化和干氧氧化的速率常数。图 5 和图 6 分别为干氧氧化层厚度与时间的关系和湿氧氧化层厚度与时间的关系。图 5、 （111）硅干氧氧化层厚度与时间的关系图 6、 （111）硅湿氧氧化层厚度与时间的关系由表 1 和表 2 以及图 5 和图 6 可见，湿氧氧化速率比干氧氧化速率快得多。虽然干氧方法的生长速度很慢，但生长的 SiO2
14、薄膜结构致密，干燥，均匀性和重复性好，且由于 SiO2 表面与光刻胶接触良好，光刻时不易浮胶。而湿氧氧化速率虽然快，但在氧化后的 Si 片表面存在较多的位错和腐蚀坑，而且还存在着一层使 SiO2 表面与光刻胶接触差的硅烷醇（Si OH)，因此在生产实践中，普遍采用干氧湿氧干氧交替的氧化方式。这种干、湿氧的交替氧化方式解决了生长速率和质量之间的矛盾，使生长的 SiO2 薄膜更好地满足实际生产的要求。氧化层质量的检测包括：测量膜厚、折射率、氧化层中可动正电荷密度、SiSiO2 界面态密度、氧化层的漏电及介质击穿等。三、实验装置1、扩散氧化炉2、椭偏仪3、高频 CV 测试仪四、实验步骤1、取 5 片
15、清洗的 Si 样片，用镊子夹到石英舟上。将炉温控制在 1150，并通入干 O2，流量为 500ml / 分钟。将石英舟缓慢推入炉中恒温区，分别以 5分钟、10 分钟、20 分钟、40 分钟、60 分钟五种不同时间生长厚度不同的 SiO2层。2、另外取一片清洁 Si 片，再同样温度下，通湿 O2 进行氧化，水温控制在95，时间为 20 分钟。3、用椭偏仪并结合干涉法分别测量上述各氧化层的厚度，并作图求出1150下干氧氧化速率常数。4、比较同样时间，同样温度下干、湿氧化薄膜厚度的差别。5、用 BT、CV 法测量 1150，60 分钟干氧生长的氧化层中的可动正离子密度。五、 实验报告1、明确实验目的，简述氧化的基本原理。2、简述氧化的操作步骤，指出干、湿氧化的不同。3、为什么同样温度，同样时间下生长的氧化层，干氧化薄膜的厚度小于湿氧化膜层的厚度？4、实验数据列表并作 d2t 图，从图中求出生长速率常数 C。5、试分析 SiO2 层中可动正电荷的来源。
