扫描电镜

1、1 扫描电镜（SEM ） 透射电镜（TEM） 原子力显微镜（AFM） X射线衍射（XRD） 元素分析（EA） 显微分析技术 电子显微镜一束电子射到试样上，电子与物质相互作用，当电子的运动方向被改变，称为散射。透射电子直接透射电子，以及弹性或非弹性散射的透射电子用于透射电镜(TEM)的成像和衍射二次电子（ 入射电子与样品中原子的价电子发生非弹性散射作用而损失的那部分能量（3050eV）激发核外电子脱离原子，能量大于材料逸出功的价电子可从样品表面逸出，成为真空中的自由电子，此即二次电子。在电场的作用下它可呈曲线运动进入检测器，使表面凹。

2、实验3 扫描电镜的结构、原理及其操作使用 一、实验目的 1.了解扫描电镜的工作原理及构造。 2.初步学习 Sirion200 场发射扫描电镜的操作方法。 3.利用二次电子像对断口形貌进行观察。 二、扫描电镜的构造 扫描电子显微镜（简称扫描电镜）是目前较先进的一种大型精密分析仪器，它在材料科 学、地质、石油、矿物、半导体及集成电路等方面得到了广泛的应用。其优点是： 景深长、 图像富有立体感； 图像的放大倍率可在大范围内连续改变，而且分辨率高； 样品制备方 法简单，可动范围大，便于观察； 样品的辐照损伤及污染程度较小； 可实现多功。

3、扫描电镜 Scanning Electron Microscope SEM,2013-04-18,主要内容,一、SEM的结构、原理 二、SEM的操作 三、SEM在高分子研究中的应用 四、仪器最新进展 五、同类仪器比较,S4800,冷场,一、SEM的结构、原理,扫描电子显微镜由三大部分组成：真空系统电子束系统成像系统,1、结构,真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。 真空柱是一个密封的柱形容器。 真空泵用来在真空柱内产生真空。,用真空主要原因：电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效，所以在使用SEM时需要用真空，或以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。为了增大电子的平均自。

4、Nova 200 NanoLab 双束系统培训申请纳米检测实验室 Nova 200 NanoLab 双束系统培训管理制度1、 纳米检测实验室向中心内部用户提供 Nova 200 NanoLab 双束系统的使用培训服务。用户可以根据需要选择参加全部或者部分培训，甚至也可以不参加培训。2、 培训包括安全教育和仪器使用两部分内容，由分管该仪器的技术人员具体组织安排。纳米检测实验室不向参加培训的用户收取资料费、讲课费等费用，但参加培训的用户需分担培训占用机时所形成的费用。仪器培训目前分为三种：双束系统本身常用功能使用；电子束曝光系统使用；透射电镜样品制备。以。

5、SIRION 场发射扫描电镜操作规程一.开机 1.首先检查循环水系统, 压力显示约 4.5，温度显示约 11-18 度, 为正常范围。 2.检查不间断电源的”LINE” ， ”INV.”指示灯亮，上部 6 只灯仅一只亮是为正常。 3.开电镜电脑 (白色机箱) 的电源，通过密码进入 WINDOWS 后，先启动”SCS”，然后启动”Microscope Control”。 二.操作过程 1.有关样品的要求： 需用电镜观测的样品，必须干燥，无挥发性，有导电性，能与样品台牢固粘结（块状试样的下底部需平整，利于粘结）。粉末样品用导电胶带粘结后，需敲击检查，或用吹风机吹去粘结不牢固的粉末。。

6、Electron Probe Micro Analyzer 1 日本电子 (JEOL) 扫描电子显微镜 (SEM)介绍与应用 捷欧路（北京）科贸有限公司 促销部 应用工程师：朱明芬 Email： zhu.mingfenjeol.com.cn Electron Probe Micro Analyzer 2 一 . 什么是扫描电镜？ Electron Probe Micro Analyzer 3 利用电子束去观察样品表面的一种工具 Scanning Electron Microscope 适用于： 固体的 在真空中稳定的 导电的 等 . 不适用： 液态的，含水的 在真空中不稳定的 磁性粉末（注意） 含油污的 Electron Probe Micro Analyzer 扫描电镜工作原理 Electron Probe Micro Analyzer 。

7、扫描电子显微镜（Scanning Electronic Microscopy, SEM）扫描电镜（SEM）是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。扫描电镜的优点是，有较高的放大倍数，20-20 万倍之间连续可调；有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构；试样制备简单。 目前的扫描电镜都配有 X 射线能谱仪装置，这样可以同时进行显微组织性貌的观察和微区成分分析，因此它是当今十分有用的科学研究仪器。电子束与固体样品的相互作用扫描电镜从原理上讲就是利用。

8、扫描电镜与投射电镜.txt 其实全世界最幸福的童话，不过是一起度过柴米油盐的岁月。一个人愿意等待，另一个人才愿意出现。感情有时候只是一个人的事，和任何人无关。爱，或者不爱，只能自行了断。1】检测器X 射线波谱仪 WDS构造原理与 X 射线荧光谱仪基本相同，只是用电子而不是用 X 射线作为激发源。X 射线波谱仪的特点是分辨率高，通常为 510eV，且可在室温下工作，因此分析的精度高而检测极限低。此外，根据布喇格定理 2dsin，采用晶面间距 d 大的分光晶体，可以分析标识 X射线波长为 的硼、碳、氮、氧等轻元素。但是 X 射线波谱仪也有。

9、表面形貌衬度原理及其应用,一、二次电子成像原理二次电子信号主要用于分析样品的表面形貌。被入射电子束激发出的二次电子数量和原子序数没有明显的关系，但是二次电子对微区表面的几何形状十分敏感。凸出的尖棱、小粒子以及比较陡的斜面处二次电子产额较多，在荧光屏上这些部位的亮度较大，平面上二次电子的产额较少，亮度较低，在深的凹槽低部虽然也能产生较多的二次电子，但这些二次电子不易被检测器收集到，因此槽底的衬度也会显得较暗。,二、二次电子形貌衬度的应用二次电子形貌衬度的最大用途是观察断口形貌，也可用作抛光腐蚀后的金。

10、1J I A N G S U U N I V E R S I T Y冶金工程专业硕士研究生结课论文论文题目： 扫描电镜 SEM 分析技术综述 课程名称： Modern Material Analytic Technology 专业班级： 2015 级硕士研究生 学生姓名 学 号： 2211505072 2学院名称： 材料科学与工程学院 学 期： 2015-2016 第一学期 完成时间： 2015 年 11月 30 日 扫描电镜 SEM 分析技术综述摘要扫描电子显微镜（如下图所示） ，简称为扫描电镜，英文缩写为SEM(Scanning Electron Microscope)。它是用细聚焦的电子束轰击样品表面，通过电子与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等对。

11、综合化学实验 课程教案课次 1 课时 3 课 型（请打）理论课 讨论课 实验课习题课 其他授课题目（教学章、节或主题）：扫描电镜结构、原理及应用教学目的、要求（分掌握、熟悉、了解三个层次）：1、了解扫描电镜的仪器结构2、了解扫描电镜图像成像原理和分析方法3、明确扫描电镜用途教学重点及难点：教学重点是掌握扫描电镜仪器的操作及图像处理；难点是了解各种不同的样品对应的一些具体的制备方法。教 学 基 本 内 容 方法及手段一、实验原理：扫描电镜是利用细聚焦的电子束，在样品表面逐点扫描，用探测器接收在电子束作用下，样品中产生。

12、回上扫描电镜入门1. 光学显微镜以可见光为介质，电子显微镜以电子束为介质，由于电子束波长远较 可见光小，故电子显微镜分辨率远比光学显微镜高。光学显微镜放大倍率最高只有约 1500 倍，扫描式显微镜可放大到 10000 倍以上。 2. 根据 de Broglie 波动理论，电子的波长仅与加速电压有关： eh / mv h / (2qmV)1/212.2 / (V)1/2 (?) 在 10 KV 的加速电压之下，电子的波长仅为 0.12?，远低于可见光的 4000 - 7000?， 所以电子显微镜分辨率自然比光学显微镜优越许多，但是扫描式电子显微镜的电子束 直径大多在 50-100?之间，电子与原子核的弹。

13、扫描电镜的应用,组员：张海媛 邓青沂 褚鹏,扫描电子显微镜是一种用途广泛的多功能仪器，具有很多优越的性能，重要特点是景深大，图像富立体感，具有三维形态。它可以进行三维形貌的观察和分析，当然，还可以进行微区的成分分析等其他方面的应用。,简介,一,纳米材料形貌的观察分析,图 1 是铝合金表面经 4.0 mol/L盐酸溶液刻蚀 12 min 后的扫描电镜照片。从图 1(a)放大 3000 倍的扫描电镜照片中可见，刻蚀后的铝合金表面上均匀地形成了许多凹坑状结构。图 1(b)为放大 5000 倍的照片，从图中可以清楚地看到这些由长方体状的凸台和凹坑构成的。

14、扫描电镜方法(1)样本收集（用你们实验室的方法即可） 。(2)固定：2.5%戊二醛 4小时或过夜（3）脱水：PBS 清洗 3次乙醇梯度脱水（10%，30%,50%,70%,90%各一次,100%乙醇两次）,15-20min/次叔丁醇置换两次次,20min/次 叔丁醇置换第二次后，放入 4保存即可。(注意:叔丁醇 20几度就形成固体结晶，用前要水浴加热使其成为液体)。(4)真空冷冻干燥：分测中心负责。(5)离子溅射喷金: 分测中心负责。（6）扫描电镜观察。

15、环境扫描电子显微镜环境扫描电子显微镜，是一种扫描式电子光学仪器。主要用途是在自然状态下观察图像和元素分析，可分析生物、非导电样品（背散射和二次电子像） ，可分析液体样品，也可观察20 内的固液相变过程，分析结果可拍照、视频打印和直接存盘（全数字化） 。主要用途1.样品不需喷 C 或 Au，可在自然状态下观察图像和元素分析。2.可分析生物、非导电样品（背散射和二次电子像）。3.可分析液体样品。4.20 内的固液相变过程观察 。5.分析结果可拍照、视频打印和直接存盘（全数字化）。特点一、环境扫描电镜的特点 普通扫描电镜的样品。

16、材料学中常用的分析方法 Instrumental Analysis in Materials Science,第一讲,扫描电子显微镜（电子探针微区分析技术） x-射线能量色散谱（能谱） x-射线波长色散谱（波谱） SEM (EPMA) / EDX / WDX,* 分辨率的极限： 0.2m （可见光(0.4-0.8m)照明情况下）放大倍数的极限： 2000 * 景深的极限： （要求金相制样） 0.1m * 不能分析化学成分,光学显微镜的不足之处,* 用波长较短的电子束为光源 (25kV时，波长 =0.007nm )，分辨率可达 5nm，放大倍数 10-100000 * 扫描方式导致长物距 数十 m （1000 时）不再要求金相准备 * 以电子束诱发原子内。

17、电子显微分析,马拥军 13689689969 分析测试中心综合楼1-99 Email:mayongjunswust.edu.cn,2019/5/26,2,分析测试中心,电子显微分析,1、电子显微镜的发展历程 2、电子与固体的相互作用及原理 3、电子光学及电镜的像差 4、扫描电子显微镜的基本功能 5 、透射电子显微镜的基本功能 6、电镜样品的制备方法,分辨率（Resolution）,1、电子显微镜的发展历程,2019/5/26,3,分析测试中心,2019/5/26,4,分析测试中心,Theoretical resolution of optical microscope,l: wavelength of the light n: refractive index of the mediumbetween the object and。

18、1,6.3 扫描电镜 SEM,2,SEM的特点和工作原理 扫描电镜成像的物理信号 扫描电镜的构造 扫描电镜的主要性能 SEM像衬度 样品制备 SEM应用举例,重点 分辨率 放大倍数 衬度,3,4,6.3.1 SEM的特点和工作原理 1、特点 1965年第一台商用SEM问世; SEM能弥补透射电镜样品制备要求很高的缺点; 景深大; 放大倍数连续调节，范围大; 分辨率比较高；,5,样品制备非常方便； 可直接观察大块试样； 固体材料样品表面和界面分析； 适合于观察比较粗糙的表面、材料断口和显微组织三维形态； 对试样的电子损伤小。,6,日本电子株式会社 JSM-6460系列 高分辨率扫描。

19、一扫描电镜的特点和光学显微镜及透射电镜相比，扫描电镜具有以下特点：(一) 能够直接观察样品表面的结构，样品的尺寸可大至 120mm80mm50mm。(二) 样品制备过程简单，不用切成薄片。(三) 样品可以在样品室中作三度空间的平移和旋转，因此，可以从各种角度对样品进行观察。(四) 景深大，图象富有立体感。扫描电镜的景深较光学显微镜大几百倍，比透射电镜大几十倍。(五) 图象的放大范围广，分辨率也比较高。可放大十几倍到几十万倍，它基本上包括了从放大镜、光学显微镜直到透射电镜的放大范围。分辨率介于光学显微镜与透射电镜之间，可达 3n。