红外激光测量硅片的折射率和厚度

1、偏振光反射法测量薄膜厚度和折射率的研究薄膜技术的发展及其应用 薄膜是一种较特殊的物质形态，其在厚度这一特定方向上尺寸较小，仅是微观可测的物理量，并且在厚度方向上由于表面、界面的存在，使物质的连续性发生中断，由此使得薄膜材料产生了与块状材料具有不同的性能。也可以解释为，由于成膜的过程中晶体取向、晶粒大小、杂质浓度、成份的均匀性、基底材料、温度以及清洁度等因素的影响，使得薄膜的物理性能与块状材料的物理性能在诸多方面不同。这引起了诸多科研工作者们较为浓厚的研究兴趣并使之得到更为广泛的应用。二十世纪 70 。

2、1说 明 书测量薄膜厚度和折射率的方法及装置与应用请确定全文的描述是否正确技术领域本发明属于光电精密测量技术领域，涉及一种测量薄膜厚度和折射率的方法及装置与应用。背景技术测量薄膜厚度及折射率等参数的光学方法有多种，主要有椭圆偏振法、干涉法、棱镜耦合法、光谱法等。这些方法或技术都存在各自的优点及不足之处，测量薄膜的类型和参数测量范围有一定的限制：如棱镜耦合法（也称光波导法）尽管测量薄膜的折射率精度很高，但有一定的测量薄膜折射率的范围，一般小于棱镜的折射率，且对于 200nm 以下厚度的薄膜难以适用；干涉法的。

3、光波导薄膜厚度和折射率的测量简介 有效折射率是表征光波导的重要参数，知道了有效折射率，才能计算波导的传播常数，进而根据光波导的色散方程计算波导介质的厚度、介电系数等其它参数。因此,通过测量光波导的有效折射率计算波导薄膜厚度和折射率对波导器件的设计具有十分重要的意义。实验目的1了解光波导结构，学习介质平板波导理论；2掌握测量光波导有效折射率的方法；3熟悉棱镜耦合激发导模的实验方法。实验仪器光波导参数测量系统装置预习提示1 什么叫衰减全反射？2 色散方程是如何建立的？实验原理 1介质平板波导理论介质平面波导由。

4、偏振光反射法测量薄膜厚度和折射率的研究薄膜技术的发展及其应用 薄膜是一种较特殊的物质形态，其在厚度这一特定方向上尺寸较小，仅是微观可测的物理量，并且在厚度方向上由于表面、界面的存在，使物质的连续性发生中断，由此使得薄膜材料产生了与块状材料具有不同的性能。也可以解释为，由于成膜的过程中晶体取向、晶粒大小、杂质浓度、成份的均匀性、基底材料、温度以及清洁度等因素的影响，使得薄膜的物理性能与块状材料的物理性能在诸多方面不同。这引起了诸多科研工作者们较为浓厚的研究兴趣并使之得到更为广泛的应用。二十世纪 70 。

5、1椭偏光法测量薄膜的厚度和折射率实验目的：1.了解椭偏光法测量原理和实验方法。2.熟悉椭偏仪器的结构和调试方法。3.测量介质薄膜样品的厚度和折射率。实验原理：1.椭圆偏振方程在一光学材料上镀各向同性的单层介质膜后，光线的反射和折射在一般情况下会同时存在的。通常，设介质层为 n1、n2、n3，1 为入射角，那么在 1、2 介质交界面和 2、3介质交界面会产生反射光和折射光的多光束干涉，如图(1-1)图(1-1)这里我们用 2 表示相邻两分波的相位差，其中 （*） ，用2/121)sin(360dr1p、 r1s 表示光线的 p 分量、s 分量在界面 1、2 间的反射系。

6、1请将电子版打印出来，仔细阅读，不懂之处用笔标记上，这样才算写了预习报告。老师将根据认真程度给预习分红外激光测量硅片的折射率和厚度实验类型：近代光学设计性实验实验地点：实训中心 2 号楼 1 楼 2123 教室实验日期：第 9-12 周（第一轮） ，每周 （ 例 如 周 五 ） 节 次 （ 例 如 34 节 ）学生姓名： 学号： 手机号： Email: 一.目的要求用光波导法测量硅片的折射率和厚度。实验要求达到：1、了解 Au-Si-Au 三层平板波导结构，理解导模的激发原理2、掌握导模测量的衰减全反射实验方法3、计算硅片的折射率和厚度二.仪器设备光纤激。