1、四川新光多晶硅工程技术有限公司QBXGJG104 2010硅单晶滚磨作业指导书2010- - 发布 2010- - 实施四川新光多晶硅工程技术有限公司硅单晶滚磨作业指导书QBXGJG10420101 范围本作业指导书适用于滚磨岗位。规定了磨削长度500mm，150mm210mm 单晶棒的外圆磨削过程控制要求。2 规范引用文件GB/T 129261996 硅单晶GB/T 1426493 半导体材料术语3. 资源3.1 人员本岗位人员必须经过培训并考试合格后持证上岗。3.2 原辅材料：硅单晶棒。3.3 设备3.3.1 WSK0032 型数控单晶硅专用磨床。3.3.2 运行基本条件电源：380V10
2、%交流稳压；运行环境：温度 5-40 度，相对湿度 40 度时50%，20 度时90%；冷却水。3.4 环境：满足现场作业及其物料摆放要求的空间，干净整洁并符合职业健康安全要求。3.5 现场应具备有效的作业文件和管理规程。4. 过程控制4.1 工艺流程图检查与准备 机器启动 装载与磨削 结束工作 4.2 检查与准备4.2.1 检查机器砂轮架和头架等各润滑部分所需的润滑油是否充足。4.2.2 检查机器开停旋钮是否处在关闭的位置，以免开机时引起碰撞发生事故。4.2.3 检查砂轮是否正常，有无松动。4.2.4 检查砂轮位置，注意砂轮必须离开工作物外圆 25mm 以 上，头架和尾架不可针对着砂轮，以免
3、在砂轮架快速引进时碰撞。4.2.5 撞块的位置选择，必须保证工作台运动时头架和尾架不与砂轮碰撞。4.3 机器启动4.3.1 机床的头架电动机和冷却泵电动机无单独的起动按钮，其开与停是由砂轮架前进按钮和砂轮架后退按钮联锁控制。4.3.2 砂轮的额定线速度不得小于 35mm/S，启动砂轮时，操作者不要面对砂轮。4.3.3 开启机器电源。4.3.4 空转检查4.3.4.1 砂轮转速是否均匀，有无异常摆动。4.3.4.2 电机及相关传动有无异常。4.3.4.3 冷却水管及下水管是否通畅。4.3.4.4 机床在较长时间没开动的情况下，启动机床后，要先让工作台高速往复运动一段时间，让砂轮旋转一段时间，才能
4、进行磨削加工。4.4 晶体装载与磨削4.4.1 将晶体装载到机器上，调整对中并夹紧。4.4.2 设置磨削进刀量等参数。4.4.3 滚磨自动运行，注意监控，如有异常，立即停机并请有关人员检查维修。4.4.4 滚磨结束，各部件回归原点，关闭冷却水。4.4.5 让砂轮继续运转，待水甩净后，停车。4.5 结束工作4.5.1 工作完毕，断掉主机电源。4.5.2 进行设备清洁，擦干水渍，对纵向移动架的导轨加润滑油进行保护。5 交付5.1 滚磨后的晶体和随工单交粘接岗位。 5.2 晶体的交接应双方当面进行并签字认可。5.3 保持加工单完好，清晰与整洁。5.4 设备及其在制品应进行清楚完整的交接。5.5 现场存在的原辅材料、工具和备品应进行完整交接。6 记录清单6.1 硅单晶滚磨记录6.2 硅单晶专用外圆磨床运行记录6.3 硅片生产工艺单
