1、离子注入机操作方法 1 打开真空计（先开左边开关，再打开右边开关，左边表盘为低真空，右边表盘为高真空.可以换挡最后抽到本底真空-*10 -3pa以下，本底气压越高越好） 打开机械泵 电磁阀 1(抽到 2Pa 以下,需要几分钟时间) 电磁阀 22 在控制柜后面的所有开关都打开 分子泵电源开 关电磁阀 13 合头部电源（绿为开，红为关）打开供气 小流量 N2 量程 010sccm (2.5sccm 起弧)/大流量 0-100sccm（He 60sccm 起弧）打开电弧电压（70V 左右）灯丝电源电流 (10A 左右)引出电压；引出电流( 根据实验需要可任意加)抑制电压 1000V 左右,抑制电流越
2、小越好，最好是 0打开加速电源(10100KV,可根据实验需要参数设定来调节) 100kV10mA 为最大参数 。灯丝电源和电弧电源可以调节加速电流，加速电源控制加速电压，可以按需要进行调节到自己想要的。4 如果出故障 小红灯闪 按下控制柜上面的大红色按钮和上面的黄色按钮停止工作，等一会再试试，如果还不行就全都关了，找老师检修。5 关机步骤1） 控制柜关先关抑制电源10 多秒之后将引出电源（左旋降到 0）关掉 电弧电源（左旋降到 0）关掉灯丝电源(最好不要超过 15A) （左旋降到 0）关掉流量（左旋降到 0）关掉合头部分电源关掉（按红色按钮）2） 关掉真空计 （先右下角开关，再关左下角开关）3） 关闭分子泵 红色 Stop关电磁阀 2关机械泵关总电源控制柜后面所有开关都关掉。
