超净高纯微电子化学品制备技术单 位：华东理工大学地 址：上海市梅陇 130 号 邮 编：200237联 系 人：黄旭锋 电 话：021-64252804电子信箱：成果简介：该项目是科技部国家 863 计划项目，采用吸附-离子交换-膜分离集成纯化方法，制备超净高纯微电子化学品，获发明专利。应用领域：半导体产业。技术指标：产品性能达到超净高纯级过氧化氢标准(SEMI-C12 ，金属离子杂质低于 0.1ppb)。成熟程度：已建成年产 1000 吨的工业化装置。应用前景：全国现有 l5 家 33 条超大规模集成电路生产线，对微电子化学品的需求量将达到 7.2 万 ta 以上，市场前景看好。合作方式：技术开发、技术转让。
