1、实验 用光切显微镜测量表面粗糙度一、 目的与要求1、学习光切显微镜测量表面粗糙度的原理和方法；2、了解微观不平度十点高度 Rz 的实际含义。二、 测量原理光切显微镜是利用光切法来测量表面粗糙度的，其原理如图 3-1 所示。由光源发出的光经过聚光镜 2，穿过狭缝 3 形成带状光束。光束再经物镜 4 以 45 度角射向工件 5，在凹凸不平的表面上呈现出曲折光带，再以 45 度角反射，经物镜 6 到达分划板 7 上。从目镜看到的曲折亮带，有两个边界，光带影像边界的曲折程度表示影像的峰谷高度 h。h 与表面凸起的实际高度 h 之间的关系为式中，M 为物镜 6 的放大倍数。在目镜视场里，高度 h是沿 4
2、5 度方向测量的，若在目镜测微器 7 的读数值为 H，则 h与H 的关系为 h=Hcos45,将前后两式代入可得， ，令 ，则MHh245cos0E1。系数 E 作为目镜测微器装在光切显微镜上使用时的分度值。E 值与物镜h的放大倍数 M 有关，一般它已由仪器说明书给定。三、测量仪器 光切显微镜、基座，、立柱，、横臂，、手轮，、横臂紧固螺丝，、微调手轮，、手柄，、照明灯，、插座，、摄影装置，、测微目镜，、物镜组，、快门线，、百分尺，、工作台紧固螺丝，、壳体，、V 型块，、座标工作台。、测微目镜紧固螺丝，、摄影选择旋钮，、对焦辅助旋钮四、测量步骤、按工作粗糙度的估计值，选择适当放大倍数的物镜并装在
3、仪器上；、将被测工作置于工作台上；、通过变压器接通电源；、调整仪器，其步骤如下：（） 松开横臂紧固螺丝，转动横臂及手轮，使镜头对准被测量表面上方，然后锁紧横臂紧固螺丝；（） 调节微调手轮，上下移动壳体，使目镜视场中出现切削痕纹；（） 转动工作台，使加工痕纹与投射在工作表面上的光带垂直，然后交错调整微调手轮、对焦辅助旋钮，直到获得最清晰光带为止；（） 松开测微目镜紧固螺丝，转动目镜，使目镜中的十字线的水平线与光带大致平行。、转动目镜测微计，使十字线的水平线分别与光带上边缘的五个峰顶和五个谷底相切。从目镜测微计上分别读取各峰、谷的读数 h1,h2,h10，按下式算出微对不平度十点高度Rz，即 5)108642()9731( hhhhERz 式中，hi 的单位为格数。、 于零件各部分的粗糙度不一定均匀一致，为了充分反映表面粗糙度的特性，必须在一定长度范围内的不同部位进行测量并取其平均值。、按表面粗糙度国家标准，确定工件表面粗糙度是否符合要求。数据表格： 光切显微镜测量表面粗糙度仪器型号及规格： 仪器测量范围： 被测零件要求表面粗糙度 Rz= 所选用的物镜放大倍数：M= ；E= 。测量结果读数（格）五个峰点 五个谷点实测 Rz ( )mh 1 h 2h 3 h 4h 5 h 6h 7 h 8h 9 h 10峰谷5峰h ERz适用性结论：
