1、中华人民共和国国家标准压力传感器性能试验方法国家技术监督局 批准 实施主题内容与适用范围本标准规定了压力传感器以下简称传感器性能的试验条件试验项目及试验方法本标准适用于研制生产使用中的压力传感器包括绝压传感器 差压传感器表压传感器和负压传感器的性能试验和质量评定引用标准电工电子产品基本环境试验规程总则电工电子产品基本环境试验规程名词术语电工电子产品基本环境试验规程传感器通用术语军用设备环境试验方法试验条件环境条件参比大气条件传感器的参比性能试验应在下述参比大气条件下进行温度相对湿度大气压力一般试验大气条件当传感器不可能或无必要在参比大气条件下进行试验时 推荐采用下述大气条件温度相对湿度大气压力
2、注 在每项试验期间 允许的温度变化每小时不大于 相对湿度范围也可由供需双方商定仲裁大气条件当对试验结果有争议时经供需双方商定后 可从表 中任选一组大气条件进行试验表大气条件参 数组别温度相对湿度大气压力注 试验过程中 如果相对湿度对试验结果没有影响 则可不予考虑 如果试验温度超出表 中规定的范围 应由供需双方协商规定特性参数的合适极限其他环境条件除上述大气条件外还应在下述环境条件下进行磁场除地磁场外应无其他外界磁场机械振动 应无机械振动动力条件公称值按有关国家行业企业标准规定允差电源电压频率谐波失真 小于 交流电源纹波小于 直流电源气源压力供气温度 环境温度供气湿度 在工作压力下 露点至少低于
3、传感器表壳温度无油无灰尘气源含油量应不大于 灰尘微粒应不大于注 对允差如有特殊要求 可由传感器详细规范规定校准系统校准系统由标准压力源 激励电源和读数记录装置三部分组成其综合误差可按三部分装置误差的均方根的方法计算而且应不超过被试传感器允许基本误差的 综合误差也可由传感器的详细规范规定标准压力源标准压力源应选用工作基准活塞压力计 工作基准微压计 标准活塞式压力计标准活塞式压力真空计气动活塞式压力计 标准浮球式压力计标准液体压力计微压计 数字式压力计 精密压力表以及其他相应准确度等级的压力计量标准器标准压力源选择原则如下对于 级的传感器 其误差应不超过被试传感器允许基本误差的对于 级的传感器其误
4、差应不超过被试传感器允许基本误差的提供的仪表或监视标准压力源的仪表量程应为被试传感器满量程的 免费分享在整个量程范围内的压力输出应连续可调压力输出也可以采用阶跃式调节但阶跃的方式必须保证被试传感器在试验过程中不因过冲和扰动而引起迟滞误差注 对于精确度超过 级的传感器 可由传感器详细规范规定激励电源激励电源按被试传感器要求应选用精密稳压电源 稳流电源干电池或蓄电池 其稳定度误差应不超过被试传感器允许基本误差的读数记录装置读数记录装置按被试传感器的要求应选用数字式电压表数字式频率计电流表其精确度误差应不超过被试传感器允许基本误差的其他试验设备其他试验设备应按试验要求配备试验的一般规定证书文件试验用
5、的主要仪器设备和计量器具必须具有计量检定单位签发的有效期内的检定证书外观传感器的外观应无明显的瑕疵 划痕接头螺纹应无毛刺 锈蚀和损伤 焊接处应牢固接插件应接触可靠标志传感器的标志应清晰 正确无误 其中包括电源输入线输出线及极性的标志差压传感器的高压端和低压端接嘴应有永久性标志放置时间试验前被试传感器应在试验环境条件下放置放置时间应不小于 放置时间也可按传感器的详细规范规定预热时间试验前被试传感器及其相连接的测试仪器和激励电源应通电预热 预热时间应不小于 预热时间也可按传感器的详细规范规定连接方式被试传感器与其激励电源 压力源和读数装置的连接方式 应按其压力系统管路图和电路图的规定 连接方式也可
6、按传感器的详细规范规定安装方法被试传感器的安装方法应按传感器的详细规范规定试验项目及方法外观检查检查项目标志材料表面加工质量焊接件牢固性接插件接触可靠性检查方法除详细规范有要求外 对传感器外观不允许采用特殊检查方法如偏振光 观察材料的内部张力其他指示器 观察内部材料的龟裂或细小气孔 应使用下列方法之一进行外观检查用目测检查操作者应具备正常视力和颜色分辨力并在选择最有利的观察距离和适当的照度下进行用放大镜检查如传感器详细规范中有规定时可使用放大镜进行检查检查细节的规定被试传感器外观检查的有关细节应由传感器的详细规范规定 其中包括检查的特征参数检查的细节放大镜倍数 如果有规定特征参数的规定值及判据
7、与本标准试验方法的不同之处尺寸和重量检查检查项目外形尺寸重量检查方法应使用下述的适当量仪进行传感器的外形尺寸和重量检查游标卡尺千分尺及千分表标准规具有适当线性放大倍数的投影仪测量显微镜天平检查细节的规定被试传感器检查的有关细节应由传感器的详细规范规定 其中包括检查的特征参数标准规细节如适用测量设备的型号及放大倍数特征参数的规定值及判据与本标准试验方法的不同之处电气性能试验试验项目输入阻抗输出阻抗负载阻抗绝缘电阻绝缘强度试验方法用下述的适当量仪进行传感器的输入阻抗 输出阻抗负载阻抗 绝缘电阻和绝缘强度的试验输入阻抗在传感器输出端开路情况下用数字万用表或相应仪表测量其输入端的阻抗输出阻抗在传感器输
8、入端短路情况下用数字万用表或相应仪表测量其输出端的阻抗 免费分享负载阻抗在被试传感器输入端施加激励电源输出端接可变电阻器的情况下 逐步减小可变电阻器的阻值直到传感器的输出值超过规定值时可变电阻器指示的阻值即为传感器的负载阻抗绝缘电阻在被试传感器不施加激励电源条件下 用绝缘电阻测试仪或相应仪表给传感器施加规定的直流电压测出传感器引出线与壳体之间的绝缘电阻 包括插头座和引出线绝缘强度在被试传感器不施加激励电源条件下用绝缘强度试验仪或相应仪表给传感器引出线与壳体之间施加 规定的交流电压 在规定的时间内应无击穿及飞弧现象试验细节的规定被试传感器试验的有关细节应由传感器的详细规范规定 其中包括试验的特征
9、参数试验用的仪器设备试验的环境条件特征参数的规定值及判据与本标准试验方法的不同之处静态性能试验试验项目零点输出满量程输出非线性度迟滞重复性精确度灵敏度零点漂移超负荷试验方法被试传感器在符合本标准 条的规定条件下给传感器施加不少于 次的预压使被试传感器压力升到测量上限值 待压力稳定后降压返回零点然后在包括传感器测量上下限的全量程范围内选择均匀分布的 个试验点进行 并且重复三次或三次以上的升降压校准循环通过上述试验获得的数据按附录 的计算方法可确定下列静态特性指标零点输出在室内条件下 所加被测量为零时传感器的输出值为零点输出满量程输出传感器测量上限输出值与测量下限输出值之差的绝对值以理论特性直线的
10、计算值为依据为满量程输出值按附录 的公式 计算对于定点使用的非线性传感器为传感器测量上 下限示值的平均值之差的绝对值 按附录的公式 计算对于非定点使用的非线性传感器及带刻度方程的线性传感器为刻度方程上的上 下点输出值之差的绝对值按附录 的公式 计算非线性度校准曲线与某一规定直线偏离的程度为非线性度线性传感器的非线性度 按附录 的公式 计算非线性传感器不计算非线性度指标对于已给刻度方程的传感器 要在数据处理后按附录的公式 计算 对于非定点使用的非线性传感器 按附录 的公式 计算刻度误差 刻度误差的指标要求与非线性度要求相同迟滞在规定的范围内在同一试验点当被测量值增加和减少时输出中出现的最大差值为
11、迟滞 按附录 的公式 计算重复性在所有下述条件相同测量方法 相同观测者相同测量仪器 相同地点 相同使用条件和在短时期内的重复下 对同一被测量进行多次连续测量所得结果之间的符合程度为重复性 按附录 的公式 计算精确度被试传感器的测量结果与约定真值间的一致程度为精确度 它取决于系统误差带与随机误差带的大小 精确度 按附录 的公式 计算灵敏度传感器输出量的增量与相应的输入量增量之比为灵敏度按附录 的公式 计算零点漂移在规定的时间间隔及室内条件下零点输出的变化为零点漂移传感器通电预热到规定时间 后 读取零点输出值然后每隔规定时间 记录一次零点示值从开始记录起连续进行的时间不得少于 零点漂移按附录 的公
12、式 计算超负荷过载在规定允差范围内能够加在传感器上不致引起性能永久性变化的被测量的最大值为超负荷对传感器施加规定的测量上限 的超负荷压力信号保持规定时间 后卸载 按规定时间 予以恢复 然后按本标准 条的规定进行静态性能试验 传感器的性能指标值应符合静态性能各项指标的规定值试验细节的规定被试传感器试验的有关细节应由传感器的详细规范规定 其中包括试验的特征参数试验设备及量仪型号试验的环境条件特征参数的规定值及判据与本标准试验方法的不同之处稳定性试验试验项目零点稳定性灵敏度稳定性试验方法在规定的稳定性检定周期内传感器每月至少应连续通电 一次并进行 次或 次以上的校准循环方可确定下述稳定性指标零点稳定
13、性在规定的期间 月内 零点示值的最大差值对满量程输出的百分比为零点稳定性 按附录 的公式 计算灵敏度稳定性 免费分享在规定的期间 月 内灵敏度示值的最大差值对满量程输出的百分比为灵敏度稳定性 按附录的公式 计算试验细节的规定被试传感器试验的有关细节应由传感器的详细规范规定 其中包括试验的特征参数试验设备及量仪的型号试验的环境条件特征参数的规定值及判据与本标准试验方法的不同之处动态性能试验试验项目频率响应谐振频率自振频率阻尼比上升时间时间常数过冲量试验方法传感器的动态性能参数应使用下列方法之一进行动态性能试验瞬态激励法将传感器与激波管或快速开启阀相连接 对于负压传感器可用爆破膜片发生器产生一个负
14、的阶跃压力信号 上述阶跃压力的上升时间至少应是传感器被预测的上升时间的 或更短当激励装置产生一个阶跃压力信号时 用瞬态记录仪记录传感器的响应波形然后对其进行分析以确定动态特性的各参数正弦激励法对于几千赫芝以下的频率 以下的峰值动态压力 可用正弦压力发生器直接测得传感器的频率响应 如果传感器本身的谐振频率在正弦压力发生器的频率范围之内 还可得到传感器的谐振频率阻尼比和响应时间等采用正弦激励法时应在正弦压力发生器上安装标准传感器其动态性能指标要高于被测传感器动态性能指标的 倍通过上述试验方法可确定下列动态特性指标频率响应在规定的被测量频率范围内 对加在传感器上的正弦变化的被测量来说输出量与被测量振
15、幅之比及输出量和被测量之间相差随频率的变化为频率响应 表示为从零至 时幅值误差不大于相位偏差不大于频率响应应以在规定的被测量频率范围内的频率和某一规定的被测量为基准谐振频率传感器具有最大输出幅值的被测量频率为谐振频率 表示为 或自振频率亦称振铃频率当被测量压力为阶跃变化时 在传感器输出中瞬时出现的自由振荡频率为自振频率 表示为或阻尼比实际阻尼系数与临界阻尼所对应的阻尼系数之比为阻尼比 表示为临界阻尼的上升时间由于被测量压力 的阶跃变化传感器输出从规定最终值一个小的百分率上升到一个大的规定百分率的持续时间为上升时间 表示为对传感器施加压力 的阶跃压力信号从 上升至的持续时间 或时间常数由于被测量
16、 压力的阶跃变化传感器输出上升到最终值的 时所需要的持续时间为时间常数 对传感器施加 压力的阶跃压力信号 从输出上升到最终值的 时所需要的持续时间表示为 或过冲量对传感器施加阶跃压力信号后其输出超过稳定值的最大值为过冲量试验细节的规定被试传感器试验的有关细节应由传感器的详细规范规定 其中包括试验的特征参数试验设备及量仪的型号试验的环境条件特征参数的规定值及判据与本标准试验方法的不同之处影响量试验试验项目温度影响振动影响冲击影响加速度影响湿热影响外磁场影响气密性影响盐雾影响热辐射影响低气压影响低温低气压综合影响高温低气压综合影响低温低气压湿热综合影响砂尘影响噪声影响试验方法温度影响试验传感器的温
17、度影响试验应按 试验 和 试验 的规定进行试验时 首先记录室温温度 在室温下进行三次上 下限校准循环测其室温时零点输出平均值及满量程输出平均值 然后将传感器置于合适的高低温试验箱内在一定的温度至少是工作温区的上下限下经过规定时间的充分热稳定之后记录其温度值并进行三次测量上下限校准循环 返回到开始前的同一温度值再测一次零点输出值及满量程输出值 允许只测一次 最后按附录 的公式和 计算热零点漂移 热灵敏度漂移 热零点滞后 和热灵敏度滞后 免费分享试验结果应符合传感器详细规范规定的要求振动影响试验传感器的振动影响试验应按 试验 的规定进行试验时 将传感器安装在振动试验台上按规定的频率和振幅沿规定的方
18、向振动记录传感器振动前和振动过程中的零位输出信号 并按附录 的公式 计算振动对零点影响 振动试验后按 条方法进行静态性能试验试验结果应符合传感器详细规范规定的要求冲击影响试验传感器的冲击影响试验应按 试验 的规定进行将传感器安装在冲击试验台上按规定的加速度和轴向进行冲击 达到规定的冲击次数后按条方法进行静态性能试验 试验结果应符合传感器详细规范规定的要求加速度影响试验传感器的加速度影响试验应按 试验 的规定进行将传感器安装在离心试验机上在规定的方向上施加规定的加速度记录传感器加速前和加速过程中的零位输出信号并按附录 的公式 计算加速度对零点影响 加速度试验后 按 条方法进行静态性能试验试验结果
19、应符合传感器详细规范规定的要求湿热影响试验传感器的湿热影响试验应按 试验 的规定进行将被试传感器放置在恒温恒湿试验箱内施加规定的温度 和湿度 保持规定的时间 后将传感器取出放到试验环境中 在 内测量传感器的绝缘电阻并按 条方法进行静态性能试验试验结果应符合传感器详细规范规定的要求外磁场影响试验将传感器放置在电磁场干扰试验台中使磁场方向对准传感器第一坐标轴向 轴向 首先对传感器施加量程为 的压力信号记录传感器输出值 然后施加磁场强度为 均方根的磁场信号调整移相器 观察传感器的输出变化 并按附录 的公式 计算外磁场对传感器输出值的影响 试验结果应符合传感器详细规范规定的要求上述试验应在磁场对准与第
20、一坐标轴互相垂直的其他两个坐标轴上重复进行气密性影响试验按被试传感器型式的不同使用下列方法之一进行气密性影响试验绝压和密封参考压力传感器将被试传感器置于真空箱内 接上测试记录仪器 当真空度达到规定值并保持恒定时记下传感器的零位输出 在此状态下保持规定时间 再记下零位输出其零位输出变化所引起的误差应符合传感器详细规范规定的要求单向和双向差压传感器将传感器的高 低压两端的接管嘴用一个三通接头与真空泵及标准气压表相连并将整个系统抽空到规定的压力值关闭真空泵 在规定的温度和规定的时间内观察标准气压表压力指示变化应符合规定值 亦可采用将真空泵换成一高压源向传感器高 低压腔加压至规定值 并将传感器浸入液体
21、介质如水中不应有气泡逸出盐雾影响试验传感器的盐雾影响试验应按 试验 的规定进行经本试验后不进行电气试验但传感器详细规范有要求时可进行无电荷下的规定试验以评定本试验对传感器性能的影响 试验后 经蒸馏水洗净和干燥进行传感器外观检查要特别注意龟裂 起皮和暴露处的麻点 试验结果应符合传感器详细规范规定要求热辐射影响试验传感器的热辐射影响试验应按 试验 的规定进行经本试验后应按 和 条规定进行外观和电气性能检测试验结果应符合传感器详细规范规定的要求低气压影响试验传感器在常温低气压条件下贮存运输和使用时 应按 试验 的规定进行经本试验后按 和 条规定进行外观和电气性能检测试验结果应符合传感器详细规范规定的
22、要求低温低气压综合试验传感器在低温和低气压同时作用下贮存运输和使用时 应按 试验 的规定进行低温低气压综合试验经本试验后按 和 条规定进行外观和电气性能检测试验结果应符合传感器详细规范规定的要求高温低气压综合试验传感器在高温和低气压同时作用下贮存运输和使用时 应按 试验 的规定进行高温低气压综合试验经本试验后按 和 条规定进行外观和电气性能检测试验结果应符合传感器详细规范规定的要求低温低气压 湿热连续综合试验传感器在低温 低气压和湿热所组成的连续综合环境下贮存运输和使用时应按 试验 的规定进行低温低气压湿热连续综合试验经本试验后按 和 条规定进行外观和电气性能检测试验结果应符合传感器详细规范规
23、定的要求砂尘试验传感器在尘埃环境下贮存运输和使用时 应按 试验 进行砂尘试验经本试验后按 和 条进行外观和电气性能检测试验结果应符合传感器详细规范规定的要求噪声试验传感器在噪声环境下贮存运输和使用时 应按 进行噪声试验经本试验后按 和 条进行外观和电气性能检测试验结果应符合传感器详细规范规定的要求试验细节的规定被试传感器试验的有关细节应由传感器的详细规范规定 其中包括试验的特征参数试验设备及量仪的型号试验的环境条件特征参数的规定值及判据与本标准试验方法的不同之处寿命试验试验项目循环寿命贮存寿命试验方法循环寿命试验 免费分享将传感器安装到专用的压力疲劳试验机上按规定的压力范围 压力循环次数和变化
24、速度每分钟循环次数进行压力循环后按 条进行静态性能检测试验结果应符合传感器详细规范规定的要求贮存寿命试验将传感器按规定的贮存条件贮存至规定时间后按 条进行静态性能检测试验结果应符合传感器详细规范规定的要求试验细节的规定被试传感器试验的有关细节应由传感器的详细规范规定 其中包括试验的特征参数试验设备及量仪的型号试验的环境条件 温度湿度等特征参数的规定值及判据 如压力范围 变化速度贮存时间等与本标准试验方法的不同之处数据计算及处理本标准中有关性能试验数据的计算方法按附录 的规定计算的数值需要修约时应在规定的精确范围内按统一的数字修约规则进行附录性能指标的计算方法补充件实际校准特性传感器的实际校准特
25、性通过传感器的静态校对获得设在传感器的整个测量范围内有 个校准点 进行 次压力循环校准试验 则在任一校准点上分别有 个正反行程校准数据 计算每个校准点上正反行程校准数据的平均值和总的平均值正行程平均值 为反行程平均值 为总平均值 为上述式中 正行程第 个校准点第 次的示值反行程第 个校准点第 次的示值重复试验次数工作特性方程线性传感器工作特性方程的一般形式为端基直线方程端基直线方程为其中当测量下限输入值为零即 时零基直线方程零基直线方程为 免费分享零基直线斜率 可按传感器实际 平均校准曲线与该直线的最大正 负偏差的绝对值相等的条件以逐步逼近方法求出平移端基直线方程平移端基直线方程为因平移端基直
26、线斜率与端基直线斜率相等故平移端基直线截距 由 求出 当测量下限输入值为零即 时则截距 由 求出式中 为实际 平均校准曲线相对端基直线数值的最大正偏差为实际平均校准曲线相对端基直线数值的最大负偏差最小二乘直线方程最小二乘直线方程为其中截距 和斜率 分别按公式 和公式 求出上述式中 第 个鉴定点的压力值第 个鉴定点正 反行程的总平均值校准点个数对于定点使用的非线性传感器 可采用正反行程的平均值为传感器的工作特性对于非定点使用的非线性传感器及带刻度方程的线性传感器可采用刻度方程为其工作特性满量程输出值传感器测量上限输出值与测量下限输出值之差的绝对值 以理论特性直线的计算值为依据 为满量程输出值即式
27、中 理论工作直线的斜率分别为测量上下限的压力值对于定点使用的非线性传感器 满量程输出值式中 分别为测量上下限示值平均值对于非定点使用的非线性传感器及带刻度方程的线性传感器满量程输出值为式中 分别为刻度方程上的上下点输出值非线性度线性传感器的非线性度指标式中 根据 式计算出的总平均值根据 式或 式计算出的数值对于带刻度方程的线性传感器为其刻度方程对应值根据 式 式或 式计算出的满量程输出值非线性传感器不计算非线性度指标对于非定点使用的非线性传感器计算刻度误差 指标要求与非线性度相同式中 根据 式计算出的总平均值非定点使用的非线性传感器刻度方程对应值根据 式 式或 式计算出的满量程输出值迟滞式中
28、分别为同一校验点上正反行程示值的平均值满量程输出值 免费分享重复性采用贝赛尔公式分别计算每个校验点上正反行程的子样标准偏差正行程子样标准偏差 为反行程子样标准偏差 为传感器在整个测量范围内的子样标准偏差则重复性 为上述式中 正行程第 点第 次的示值反行程第 点第 次的示值正行程平均值反行程平均值重复试验次数校准点个数包含因子注 包含因子 可按下述原则之一选取 按 分布 取置信概率等于 按极差法取精确度传感器的精确度是系统误差与随机误差的综合反映 即取决于系统误差带 与随机误差带 的大小线性传感器的系统误差带采用平移端基直线时式中 分别为根据 式计算出的正反行程平均值根据 式计算出的平移端基直线
29、方程值采用最小二乘直线时正行程的系统误差为反行程的系统误差为上述式中 根据 式计算出的最小二乘直线方程值则 为 与 中较大者对于定点使用的非线性传感器 系统误差带 为对于非定点使用的非线性传感器及带刻度方程的线性传感器系统误差带 为 与中较大者正行程的系统误差为反行程的系统误差为上述式中 正行程平均值反行程平均值刻度方程对应值传感器的随机误差带 为传感器的精确度 为灵敏度 免费分享上述式中 输出量的增量输入量的增量输出量变化前后的值输入量变化前后的值零点漂移式中 零点漂移考核期间内零点示值的最大差值静态校准的满量程输出值零点稳定性式中 稳定性检定期间内零点示值的最大差值静态校准的满量程输出值灵
30、敏度稳定性式中 稳定性检定期间内灵敏度示值的最大差值静态校准的满量程输出值热零点漂移式中 试验前室温温度试验时的高温或低温温度在室温 温度时传感器的零点示值平均值在规定的高温或低温温度 恒温规定的时间后传感器零点示值的平均值在室温 温度时传感器满量程输出值的平均值根据 式分别计算出传感器在高温或低温时零点温度漂移 和 其符号应根据计算结果选取热灵敏度漂移式中 试验前室温温度试验时的高温或低温温度在室温 温度时传感器满量程输出值的平均值在规定的高温或低温 恒温规定的时间后传感器满量程输出值的平均值根据 式分别计算出传感器在高温或低温时灵敏度温度漂移 和 其符号应根据计算结果选取热零点滞后式中 温
31、度循环前室温零点输出平均值温度循环后同一室温零点输出值静态校准的满量程输出值应用时 应注明温度循环的上 下限值热灵敏度滞后式中 温度循环前室温满量程输出平均值温度循环后同一室温满量程输出值静态校准的满量程输出值应用时 应注明温度循环的上 下限值振动对零点的影响式中 振动过程中 传感器的零点示值的最大或最小值振动试验前传感器的零点示值静态校准的满量程输出值加速度对零点的影响式中 加速度过程中传感器的零点示值的最大或最小值加速试验前 传感器的零点示值静态校准的满量程输出值 免费分享外磁场对传感器输出值的影响式中 施加外磁场过程中 传感器在 的量程上输出示值的最大或最小值施加外磁场之前 传感器在 的量程上输出示值静态校准的满量程输出值附加说明本标准由中华人民共和国机械工业部提出本标准由机械工业部沈阳仪器仪表工艺研究所负责起草并归口本标准主要起草单位 华东电子仪器厂成都航空仪表公司上海自动化仪表四厂襄樊市机电研究所国营 厂和余姚传感器厂本标准主要起草人任金山徐清发
