1、什麼是電漿？日常生活中最常接觸到的電漿是太陽、日光燈、霓虹燈及閃電等，所以人類對電漿的第一印象是一團會發光的東西。所謂電漿是一種帶有電子、正負電荷離子、中性的氣體分子和自由基所組成，在正常的情況下呈電中性，所以中國地區的科學家稱之為等等離子體，即取其帶正電荷的離子數目與帶負電荷（大多是電子）數目相等之意。電漿態是氣、液、固三態外所發現物質存在的第四態，就整個宇宙來說，物質以電漿存在的比例最高。電漿的用途廣泛，高溫電漿可以產生高溫高能，應用在溶融、噴塗、燃燒、輔助化學反應等；低溫電漿應用在清潔製程或活化材料表面以形成官能基，應用在電子業製程的潔淨、蝕刻、輔助化學反應等，亦大量應用到高分子材料的前
2、處理或聚合作用。然而，電漿的使用在其不平衡狀態，使用之物理參數需加以控制，才可以使電漿對基材產生最佳的、預期的化學作用。電漿(Plasma)是一種遭受部份離子化的氣體(Partially Ionized Gases) 。藉著在兩個相對應的金屬電極板(Electrodes) 上施以電壓，假如電極板間的氣體分子濃度在某一特定的區間，電極板表面因離子轟擊(Ion Bombardment)所產生的二次電子(Secondary Electrons) ，在電極板所提供的電場下，將獲得足夠的能量，而與電極板間的氣體分子因撞擊而進行所謂的解離(Dissociation)、離子化(Ionization)、激發(
3、Excitation) 等反應，而產生離子、原子、自由基(Radicals) ，以及更多的電子，以維持電漿內各粒子間的濃度平衡。反應形式如下所示：1. 分子分解 (Molecular Dissociation) + A2 A + A + 2. 原子電離 (Atomic Ionization) + A A + + 2 3. 原子激發 (Atomic Excitation) + A A* + 大氣電漿技術相較於傳統真空電漿技術具有以下的優點：創新突破點：- 此反應性電漿可在1 atm下被穩定激發與維持。- 此反應性電漿，以空氣(CDA)即可點燃。- 此反應性電漿可進行表面處理與鍍膜應用。- 製程溫
4、度低(10 16/cm3) ，增加反應效率與產能。- 相較於真空製程可連續生產。- 可整合於現行製程電漿技術的應用產業 民生化學工業 機能性紡織品 排汗、除臭、防污、撥水/撥油處理 , 寶特瓶容器標籤表面印刷前處理 高分子及玻璃表面 TiO2 光觸媒活化(activation)生醫材料產業 生醫材料表面改質處理，以便藥物接枝程序 生醫材料表面處理活化、微細粗化、表面潤濕及清潔來增進人工皮膚/骨骼/器官對人體的相容性 生醫材料表面及藥用器皿之清潔與殺菌4C(3C+Car electronics)產品材料表面改質 特殊烤漆/噴漆前處理 光學玻璃基板表面除污 電子材料零件表面清潔 汽車電子產品塑材黏著性改善 光學零組件貼附前處理
