Bv? 3孙福楠(化学工业部光明化工研究设计院, 大连116031)K1详细介绍了大规模生产高纯氨的工业方法,采用吸附-精馏提纯工艺是生产高质量高纯氨切实可行的方法。1oM氨 吸附 精馏1 前 言B B1$ b 99.999%, O2s=THCs=H2Osb APCI SNH399.995% (AM)b A Lair LiquidESNH399.995%AGA+ NH399.995%, O2sBN2sH2Os; !9SNH399.999%, O2s=THCsBH2Os(2) “ -,SBNH3 3 9 ,BZ ZE ?“N2aCH4, 6BZ 4 “ 39,rT , H4xC,yN, V 3NH3, 0NH31 p, 3 V ?, P Lb(3) “ -YBNH3 , YANH3 , D EseA TA D, Es, HA NH3 ,yN,yp 9 BNH3 D, PNL A Db(4) PBNH3 Kz“ P BEv? BNH3 3 ,“4S098 M b ID1 .BA O2aAraN2aH2aCH4a s.+ 8, 1983; 4: 4221 +R. .:QF, 1988: 13+. $ !9.:,1983: 97 ( l 19970509)46 半导体技术 1998年2月第23卷第1期