1、综合样本直线光栅尺 长度计 角度编码器 旋转编码器 数控系统 测头 数显装置2011年9月约翰内斯海德汉博士公司研制生产直线光栅尺和角度编码器、旋转编码器、数显装置和数控系统。海德汉公司的产品被广泛应用于机床、自动化机器系统和半导体和电子制造业等领域。在全球范围内，海德汉公司建立了50多个分公司和分支机构。我们的销售工程师和技术支持人员可以及时提供现场技术支持和服。这份综合样本是海德汉公司主要产品线的概要介绍。 有关特定产品的更详细信息，请见第60页或访问。 我们的销售人员愿为您提供全面服务。有关地址和电话信息，请见封底。目录基本原理和制造工艺 4精密光栅高精度的基础 5长度测量 6封闭式直线
2、光栅尺敞开式直线光栅尺长度计角度测量 20角度编码器模块化编码器旋转编码器机床数控系统 40铣床和加工中心的数控系统铣车复合加工机床的数控系统编程站刀具和工件设置和测量 50工件测头刀具测头测量值获取和显示 54数显装置接口电子电路更多信息 60销售和服务 624基本原理和制造工艺 海德汉产品的高质量源自特殊的生产和测量设备。 光栅尺的母模版和基体是在专门设计的有特殊温度调控和减振措施的超净车间中生产的。 光刻机以及生产和测量直线和圆光栅码盘所需的机器大多由海德汉公司自己开发和制造。我们为用户提供大量高度个性化的直线和角度计量解决方案，充分体现我们的超强竞争能力。在众多应用中，我们的产品还被大
3、量应用在为标准实验室设计研制的测量和检验设备，我们的角度编码器被应用在天文望远镜和卫星接收天线上。 毫无疑问，海德汉的标准产品也受益于其中所积累的知识和经验。直线光栅尺测量机 直线光栅尺检查站角度比较仪，测量步距约为0.001“ 超大天文望远镜（VLT），智利帕拉尼尔（照片由ESO提供）5精密光栅高精度的基础海德汉公司光栅尺或编码器的核心是我们的测量基准，通常为0.25 m至10 m线宽的光栅尺。这些高精度的光栅尺采用海德汉公司发明的光刻工艺生产（例如DIADUR或METALLUR），它是编码器功能和精度的决定性因素。 光栅是由一系列等间距排列的刻线和狭缝组成，其间距误差极小，刻线边缘整齐清晰
4、。这些光栅尺能抵抗机械和化学以及振动和冲击的影响。所有光栅尺都具有可定义的温度特性。相位光栅的刻线高度约为0.25 mDIADURDIADUR精密光栅是在基板上沉淀一层极薄的铬，基板通常为玻璃或玻璃陶瓷材质。 这种光栅尺精度可达到微米级或亚微米级。AURODURAURODUR光栅尺由高反射率的金线和亚光蚀刻的狭缝组成。 AURODUR光栅尺的基体通常为钢带。METALLURMETALLUR光栅尺具有独特金反光层的光学材料，接近为全平面结构。因此它抗污染能力强。相位光栅采用特殊制造工艺生产的三维结构光栅，具有特定光学特性。 这种结构的光栅宽度只有几微米至四分之一微米。SUPRADURSUPRAD
5、UR工艺生产的光栅的光学特性类似于相位光栅，但它具有平面结构，因此抗污染能力强。MAGNODUR微米级磁膜构成的精细磁栅。不同基体材料的DIADUR和METALLUR光栅尺6长度测量 封闭式直线光栅尺有 标准光栅尺外壳 用于振动强烈的应用 最大测量长度30 m 紧凑光栅尺外壳 用于有限安装空间应用 最大测量长度1240 mm， 如果用安装板或紧固件，最大测量长度2040 mm 海德汉封闭式直线光栅尺的铝外壳有效保护光栅尺、读数头和导轨，避免其受灰尘、切屑和切削液的影响。 自动向下压的弹性密封条保持外壳密封。读数头沿光栅尺的小摩擦力导轨运动。 读数头通过一个联轴器与外部安装架连接，联轴器可以补偿
6、光栅尺与机床导轨间不可避免的对正误差。读数头DIADUR 光栅尺光源密封条 安装架光电池敞开式直线光栅尺海德汉公司的敞开式直线光栅尺的读数头与光栅尺或钢带光栅尺间没有机械接触。这种光栅尺的典型应用包括测量机、比较仪和长度计量领域的精密仪器以及生产和测量设备，例如半导体工业应用。 精度等级，不低于 0.5 m 测量步距至0.001 m（1 nm） 测量长度至30 m 读数头与光栅尺间无磨擦 尺寸紧凑和重量轻 运动速度快封闭式直线光栅尺海德汉公司的封闭式直线光栅尺能有效防尘、防切屑和防飞溅的切削液，是用于机床的理想选择。 精度等级 2 m 测量步距至0.005 m 测量长度至30 m 安装简单、快
7、捷 安装公差大 能承受大加速度载荷 抗污染能力强7长度计海德汉公司的长度计自带测杆导轨。用于监测测量设备，用于工业计量，也用作位置编码器。 精度等级 0.1 m 测量步距至0.005 m（5 nm） 测量长度至100 mm 测量精度高 可带测杆的自动驱动设备 安装简易增量式直线光栅尺通过从原点开始对测量步距进行计数，或计算细分处理后的信号周期数确定当前位置。海德汉公司的增量式光栅尺或编码器有参考点，开机后必须执行参考点回零操作建立原点。 如果是距离编码参考点，回零操作非常简单、快捷。海德汉公司的绝对式直线光栅尺无需执行参考点回零操作就能直接提供当前位置值。光栅尺将绝对位置值通过EnDat接口或
8、其它串行接口传输数据。表中推荐的测量步距主要用于位置测量。 小测量步距特别适用于转速控制，例如直接驱动应用。正弦输出信号支持高倍频细分。海德汉公司带安全功能的编码器是采用纯串行数据传输的单编码器系统，适用于高安全性机器和系统。在编码器内形成两路相互独立测量值，通过EnDat接口传给安全控制系统。封闭式直线光栅尺 产品系列 页标准光栅尺外壳 绝对式位置测量绝对式位置测量和大长度测量增量式位置测量超高重复精度主要用于手动操作机床大长度测量LC 100LC 200LS 100LF 100LS 600LB 3008紧凑光栅尺外壳 绝对式位置测量增量式位置测量超高重复精度主要用于手动操作机床LC 400
9、LS 400LF 400LS 30010敞开式直线光栅尺超高精度二维编码器用于高速运动和大测量长度绝对式位置测量LIP, LIFPPLIDALIC121314长度计精度 0.1 m精度 0.2 m精度 0.5 m精度 1 m精度 2 m，绝对式位置测量海德汉CERTO海德汉METRO海德汉METRO海德汉SPECTOACANTO161718198LC，LF，LS，LB系列封闭式直线光栅尺标准光栅尺外壳标准外壳直线光栅尺的突出特点是抗振性能好。LC 100和LC 200 系列绝对式直线光栅尺直接提供绝对位置值，测量前无需回零。有的型号也另外提供增量输出信号。LC 100的安装配合尺寸与LS 10
10、0 系列的增量式直线光栅尺相同，而且机械结构也相同。由于LC 100和LS 100系列直线光栅尺的高精度和具有可定义的温度特性，特别适用于NC数控机床应用。LF系列增量式光栅尺的栅距极小。因此，特别适用于高重复精度应用。LS 600系列增量式直线光栅尺用于简单定位应用，例如手动操作机床。LC 200（绝对式）和LB（增量式）直线光栅尺的测量长度最大可到30 m，特别适用于大测量长度的应用要求。 其测量基准为METALLUR或AURODUR光刻工艺制造的单件钢带光栅尺。在光栅尺外壳安装好后，将钢带光栅尺穿入尺座中预紧至要求的张紧力并将两端固定在机床铸件上。LF 185 超高重复精度 温度特性接近
11、钢材和铸铁 能承受高频率振动 两种安装方式 单场扫描LC 100系列 绝对式位置测量 具有可定义的温度特性 能承受高频率振动 两种安装方式 单场扫描LS 100系列 增量式位置测量 具有可定义的温度特性 能承受高频率振动 两种安装方式 单场扫描LS 600系列 主要用于手动操作机床 安装简单LB 382 大长度测量至30 m 具有可定义的温度特性 能承受高频率振动 两种安装方式 单场扫描绝对式 增量式LC 115LC 195 F/M/S1)LC 211LC 281LF 185 LS 187LS 177LS 688 CLS 628 CLB 382测量基准 DIADUR玻璃光栅尺 METALLUR
12、钢带 光栅尺钢基体的SUPRADUR相位 光栅尺DIADUR玻璃光栅尺 DIADUR玻璃光栅尺 AURODUR钢带 光栅尺增量信号 LC 211：LC 281： 1 VPP 1 VPPLS 187： 1 VPPLS 177： TTLLS 688 C： 1 VPPLS 628 C： TTL 1 VPP信号周期 40 m 4 m LS 187：20 mLS 177：4 m/2 m20 m 40 m绝对位置值 LC 115/LC 2x1：EnDat 2.2LC 195：发那科/三菱/西门子精度等级 5 m, 3 m 5 m 3 m, 2 m 5 m, 3 m 10 m 5 m推荐测量步距 5 m：至
13、0.01 m2) 3 m：至0.001 m2)至0.01 m2)至0.1 m 至0.1 m LS 688 C：至1 mLS 628 C：5 m至0.1 m测量长度 ML 至4 240 mm 至28 040 mm 至3 040 mm 至3 040 mm 至30 040 mm参考点 一个或距离编码；LS 6xx C：距离编码1)可提供，请联系 2)绝对位置值分辨率LC 200系列 绝对式位置测量，最大测量长度至28 m 具有可定义的温度特性 能承受高频率振动 两种安装方式 单场扫描LC 100LF 185LC 200LS 6009绝对式 增量式LC 115LC 195 F/M/S1)LC 211L
14、C 281LF 185 LS 187LS 177LS 688 CLS 628 CLB 382测量基准 DIADUR玻璃光栅尺 METALLUR钢带 光栅尺钢基体的SUPRADUR相位 光栅尺DIADUR玻璃光栅尺 DIADUR玻璃光栅尺 AURODUR钢带 光栅尺增量信号 LC 211：LC 281： 1 VPP 1 VPPLS 187： 1 VPPLS 177： TTLLS 688 C： 1 VPPLS 628 C： TTL 1 VPP信号周期 40 m 4 m LS 187：20 mLS 177：4 m/2 m20 m 40 m绝对位置值 LC 115/LC 2x1：EnDat 2.2LC
15、 195：发那科/三菱/西门子精度等级 5 m, 3 m 5 m 3 m, 2 m 5 m, 3 m 10 m 5 m推荐测量步距 5 m：至0.01 m2) 3 m：至0.001 m2)至0.01 m2)至0.1 m 至0.1 m LS 688 C：至1 mLS 628 C：5 m至0.1 m测量长度 ML 至4 240 mm 至28 040 mm 至3 040 mm 至3 040 mm 至30 040 mm参考点 一个或距离编码；LS 6xx C：距离编码1)可提供，请联系 2)绝对位置值分辨率10LC，LF，LS系列封闭式直线光栅尺紧凑光栅尺外壳紧凑光栅尺外壳的封闭式直线光栅尺主要用于安
16、装空间有限的地方。LC 400系列绝对式直线光栅尺直接提供绝对位置值，测量前无需回零。同LS 400 系列增量式直线光栅尺一样，它精度高并具有可定义的温度特性，特别适用于NC数控机床。LF系列增量式光栅尺的栅距极小。因此，特别适用于高重复精度应用。LS 300系列增量式直线光栅尺用于简单定位应用，例如手动操作机床。用安装板轻松安装用安装板安装紧凑外壳直线光栅尺有突出优点。 组装机床时将它固定在机床上。 最后安装时，只需将光栅尺夹紧即可。因此，可以很容易地更换光栅尺，便于检修。 此外，用安装板安装还能明显提升光栅尺加速性能。LF 485 超高重复精度 温度特性接近钢材和铸铁 单场扫描LC 400
17、系列 绝对式位置测量 具有可定义的温度特性 单场扫描LS 400系列 增量式位置测量 具有可定义的温度特性 单场扫描LS 300系列 主要用于手动操作机床夹紧弹簧片光栅尺外壳读数头安装板固定靠板LC 400LS 400LF 485LS 30011绝对式 增量式LC 415LC 495 F/M/S1)LF 485 LS 487LS 477LS 388 CLS 328 C测量基准 DIADUR玻璃光栅尺 钢基体的SUPRADUR相位光栅尺DIADUR玻璃光栅尺 DIADUR玻璃光栅尺增量信号 1 VPPLS 487： 1 VPPLS 477： TTLLS 388 C： 1 VPPLS 328 C：
18、 TTL信号周期 4 m LS 487：20 mLS 477：4 m/2 m20 m绝对位置值 LC 415：EnDat 2.2LC 495： 发那科/三菱/西门子精度等级 5 m, 3 m 5 m, 3 m 10 m推荐的测量步距 5 m：至0.01 m2) 3 m：至0.001 m2)至0.1 m 0.1 m LS 388 C：至1 mLS 328 C：5 m测量长度 ML 至2 040 mm3)至1 220 mm 至2 040 mm3)至1 240 mm参考点 一个或带距离编码 距离编码1)可提供，请联系 2)绝对位置值分辨率3)测量长度大于1 240 mm必须使用安装板或者预紧元件12
19、LIP，LIF敞开式直线光栅尺超高精度LIP和LIF系列敞开式直线光栅尺特点是测量步距小、测量精度高。 其测量基准为玻璃或玻璃陶瓷基体的相位光栅。LIP和LIF系列光栅尺主要用于： 测量机和比较仪 测量显微镜 超精密机床，例如加工光学元件的金刚石刀具，加工磁盘端面车床和加工铁氧体元件的磨床 半导体工业的测量和生产设备 电子工业的测量和生产设备LIF 481 V适用于高真空度的特殊应用（至107bar）。LIP 300系列 超高分辨率，测量步距至1 nm 极小信号周期，极高重复精度 Zerodur玻璃陶瓷基体测量基准具有可定义的温度特性LIP 400系列 尺寸小 测量步距至0.005 m 提供多
20、种热膨胀系数的光栅尺LIP 500系列 测量长度至1 440 mm 测量步距0.05 mML = 70 mm增量式LIP 382LIP 372LIP 481LIP 471LIP 581LIP 571LIF 481LIF 471测量基准线性膨胀系数Zerodur玻璃陶瓷基体的DIADUR相位光栅nulltherm (0 0.1) 106K1玻璃或Zerodur玻璃陶瓷基体的DIADUR相位光栅nulltherm 8 106K1(玻璃)或nulltherm (0 0.1) 106K1(Zerodur)玻璃基体的DIADUR相位光栅nulltherm 8 106K1玻璃或Zerodur玻璃陶瓷基体的
21、SUPRADUR相位光栅nulltherm 8 106K1(玻璃)或nulltherm (0 0.1) 106K1(Zerodur)增量信号 LIP 382： 1 VPPLIP 372： TTLLIP 481： 1 VPPLIP 471： TTLLIP 581： 1 VPPLIP 571： TTLLIF 481： 1 VPPLIF 471： TTL信号周期 LIP 382：0.128 mLIP 372：0.004 mLIP 481：2 mLIP 471：0.4 m/0.2 mLIP 581：4 mLIP 571：0.8 m/0.4 mLIF 481：4 mLIF 471：0.8 m至0.04
22、m精度等级 0.5 m 1 m; 0.5 m 1 m 3 m单信号周期位置误差 典型值 0.001 m 0.02 m 0.04 m 0.04 m推荐的测量步距 1 nm 1 m至0.005 m 1 m至0.05 m 1 m至0.1 m测量长度（ML） 70至270 mm 70至420 mm 70至1 440 mm 70至1 020 mm（可提供最大长度至3 040 mm，请联系）参考点 无 一个 一个或带距离编码 一个LIF 400系列 用PRECIMET粘膜可 快速方便地固定光栅尺 由于采用SUPRADUR光栅技术，对污染较不敏感 用限位开关和回零轨检测位置13增量式LIP 382LIP 3
23、72LIP 481LIP 471LIP 581LIP 571LIF 481LIF 471测量基准线性膨胀系数Zerodur玻璃陶瓷基体的DIADUR相位光栅nulltherm (0 0.1) 106K1玻璃或Zerodur玻璃陶瓷基体的DIADUR相位光栅nulltherm 8 106K1(玻璃)或nulltherm (0 0.1) 106K1(Zerodur)玻璃基体的DIADUR相位光栅nulltherm 8 106K1玻璃或Zerodur玻璃陶瓷基体的SUPRADUR相位光栅nulltherm 8 106K1(玻璃)或nulltherm (0 0.1) 106K1(Zerodur)增量信
24、号 LIP 382： 1 VPPLIP 372： TTLLIP 481： 1 VPPLIP 471： TTLLIP 581： 1 VPPLIP 571： TTLLIF 481： 1 VPPLIF 471： TTL信号周期 LIP 382：0.128 mLIP 372：0.004 mLIP 481：2 mLIP 471：0.4 m/0.2 mLIP 581：4 mLIP 571：0.8 m/0.4 mLIF 481：4 mLIF 471：0.8 m至0.04 m精度等级 0.5 m 1 m; 0.5 m 1 m 3 m单信号周期位置误差 典型值 0.001 m 0.02 m 0.04 m 0.0
25、4 m推荐的测量步距 1 nm 1 m至0.005 m 1 m至0.05 m 1 m至0.1 m测量长度（ML） 70至270 mm 70至420 mm 70至1 440 mm 70至1 020 mm（可提供最大长度至3 040 mm，请联系）参考点 无 一个 一个或带距离编码 一个ML = 120 mmPP敞开式直线光栅尺二维编码器PP二维编码器的测量基准是玻璃基体的平面二维相位光栅， 用于测量平面中位置。其应用包括： 半导体工业的测量和生产设备 电子工业的测量和生产设备 高速X-Y工作台 测量机和比较仪 测量显微镜增量式PP 281 测量基准线性膨胀系数玻璃基体的DIADUR相位光栅nul
26、ltherm 8 106K1增量信号 1 VPP信号周期 4 m精度等级 2 m单信号周期位置误差 典型值 0.04 m推荐的测量步距 至0.01 m测量范围 68 mm x 68 mm （可提供其它测量范围，请联系）参考点 每坐标一个14LIC，LIDA敞开式直线光栅尺用于高速运动和大测量长度LIC和LIDA 敞开式直线光栅尺设计用于高速运动，最高速度至10 m/s以及大测量长度应用，最大测量长度至30 m。 LIC的绝对位置测量的测量长度达27 m。 其尺寸和安装方式与LIDA 400增量式直线光栅尺相同。LIC和LIDA 直线光栅尺的基体通常为钢带，光栅类型为METALLUR。 LIDA
27、 403光栅尺的玻璃或玻璃基体有多种不同的线膨胀系数，能很好地适应温度特性要求。LIC和LIDA系列敞开式直线光栅尺主要用于： 坐标测量机 测量机 PCB电路板组装机 PCB电路板钻孔机 精密运送设备 测量直线电机位置和速度LIC 4000系列 绝对位置测量，至27 m 安装尺寸与LIDA 400一致 多种安装方式绝对式 增量式LIC 4015 LIC 4017 LIC 4019 LIDA 483LIDA 473LIDA 485LIDA 475LIDA 487LIDA 477LIDA 489LIDA 479LIDA 287LIDA 277LIDA 289LIDA 279测量基准线性膨胀系数ME
28、TALLUR钢带光栅尺LIC 4015：nulltherm与安装面相同LIC 4017/LIC 4019：nulltherm 10 106K1玻璃陶瓷或玻璃基体的METALLUR光栅nulltherm 8 106K1（玻璃）nulltherm 0 106K1（ROBAX玻璃陶瓷）nulltherm (0 0.1) x 106K1（Zerodur玻璃陶瓷）METALLUR钢带光栅尺LIDA 4x5：nulltherm与安装面相同LIDA 4x7/LIDA 4x9：nulltherm 10 106K1钢带光栅尺 nulltherm 10 106K1增量信号 LIDA 483： 1 VPP; LID
29、A 473： TTL LIDA 48x： 1 VPP; LIDA 47x： TTL LIDA 28x： 1 VPP; LIDA 27x： TTL信号周期 LIDA 483：20 m; LIDA 473：4 m/2 m/0.4 m/0.2 m LIDA 48x：20 m; LIDA 47x：4 m/2 m/0.4 m/0.2 m LIDA 28x：200 m; LIDA 27x：20 m/4 m/2 m绝对位置值 EnDat 2.2 精度等级 5 m 15 m 3 m; 5 m 5 m 15 m 30 m单信号周期位置误差 典型值 0.08 m 0.2 m 0.2 m 2 m推荐的测量步距 至0
30、.01 m（绝对位置值） 1 m至0.1 m 1 m至0.1 m 5 m至0.5 m测量长度 ML 140至27 040 mm240至6 040 mm 70至1 040 mm 240至3 040 mm（Robax玻璃陶瓷光栅尺至1 640 mm） 140至30 040 mm 240至6 040 mm 3 m/5 m/10 m光栅尺卷的钢带光栅尺参考点 一个或带距离编码 一个 每100 mm可选LIC和LIDA安装特别方便，有多种安装方式：LIDA 403 玻璃或玻璃陶瓷光栅尺粘贴在安装面位置。 LIC 4015, LIDA 4x5 单体钢带光栅尺穿入铝壳中并在两端固定 铝壳用螺栓或粘结剂固定在
31、安装位置。LIC 4017, LIDA 4x7, LIDA 2x7 单体钢带光栅尺穿入在铝壳中并在中间固定。 铝壳用粘结剂固定在安装面位置。LIC 4019, LIDA xx9, LIDA 2x9 单体钢带光栅尺用粘结剂直接固定在安装面。 LIDA 200系列 自由裁剪钢带光栅尺 安装公差大 用于简单应用LIP 400系列 大长度测量，最长至30 m 多种安装方式 限位开关LIDA 487LIDA 279LIC 401515绝对式 增量式LIC 4015 LIC 4017 LIC 4019 LIDA 483LIDA 473LIDA 485LIDA 475LIDA 487LIDA 477LIDA
32、 489LIDA 479LIDA 287LIDA 277LIDA 289LIDA 279测量基准线性膨胀系数METALLUR钢带光栅尺LIC 4015：nulltherm与安装面相同LIC 4017/LIC 4019：nulltherm 10 106K1玻璃陶瓷或玻璃基体的METALLUR光栅nulltherm 8 106K1（玻璃）nulltherm 0 106K1（ROBAX玻璃陶瓷）nulltherm (0 0.1) x 106K1（Zerodur玻璃陶瓷）METALLUR钢带光栅尺LIDA 4x5：nulltherm与安装面相同LIDA 4x7/LIDA 4x9：nulltherm 1
33、0 106K1钢带光栅尺 nulltherm 10 106K1增量信号 LIDA 483： 1 VPP; LIDA 473： TTL LIDA 48x： 1 VPP; LIDA 47x： TTL LIDA 28x： 1 VPP; LIDA 27x： TTL信号周期 LIDA 483：20 m; LIDA 473：4 m/2 m/0.4 m/0.2 m LIDA 48x：20 m; LIDA 47x：4 m/2 m/0.4 m/0.2 m LIDA 28x：200 m; LIDA 27x：20 m/4 m/2 m绝对位置值 EnDat 2.2 精度等级 5 m 15 m 3 m; 5 m 5 m
34、 15 m 30 m单信号周期位置误差 典型值 0.08 m 0.2 m 0.2 m 2 m推荐的测量步距 至0.01 m（绝对位置值） 1 m至0.1 m 1 m至0.1 m 5 m至0.5 m测量长度 ML 140至27 040 mm240至6 040 mm 70至1 040 mm 240至3 040 mm（Robax玻璃陶瓷光栅尺至1 640 mm） 140至30 040 mm 240至6 040 mm 3 m/5 m/10 m光栅尺卷的钢带光栅尺参考点 一个或带距离编码 一个 每100 mm可选16海德汉CERTO系列长度计精度 0.1 m海德汉公司的CERTO系列长度计具有纳米级分辨
35、率，测量范围大、线性精度高。 主要用于超精密零件生产中的质量控制和基准检测与校准。 长度计可以减少检定量块所需的工作基准数量。精度海德汉公司的CERTO系列长度计的总误差不超过 0.1 m 。 经过后续信号处理电子电路，例如ND 28x，进行线性误差补偿后，海德汉公司保证CT 2500型 0.03 m的精度，CT 6000型 0.05 m的精度。 如果测量时的环境温度在19至21C之间，温度波动小于 0.1 K并使用海德汉公司CERTO系列长度计的CS 200型测量座，这些精度等级数据适用于整个测量行程。测量杆驱动CT 2501和CT 6001 的测量杆由内部电机控制伸出和缩回。也可以连接开关
36、盒，通过外部信号控制驱动。CT 2502和CT 6002 没有测量杆驱动装置。 自由运动的测量杆通过独立联轴器连接机床运动部件。安装CT 2500型长度计用其16 mm直径的装夹杆固定。 CT 6000型长度计用两只螺钉固定在安装平面上。增量式CT 2501 CT 2502 CT 6001 CT 6002测量基准 Zerodur玻璃陶瓷基体的DIADUR相位光栅线性膨胀系数：nulltherm 0 0.1 106K1增量信号 11 APP信号周期 2 m系统精度1) 0.1 m 0.03 m2) 0.1 m 0.05 m2)推荐的测量步距 如果用ND 28x系列数显装置，0.01 m和0.00
37、5 m测量范围 25 mm 60 mm测量杆驱动 电机驱动 联轴器 电机驱动 联轴器参考点 一个1)测量温度为19C至21C时，允许测量时的温度波动范围为： 0.1 K2)经信号处理电子电路仅限线性误差补偿后17海德汉MERTO系列长度计精度 0.2 m海德汉METRO系列的MT 1200和MT 2500型长度计系统精度高、信号周期小，是精密测量工作站和测试设备的理想选择。 它的测量杆由密珠导轨导向，因此能承受较大径向力。测量杆驱动MT 12x1和MT 25x1系列长度计的测量杆由弹簧驱动，自由状态时测量杆为伸出状态。 无弹簧的特殊版本的测量杆作用在被测对象上的力非常小。MT 1287和MT
38、2587型长度计的气动驱动测量杆由内部弹簧将其缩回到自由状态。测量时用压缩空气使其伸出到测量位置。安装MT 1200型和MT 2500型长度计用其8h6标准装夹杆固定。 海德汉公司提供将长度计安装在平面或MS 200型测量座上所需的安装架附件。增量式MT 1281MT 1287MT 1271 MT 2581MT 2587MT 2571测量基准 Zerodur玻璃陶瓷基体的DIADUR相位光栅线性膨胀系数：nulltherm 0 0.1 106K1增量信号 1 VPP TTL 1 VPP TTL信号周期 2 m 0.4 m或0.2 m 2 m 0.4 m或0.2 m系统精度 0.2 m推荐的测量
39、步距 0.5 m至0.05 m测量范围 12 mm 25 mm测量杆驱动 MT 12x1/MT 25x1：线缆提升器或自由运动MT 1287/MT 2587：气动参考点 一个18海德汉MERTO系列长度计精度 0.5 m海德汉METRO系列MT 60和MT 101型长度计测量范围大、测量精度高，是产品进厂检验、生产检测、质量控制或被测尺寸非常不同的任何零件测量应用的理想选择。 也可将它方便地用作高精度位置编码器，例如安装在滑座或X-Y工作台上。测量杆驱动M版的长度计内置电机，驱动测量杆伸出或缩回。MT 101 M型为恒测量力，MT 60 M型允许用户选择三个测量力之一。K版的长度计无测量杆驱动
40、机构。 测量杆自由运动。 它可被连接到运动部件上，例如直线滑板和X-Y工作台。安装长度计用两只螺钉固定在平台上。海德汉公司为M版长度计提供MS 100和MS 200型测量座的安装附件。增量式MT 60 M MT 60 K MT 101 M MT 101 K测量基准 玻璃陶瓷基体的DIADUR光栅增量信号 11 APP信号周期 10 m系统精度 0.5 m 1 m推荐的测量步距 1 m至0.1 m测量范围 60 mm 100 mm测量杆驱动 电机驱动 联轴器 电机驱动 联轴器防护等级 IP 50参考点 一个19ACANTO，海德汉SPECTO系列长度计精度 1 mACANTO和海德汉SPECTO
41、系列长度计结构非常紧凑，是多点测量和测试设备的首选产品。绝对位置测量的ACANTO长度计特别适用于测量点非常多的测量站应用：由于测量值在长度计内生成，因此不再需要计算测量点的计数电路。测量杆驱动AT 1218，ST 12x8 和ST 30x8 系列长度计测量杆由弹簧驱动，自由状态时为测量杆伸出。AT 1217，ST 12x7 和ST 30x7 系列长度计的气动测量杆通过内部弹簧将测量杆缩回到自由状态。测量时用压缩空气使其伸出到测量位置。安装海德汉SPECTO系列长度计用其8h6标准装夹杆固定。绝对式 增量式AT 1218AT 1217ST 1288ST 1287ST 1278ST 1277ST
42、 3088ST 3087ST 3078ST 3077测量基准 DIADUR玻璃光栅尺增量信号 1 VPP TTL 1 VPP TTL信号周期 20 m 4 m/2 m 20 m 4 m/2 m绝对位置值 EnDat 2.2 系统精度 2 m 1 m推荐的测量步距 1 m至0.1 m测量范围 12 mm 12 mm 30 mm测量杆驱动 AT 1218/ST 12x8/ST 30x8：由被测对象驱动AT 1217/ST 12x7/ST 30x7：气动防护等级 IP 64参考点 一个20角度测量 角度编码器海德汉公司的角度编码器精度高，可达弧秒甚至更高。 角度编码器应用于机床回转工作台、机床摆动铣
43、头、分度装置、高精度角度测量工作台、角度计量、天线和天文望远镜等精密设备上。 线数通常为9 000至180 000线 精度 5“至 0.4“ 最小测量步距至0.000 005或0.018“（增量式）或29 bit，即每转约53 600万个位置（绝对式）旋转编码器海德汉公司的旋转编码器是测量旋转运动、角速度的传感器，也可与机械测量设备一起使用，例如丝杠，测量直线运动。 应用领域包括电机、机床、印刷机、木工机器、纺织机器、机器人和运送设备以及各种测量，测试和检验设备。 线数一般可达50至5 000 精度至 12“（取决于线数，相当于栅距的 1/20） 测量步距至0.001。 特别是光电扫描的编码器
44、，其高质量的正弦增量信号可进行高倍频细分用于数字速度控制。21安装方式内置轴承和定子联轴器的角度编码器和旋转编码器，其圆光栅码盘直接连接被测轴。 读数头通过滚珠轴承安装在轴上，并由定子联轴器支撑。 轴进行角加速时，定子联轴器必须只吸收轴承摩擦力导致的扭矩，因此它能最大限度降低静态和动态测量误差。而且，安装在定子上的联轴器还能补偿被测轴的轴向运动。定子联轴器的其它优点还有： 安装简单 总长度短 联轴器固有频率高 可使用空心轴内置轴承角度编码器和旋转编码器用分离联轴器连接，用于实心轴。 这种推荐的连接被测轴方式能补偿径向和轴向误差。 分离式联轴器的角度编码器支持的转速更高。无内置轴承角度编码器和旋
45、转编码器工作时没有摩擦。 组装时需相互调整两个部件读数头与圆光栅码盘、光栅鼓或钢带光栅尺。 优点： 所需空间小 支持大直径空心轴 允许高轴速 无附加启动扭矩增量式角度编码器和旋转编码器通过计算从原点开始的测量步距数，或计算细分处理后的信号周期数以确定当前位置。海德汉公司的增量式编码器有重建原点的参考点。带换向信号的增量式旋转编码器提供轴角位置而无需执行回零，其精度足以正确控制永磁三相电机旋转磁场的相位。绝对式角度编码器和旋转编码器无需执行参考点回零操作就能直接提供当前位置值。单圈编码器只需旋转一圈就可提供当前角度位置值，而多圈编码器还能区分不同圈间的位置。位置值通过接口EnDat，SSI，PR
46、OFIBUS-DP，PROFINET或其它串行数据接口传输。EnDat接口，PROFIBUS-DP或PROFINET双向接口支持其上层电子设备的自动配置，并提供监测和诊断功能。海德汉公司带安全功能的编码器是采用纯串行数据传输的单编码器系统，适用于高安全性机器和系统。在编码器内形成两路相互独立测量值，通过EnDat接口传给安全控制系统。角度编码器 产品系列 页带内置轴承和定子联轴器 绝对式（单圈）增量式RCNRON, RPN22带内置轴承，分离式联轴器 增量式 ROD 24无内置轴承 增量式 ERP, ERO, ERA 25 28模块化编码器增量式 ERM 30旋转编码器带内置轴承，用定子联轴器
47、安装 绝对式（单圈/多圈）增量式ECN/EQNERN32, 34带内置轴承，分离式联轴器 绝对式（单圈/多圈）增量式ROC/ROQ, RIC/RIQROD36无内置轴承 绝对式（单圈/多圈）增量式ECI/EQIERO3822RCN，RON，RPN系列角度编码器带内置轴承和定子联轴器带内置轴承和定子联轴器的RCN，RON 和RPN系列角度编码器的静态和动态精度高，它们是回转工作台和摆动轴等高精度应用的首选测量手段。 测量基准是DIADUR光栅的圆光栅码盘RPN为相位光栅。 采用定子联轴器的编码器精度已包括联轴器产生的误差。 如果是分离式联轴器的角度编码器，在计算系统精度时必须考虑连接误差。RCN 2000和RON 200系列 结构紧凑 设计坚固 主要用于回转工作台、摆动工作台的定位和速度控
