1、衍 射 光 学 元 件 的 基 本 原 理 衍 射 光 学 元 件 是 由 二 元 光 学 的 发 展 而 衍 生 出 来 的 一 种 新 的 光 学 器 件 ， 属 于 微 光 学 范 畴 。光 的 衍 射 理 论 是 设 计 衍 射 光 学 元 件 的 基 本 原 理 。 光 的 衍 射 公 式 复 杂 冗 长 ， 不 便 于 实 际 应 用 ，维 尔 克 斯 光 电 根 据 实 际 工 程 中 holor衍 射 光 学 元 件 的 使 用 情 况 ， 精 心 总 结 了 以 下 简 化 的 公式 ， 以 相 对 简 单 的 方 式 阐 述 衍 射 光 学 元 件 基 本 原 理 。 衍
2、射 光 学 公 式 ： 光 栅 方 程 &垂 直 入 射 ： 光 栅 方 程 &斜 入 射 衍 射 角 度 随 波 长 的 变 化 ： 衍 射 极 限 的 光 斑 尺 寸 ： Holor以 对 比 度 来 定 义 光 斑 均 匀 性 ： Holor的 衍 射 光 学 元 件 DOE对 于 校 准 后 的 激 光 光 束 效 果 最 好 ， 但 也 可 用 于 调 制 未 校 准 的 激光 光 束 ； DOE衍 射 光 学 元 件 不 要 求 激 光 光 束 是 偏 振 的 或 相 干 的 ； DOE衍 射 光 学 元 件 不 会 影 响 激 光 的 偏 振 态 ， 除 了 亚 波 长 regi
3、me。 激 光 光 束 分 束 器 /激 光 点 阵 衍 射 光 学 元 件 /多 光 斑 衍 射 光 学 元 件 用 到 的 衍 射 光 学 原 理 Holor 激 光 光 束 分 束 器 /激 光 点 阵 衍 射 光 学 元 件 /多 光 斑 衍 射 光 学 元 件 用 于 把 一 个 激 光 光 束分 解 为 多 个 光 束 ， 而 且 每 个 光 束 的 特 性 和 入 射 的 原 始 激 光 光 束 一 致 。 入 射 激 光 光 束 模 式 ： 单 模 /多 模 相 邻 激 光 点 /激 光 光 斑 的 间 距 ： 每 个 点 的 尺 寸 ： 容 忍 度 ： 对 于 X轴 Y轴 Z
4、轴 的 对 准 偏 差 不 敏 感 衍 射 效 率 ： 7095% 均 匀 性 ： 典 型 值 93% 衍 射 均 匀 性 ： 典 型 值 95% 容 忍 度 ： 光 轴 必 须 精 确 对 准 ， 而 输 入 光 束 的 直 径 影 响 不 大 激 光 采 样 器 Holor激 光 采 样 器 的 作 用 在 不 影 响 主 激 光 束 的 前 提 下 ， 分 离 出 两 束 特 性 与 主 光 束 完 全 相 同 的低 能 激 光 ， 可 用 于 实 时 监 控 高 能 量 /超 大 功 率 激 光 的 光 强 分 布 、 功 率 、 光 谱 和 脉 宽 等 参 数 。 采 样 比 例 ： 0.2%或 更 高
