1、超声波加工,1,贾宝贤,5687026,Ultrasonic Machining USM,清华大学-特种加工工艺(2011-2012春季冷加工)_421303366.pdf,课程内容大纲,2,1绪论 2电火花加工 3电火花线切割加工 4电化学加工 5超声波加工 6磨料与水喷射加工 7激光加工 8快速原型制造 9电子束、离子束加工 10化学、等离子体、磁性磨料加工、挤压珩磨,第二章 超声波加工,3,2.1 超声波加工的原理特点 2.2 超声波加工设备 2.3 超声加工工艺规律 2.4 超声波加工材料去除机理 2.5 超声加工的应用 2.6 超声振动切削加工,2.1超声波加工的基本原理和特点,4,
2、一、超声波及其特性 1.声波：振动在弹性介质内的传播称为波动, 简称波。波动的物理实质是能量的传递过程。 可闻声波：频率在16160000 Hz之间的声波。 次声波：频率低于16 Hz的声波。 超声波：频率高于16000 Hz的声波。 特超声波：频率高于1010 Hz的声波。,声波的频率界限图,5,2、超声波的基本特性,6,（1）超声波与声波一样，在气体、液体和固体等不同弹性介质中传播时，其传播速度不同。 （2）超声波能传递很强的能量，它对其传播方向上的障碍物施加压力（声压）。超声波是一种纵波，其振动能量的强弱可用能量密度来衡量, 其能量密度可达100W/cm2 以上。 （3）超声波在液体介质
3、中传播时，可在界面上产生强烈的冲击和空化作用，强化加工过程的进行。 （4）超声波会产生反射、干涉和共振现象，出现波的叠加作用，从而获得更大的加工能量。,二、超声加工的基本原理,7,1、超声波加工的基本原理 超声波加工是利用超声波作动力，推动磨料以极高的速度冲击工件表面，工件材料在磨料打击下被破坏、脱落。,二、超声加工的基本原理,8,1、超声波加工的基本原理,超声波加工56.flv,三、超声波加工的特点,9,1.适合加工各种硬脆材料，特别是不导电的非金属材料，例如玻璃、陶瓷、石英、宝石、金刚石等。 2.工具可用较软的材料做较复杂的形状。 3.工具与工件相对运动简单，使机床结构简单。 4.切削力小
4、、切削热少，不会引起变形及烧伤，加工精度与表面质量也较好。 5.超声波加工的面积较小，工具头磨损较大，因此，生产率低。,2.2 超声波加工设备,10,超声波加工设备又称超声波加工装置，尽管不同功率大小、不同公司生产的超声波加工设备在结构形式上各不相同，但其组成部分基本相同。超声波加工装置一般都由超声发生器、超声振动系统（声学部件）、机床本体和磨料工作液循环系统等部分组成。,一、超声波发生器,11,作用：将工频交流电转变为具有一定功率输出的超声频电振荡。 要求：输出的功率和频率在一定范围内连续可调。,图7-3 超声发生器的组成方图,超声波发生器与换能器变幅杆工具,12,二、超声波换能器,13,（
5、1）换能器 作用：将超声频电振荡信号转换为超声频机械振动。 分类： 1.压电式换能器（利用压电效应制成） 2.磁致伸缩式换能器（利用磁致伸缩效应制成 ）,1.压电效应,14,石英晶体、钛酸钡（BaTiO3）陶瓷、锆钛酸铅（ZrPbTiO3）压电陶瓷等物质受外力变形时，在界面上产生电势；或者相反的情况 。,2.磁致伸缩效应,15,铁、钴、镍及其合金的长度能随其所处的磁场强度的变化而伸缩的现象。较压电式换能器有较高的机械强度和输出功率。,磁致伸缩,16,三、超声波变幅杆,17,作用：将换能器获得的超声振动振幅加以扩大，以达到加工所需的振幅。 分类 ：,锥形-扩大比较小（5-10倍），易制造。指数形
6、-扩大比中等（1020倍），难制造。阶梯形-扩大比大（20倍以上），易制造。,扩大振幅的原因,18,通过变幅杆任一截面的振动能量不变（传播损耗不记）; 截面越小，能量密度越大 ，振动振幅也就越大; 能量密度与振幅的平方成正比。,四、超声波加工工具,19,作用：推动磨料和悬浮液冲击工件表面，加工出形状和尺寸。 形状和尺寸：取决于被加工表面的形状和尺寸，它们相差一个“加工间隙”。 材料 ： 45钢、碳素工具钢一般硬脆材料； 硬质合金、淬火钢加工精度高； 金刚石镀覆特殊要求。,工具,五、机床,21,1工作台； 2工具； 3变幅杆； 4换能器； 5标尺； 6导轨； 7支架； 8平衡重锤,超声波加工机床
7、USM.avi,六、磨料工作液及其循环系统,23,（1）工作液 常用、效果较好水 表面质量要求高煤油或机油 （2）磨料 碳化硼、碳化硅或氧化铝 生产率要求高颗粒大 加工精度、表面质量要求高颗粒小 （3） 循环系统 小型加工设备人工浇注、定期更换 大型加工设备流量泵自动供给 工具、变幅杆尺寸较大在其中开孔，由孔内抽吸。,2.3 超声加工工艺规律,24,一、加速度及其影响因素,定义：加工速度指单位时间内去除材料的多少，以mm3/min或g/min为单位来表示。 影响加工速度的因素：主要有工具的振幅和频率、进给压力、磨料的种类和粒度、被加工材料、磨料悬浮液的浓度。,1、工具振幅和频率的影响,25,过
8、大的振幅和过高的频率会使工具和变幅杆承受很大的内应力，振幅一般在0.010.1mm之间，频率在1600025000Hz之间。 在实际加工中需根据不同工具调至共振频率，以获得最大振幅，从而达到较高的加工速度。,2、进给压力的影响,26,加工时工具对工件应有一个适当的进给压力。 压力过小时，工具端面与工件加工表面间的间隙增大，从而减少了磨料对工件的锤击力； 压力增大，间隙减少，当间隙减少到一定程度则会降低磨料与工作液的循环更新速度，从而降低生产率。,3、磨料种类和粒度的影响,27,加工时针对不同强度的工件材料可选择不同的磨料。 磨料强度愈高，加工速度愈快，但要考虑价格成本。 加工宝石、金刚石等超硬
9、材料，必须选用金刚石；加工淬火钢、硬质合金，应选用碳化硼；加工玻璃、石英和硅、锗等半导体材料，选用氧化铝磨料。,4、磨料悬浮液浓度的影响,28,磨料悬浮液浓度低，加工间隙内的磨粒少，特别是在加工面积大、深度较大时可能造成加工区局部没有磨料，使加工速度大大降低。 磨料浓度的增加，加工速度也增加，但浓度太高，磨粒在加工区域内的循环运动和对工件的撞击运动受到影响，又会导致加工速度降低。,5、被加工材料的影响,29,被加工材料愈硬脆，则承受冲击载荷的能力愈低，愈易被去除加工，反之，韧性愈好，愈不易加工。,二、加工精度的影响因素,30,超声波的加工精度，除了机床、夹具精度影响外，主要与以下因素有关： （
10、1）磨料粒度；（2）工具精度及其磨损情况；（3）工具横向振动大小；（4） 加工深度；（5）被加工材料性质等。超声波加工的孔径范围0.190mm，孔深为孔径的1020被以上。孔的精度可达0.02mm或更高。,三、表面质量的影响,31,超声波加工具有良好的表面质量，不会产生表面变质层和烧伤； 超声波加工的表面粗糙度主要与磨粒尺寸、工件材料性质、超声波振幅以及磨料悬浮液的成分等有关。 磨粒尺寸愈小，超声振幅愈小，工件材料越硬，生产率愈低，表面粗糙度愈会得到明显改善； 用煤油或者润滑油代替水可使表面粗糙度值减小，提高表面质量。,2.4 超声波加工材料去除机理,32,超声发生器将交流电转变为超声电振荡；
11、 换能器将电振荡转变为机械振动； 变幅杆将振幅放大至0.050.1mm，驱动工具作超声振动。 工具推动磨料高速撞击、抛磨工件，击碎工件表面材料，并使之去除； 工作液产生的液压冲击波和空化作用加快了表面材料的裂纹扩展和破坏。 超声波加工是机械撞击、抛磨、空化作用的综合结果。其中撞击起主要作用。,超声波空化作用：指存在于液体中的微小气泡，在声波的作用下振动，当声压达到一定值时发生的生长和崩溃的动力学过程。空化作用一般包括3个阶段：空化泡的形成、长大和剧烈的崩溃。,超声加工原理图,33,2.5 超声加工的应用,34,超声波加工的生产率虽然比电火花加工和电解加工低，但其加工精度和表面质量都优于它们。
12、更重要的是可以加工它们难以加工的半导体和非金属的硬脆材料，如玻璃、陶瓷、石英、硅、玛瑙、宝石、金刚石等。 对于电火花加工后的一些淬火钢、硬质合金冲模、拉丝模、塑料模等，最后还经常用超声波抛磨、光整加工，使表面粗糙度进一步降低。,超声加工的应用,35,型孔、型腔加工 超声切割加工 超声清洗 超声波测距 超声波探伤 超声雾化 超声振动切削,一、型孔、型腔加工,36,超声波目前主要应用在脆硬材料的圆孔、型孔、型腔、套料、微细孔等的加工。,图7-12 超声波加工的型孔、腔孔类型,成形孔加工,异形孔加工,型腔加工,雕刻,切割,外螺纹,内螺纹,表面研磨和抛光,应用实例,应用实例,超声波加工样件,样件,微细
13、孔加工,39,近几年来，超声波加工已向微细加工领域扩展，日本东京大学工业科学学院采用超声波加工方法，加工出了,玻璃上直径9m的微孔,微小透平腔,微细超声波加工技术,二、切割加工,41,对于难以用普通加工方法切割的脆硬材料如陶瓷、石英、硅、宝石等用超声波加工具有切片薄、切口窄、精度高、生产率高、经济性好等优点。,图7-15 超声波切割加工,单晶硅片切割方法,三、超声波清洗,47,原理：基于清洗液在超声波作用下产生空化效应的结果。空化效应产生的强烈冲击液直接作用到被清洗的部位，使污物遭到破坏，并从被清洗表面脱落下来。 应用：主要用于几何形状复杂、清洗质量要求高而用其它方法清洗效果差的中小精密零件，
14、特别是工件上的深小孔、微孔、弯孔、盲孔、沟槽、窄缝等部位的精清洗，生产率和净化率都很高。目前在半导体和集成电路元件、仪器仪表零件、电真空器件、光学零件、医疗器械等的清洗中应用。,图2-18 超声波清洗装置,48,超声清洗(1),超声清洗(2),超声清洗(3),超声清洗(4),四、超声波焊接,53,原理：利用超声振动作用去除工件表面的氧化膜，使工件露出本体表面，使两个被焊工件表面在高速振动撞击下摩擦发热并亲和粘在一起。,应用：用于焊接尼龙、塑料及表面易生成氧化膜的铝制品，还可以在陶瓷等非金属表面挂锡、挂银，从而改善这些材料的可焊性；焊接一般很难焊接的稀有金属，如钛、钼等 。,超声焊机,超声波塑料
15、焊接机,http:/ 2：焊缝 3：焊接母材 4：超声波处理线,六、复合加工,56,采用超声波加工硬质合金、耐热合金等硬质金属材料时加工速度低，工具损耗大，为了提高加工速度和降低工具损耗，采用超声波、电解加工或电火花加工相结合来加工喷油嘴、喷丝板上的孔或窄缝，这样可大大提高生产率和质量。,（1）超声电解复合加工,57,辅以超声振动的复合电解加工。用于难加工材料的表面光整及深小孔加工。,（2）超声电火化复合加工,58,原理：在普通电火花加工时，引入超声波，使电极工具端面作超声振动。超声声学部件夹固在电火花加工机床的主轴头下部，脉冲电源加在工具和工件上，加工时主轴作伺服进给，工具端面作超声振动。效果：不加超声时电火花精加工的放电脉冲利用率为3%5%，加上超声振荡后，电火花精加工时的有效放电脉冲利用率可提高50%以上，从而提高生产效率220倍。,
