1、单晶生产操作过程中注意事项,籽晶绳 密封圈判别,籽晶绳又称籽晶软轴或钢丝绳，是是提拉单晶的关键部件，其好坏将直接影响单晶的生长。每次开炉前应检查钢丝绳，确保其无弯曲、断丝、毛刺现象,弯曲钢丝绳,断丝钢丝绳,密封圈判别,O形圈要光滑，无破损、变形、老化等现象。出现以上现象必需更换,变形O形圈,破损O形圈,翘边O形圈,京运通摄像头,京运通摄像头和汉虹相同都是控制单晶生长的重要部件，其观察窗玻璃都应干净清洁。,注：京运通摄像头由于本身设计缺陷，拆装炉时要注意其连接线是否过短。拆炉时要将其拔下，避免拉断、拉坏。,汉虹摄像头,观察窗镀金玻璃上应，干净清洁，无污渍。镀金玻璃上应用无酒精无尘纸擦拭。,观察窗
2、下高温玻璃上不能溅有大量硅料，如有应通知维修查看，并更换。,其表面脏污，高温玻璃受损都将影响，摄像头的监控，从而造成引晶、转肩、等径自动控制失效。,脏污的观察窗镀金玻璃及受损的高温玻璃,京运通取光孔、热偶,取光孔安装时要注意安装位置，不要将其装反而造成真空抽不下，泄漏严重等故障,热偶要保证其内部有聚焦玻璃。否则会影响单晶炉的温度感应，影响单晶生长。,汉虹手脉,连线脱落的手脉,正常的手脉,禁止有连线脱落的手脉线。发现需停炉及时报维修处理。,籽晶、坩埚无法升降,籽晶坩埚速度值设置错误会使坩埚、籽晶无法升降。,重锤安装,重锤安装：重锤中部、头部要拧紧，晃动无间隙。其安装不到位是晶棒晃动的主要原因。,
3、尾部松脱,头部松脱,炉内提肩二段导气,在取肩时因翻板阀没有盖到位 而引起取挂钩 提肩或者取二段棒时发生导气现象我们盖阀时只需要轻轻转动，阀挡手，盖到位即可（以手上轻微感到有力为止），不需要出死力气转到手轮转不动为止，这样反而会引起机械变形造成翻板盖不到位导气。,炉内提肩二段导气,在取肩时因翻板阀没有盖到位 而引起取挂钩 提肩或者取二段棒时发生导气现象.提肩时翻版盖住,上炉室充氩气一半以上（500mt左右）时可以停止上氩气,查看高位压力值是否明显减小,若减小速度很快则说明翻版阀没有盖住.此时可以上副室重新抽空盖翻板，如若无效可以通知维修处理。,11,压力：蝶阀控制,炉压偏高或有导气现象 以及步序
4、切换后查看.,12,旧程序,新程序,初始化后原点确认,在完成初始化后首先查看ORG灯后 查看I/O(输入/输出)里面的MX0022 MX0025两项 .当这两项均显示红色后表示初始化成功 确认了原点位置.,13,旧程序,新程序,加热方面,需要及时报维修的 1 发现电流表跳动(抖动) 2 加热电压 电流(过大)等异常情况,14,加热停止方面,副室炉盖没有降到位 主要在取挂钩 取肩 二段棒时发生.,有问题时操作界面显示图,15,接近传感器会显示红色,石墨件安装,石墨件安装时注意托杆与挡料罩指间的间隙.防漏挡筒是否严重变形托杆与防漏挡筒上氧化物是否过多.,16,氩气过充(760T以上)后处理方式,安全泄气阀,17,密封圈清理,18,下波纹管内氧化物,氧化物误清入波纹管中：氧化物清入波纹管中会使，磁流体寿命严重缩短，使液面抖动发生频繁,清理密封圈,密封圈：各类管道密封圈擦拭应包括正反两面，大清时各密封圈要拉出清理,清理过后的密封圈：炉筒密封圈下部氧化物堆积。,检漏泄漏太多是密封圈原因,Ingot,END,20,
