1、 上海大学公开邀请招标购置 “TFT 湿法刻蚀设备”的公告招标编号：SDSB-09099根据中华人民共和国政府采购法 上海市政府采购招标暂行办法和上海大学仪器设备招、投标管理办法 ，上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室因教学、科研发展需要，现公开邀请招标采购 TFT 湿法刻蚀设备。一、 设备需求1. 设备名称： TFT 湿法刻蚀设备2. 技术要求：2.1 适用于玻璃基片、硅片等基片的湿刻等加工工艺。2.2 适用基片上铝、镉、ITO 膜的蚀刻、显影、剥离、清洗、干燥等工艺。*2.3 适用基片：200mmX200mm（8 英寸 8 英寸） ，厚度 0.7mm。2.4 适用每次加工基片 1
2、 2 片。2.5 设备调试需配合工艺调试，满足工艺要求，达到满足要求的刻蚀图形。2.6 同一槽刻蚀的单片腐蚀去除量偏差小于 5%，花片（花片是指腐蚀不均匀造成）比例小于 0.5%。*2.7 金属膜的刻蚀线宽达 4 m 时，整片面内线条宽度的均匀度小于 3%。*2.8 金属膜的刻蚀，线条截面呈正 taper 角，taper 角小于 30 度。2.9 基片配置标准片花篮，用于基片清洗、刻蚀等工艺。2.10 电气控制部分可以实现对各槽的控制，各工艺参数设置及修改、药液槽温度的设定, 各槽工艺时间可调。2.11 机台内药液槽上装有黄光灯照明。2.12 配备自动安全监控与灭火装置。2.13 配备装载药液
3、的药液桶夹具。2.14 槽体配有手动盖，防止药液污染。2.15 设备预验收2.15.1 设备出厂前，用户到设备供应商所在地进行预验收，并与供应商共同对设备工艺参数进行调试。2.15.2 验收方案为基板尺寸 200mmX200mm 的铝及钼铝的刻蚀，需保证刻蚀形状。2.16 酸刻蚀槽：2.16.1 清洗批量：1 篮/批次。2.16.2 适用于清洗药液：HF、HNO3、H3PO7、HCL、HAC 等及其混合酸。2.16.3 加温温度：RT-60。*2.16.4 其中两个酸刻蚀槽装备在线电子冷热器：电子冷热器自带温度控制，温度控制精度0.5；其余两个采用内置加热器加热，温控精度1。2.16.5 循环
4、过滤：配有过滤循环系统，包括循环泵、过滤器、储液箱及循环管路，循环泵采用进口气动隔膜泵循环系统。2.16.6 过滤器：过滤精度为0.5m。2.16.7 药液更换时，可进行管路清洗，药液槽清洗等方面内容。2.16.8 抛动系统：喷淋时，花篮上下抛动，使刻蚀更均匀，动作动力为电机带动抛动机构运动，使基片在槽内旋转运动。2.16.9 药液加液处配套加液滤网，防止药液起溅。2.16.10 配有自动液位检测传感器，实时对槽内药液液位进行检测。2.16.11 四个槽体配备四个相应的药液收集箱，置于设备后方排废液管处，用于药液废液的收集。2.17 碱性剥离槽：2.17.1 清洗批量：1 篮/批次。2.17.
5、2 适用于药液：显影液、脱膜液、置换液等溶液。2.17.3 加温温度：RT-80，温度控制精度2 。2.17.4 温度控制方式：内置加热器。2.17.5 循环过滤：配有过滤循环系统，包括 PVDF 循环泵、过滤器、储液箱及循环管路，循环泵采用进口气动隔膜泵循环系统。*2.17.6 过滤器：过滤材质为 PVDF，精度为 0.5m 。2.17.7 药液更换时，可进行管路清洗，药液槽清洗等方面内容。2.17.8 抛动系统：喷淋时，花篮上下抛动，使刻蚀更均匀，动作动力为电机带动抛动机构运动，使基片在槽内旋转运动。2.17.9 药液加液处配套加液滤网，防止药液起溅。2.17.10 配有自动液位检测传感器
6、，实时对槽内药液液位进行检测。2.17.11 两个槽体配备两个相应药液收集箱，置于设备后方排废液管处，用于药液废液的收集。2.18 有机剥离槽：2.18.1 清洗批量：1 篮/批次。2.18.2 适用于药液：丙酮等有机溶液。2.18.3 加温温度：RT-40，温度控制精度1 。2.18.4 温度控制方式：内置加热器。2.18.5 循环过滤：配有过滤循环系统，包括循环泵、过滤器、储液箱及循环管路，循环泵采用进口气动隔膜泵循环系统。*2.18.6 过滤器：过滤精度为 0.5m。2.18.7 药液更换时，可进行管路清洗，药液槽清洗等方面内容。2.18.8 抛动系统：喷淋时，花篮上下抛动，使刻蚀更均匀
7、，动作动力为电机带动抛动机构运动，使基片在槽内旋转运动。2.18.9 药液加液处配套加液滤网，防止药液起溅。2.18.10 配有自动液位检测传感器，实时对槽内药液液位进行检测。2.18.11 槽体配备药液收集箱，置于设备后方排废液管处，用于药液废液的收集。2.19 前清洗槽：2.19.1 清洗批量：1 篮/批次。2.19.2 在基片加工处理之前，用于清洗基片上的污染颗粒等。2.19.3 适用于药液：DIW。2.19.4 槽内配有超声清洗装置，用于基片的清洗，频率 40KHz。2.20 QDR 槽：2.20.1 清洗批量：1 篮/批次。2.20.2 用于清洗剥离完成之后，残余在基片之上的剥离液与
8、污染颗粒。2.20.3 适用于药液：DIW。2.20.5 槽内配有电阻率检测水质装置。2.20.6 可实现喷淋、快排、氮气鼓泡、溢流漂洗。2.21 干燥槽2.21.1 清洗批量：1 篮/批次。*2.21.2 介质：N2；配备氮气过滤器，过滤精度 0.02 微米。2.21.3 温度：RT-70，温度控制精度2。2.21.4 加热器：配套氮气加热器，配有温度传感器过温保护。2.21.5 槽体内部配有温度传感器。2.22 酸刻蚀槽、碱性剥离槽与有机剥离槽、干燥槽之间有活动挡板进行隔离。2.23 设备有排风装置，采用上排风的方式。2.24 设备配备水枪与气枪。*2.25 设备外形尺寸不大于 2500
9、1500 2000(mm)。2.26 电源：380V10 50HZ 叁相。3. 主机、附件详细清单3. 1 设备主机 1 台 包括：酸刻蚀槽 4 个碱性剥离槽 2 个有机剥离槽 1 个前清洗槽 2 个QDR 槽 2 个干燥槽 1 个3.2 框架及包板材料为 PP。3.3 安全监控与自动灭火装置 1 套(进口)3.4 超声装置 2 套3.5 N2 在线加热器 1 套3.6 抛动系统 7 套(进口)3.7 药液收集箱 10 个3.8 电子冷热器 2 套3.9 液位传感器 7 套(进口)3.10 气动隔膜泵 7 套(进口)3.11 过滤器 7 套(进口)3.12 样品花篮 7 套3.13 加液滤网
10、7 套3.14 电阻率检测水质装置 2 套3.15 水枪 1 个3.16 气枪 1 个4. 易损、易耗件清单和价格表请投标人提供以下所投设备的备品备件、易损、易耗件清单和价格表，并承诺在质保期后 3 年内以不高于上述清单价格按招标人不时要求的数量及合理时间向招标人提供该易损件和备品备件。1： 空气开关 2：中间继电器 3：温度探头 4：有料传感器 5：液位传感器 6：漏液传感器7：交流接触器 8：电磁阀9：水枪 10：气枪二 . 投 标 方 资 质 要 求 ：1、 符合政府采购法第二十二条之供应商资格规定。2、在中华人民共和国境内注册的独立法人且注册资金在人民币 100 万元（含 100 万元
11、）以上。3、投标方必须具有完善的质量管理体系（详细说明） 。4 投标方具有相应设备的加工经验，并且有实际设备应用于生产或实验单位中使用。三、设备报价1. 报价单位应根据设备需求的规定进行报价，其报价在采购过程中是不可以改变的（除非买方对设备提出新的要求） 。2. 报价单位对设备需求中所列的设备进行报价。报价单位可以用技术规格等于或高于同类品种的设备进行报价。3. 进行报价的设备必须同时附设备图样，主要技术性能、主要技术指标和具体配置的书面资料。4. 报价以人民币报价。四、交货时间中标厂商须在合同签约之日起 80 天内保质保量交付所有设备和附件。五、验收方式：设备到货后，由卖方、买方共同开箱验货
12、；卖方保证货品的型号、规格、数量与合同相符。卖方负责派工程师到用户现场免费进行安装调试，在系统整体调试完成后，买方认为合格后，签订系统安装验收报告。卖方应在设备到货前一个月，对仪器实验室场地条件,如工作台、水、电、气等配套设施提出建议并出具场地准备书。验收一般应在二周之内完成，超过视作延期交货。延期多少天，相应地质保期延长延期天数的三倍（双方另有约定除外） 。六、付款方式：合同签订后付 30%，设备到后付 40%，验收合格后付 30%（同时提供有效期为两年合同总金额 10%的质保函） 。七、质量保证与售后服务1. 质保期为自用户签署最终验收报告之日起 24 个月，在质保期间出现故障，供货言在接
13、收到用户通知后于 1 小时以内予以回应、提出解决方案，4 小时内维修人员到场，72 小时排除故障（特殊情况和不可抗拒因素除外） 。在此期间，设备发生任何非误操作造成的故障和损坏，均由供货方负责免费修复，失效零件予以免费更换，更换时所发生的费用均由供货方负担。质量保证期内，停机待修时间不得超过一个月，若超过一个月，则保修期延长待机时间的 3 倍。同时，提供软件免费升级。2. 货物到达学校后 7 天内由卖方负责免费安装、调试与技术培训，调试仪器所需耗材由供货方自行负担。仪器安装、调试时进行现场软硬件使用的培训：参与培训人员 35 人；内容：设备的工作原理、操作步骤、正常维护和应用等，使培训人员能够
14、正确、熟练操作及掌握仪器简易的故障判别及排除、维修。培训人员必须为供货方公司专职技术人员，不得派出学生或供货方用户等非公司专职技术人员提供培训，否则用户方将拒绝接受。3. 卖方根据合同提供的货物应是全新的未使用过的而且是符合国家有关制作标准和环保要求。投标方提供详细的中文操作、维护指南。4. 定期维护，终身保修，只收取零部件成本费。八、供货方式：中标单位与上海大学按招标文件规定签订购货合同，国产设备卖方根据买方提供的使用单位名称、地址以及设备品种、数量和时间等，按时送货到指定实验室，并根据使用单位的要求调试合格，送货等费用应包含在报价中。九、投标人须知1. 投标方应具有连续多年从事该设备生产或
15、销售经历，并有良好的声誉，且能提供良好的技术支持。2. 投标方应完全按照标书规定的设备名称、技术要求、数量报价、供货，我处不接受不确定报价。3. 投标方应保证随设备提供必要的安装、调试、培训、维修等服务，并提供合同所约订的免费维修时间及终身成本维修。4. 投标报价中标明的价格或在议标后确定的价格在合同执行过程中是固定不变的（除非招标方对设备提出新的要求）不得以任何理由予以变更。5. 投标方应在投标文件中注明投标货物的交货期，交货期超过招标方可接受时间范围的投标将视为非响应性投标。6. 带“*”的技术要求（参数）必须满足，否则不与中标。若投标人少于二家，则中标人的投标价不做最终价。若中标人的投标
16、价超出本次的设备经费预算，发标人有取消本次招标采购的权利。质保期的年限要求必须满足，否则以废标论处。7. 投标方如对技术要求有质疑，须在开标日前三天以书面报告给招标人，招标人可作修改，也可不作修改。如作修改，招标人将以公告形式在网上公示。十、投标书内容及要求投标单位提供加盖公章的投标书正本一份，副本三份。 （投标方应将投标文件正本和副本分别用信封密封，并标明招标编号、投标货物名称、投标单位名称及正本或副本。如果投标文件通过邮寄递交，投标方应将投标文件用内、外两层信封密封。并在外层标明招标编号、投标货物名称、投标单位名称）投标书应包含以下内容：1. 投标书（见附件 1） 、投标一览表（见附件 2
17、、3） 、投标分项招价表（见附件 4、5） 、偏离表（见附件 6、7） ，投标设备样本。2. 投标方资质文件、资格证明（法人代表授权书（见附件 8） 、营业执照复印件、税务登记证明复印件、原生产厂商授权书正本及复印件等） 。3. 质量、服务保证承诺书、备品备件、易损、易耗件清单和价格表等。（注：具体附件下载详见网页：http:/ ）十一、投标截止时间，开标时间、地点1. 投标单位请在 2009 年 12 月 29 日 14：20 前将标书送达上海大学招投标科（地址：上海市延长路 149 号北大楼 105 室 279 信箱，邮编 200072）联系人：徐春生 电话：563334782. 开标时间：2009 年 12 月 29 日 14：303. 开标地址：上海市延长路 149 号北大楼会议室十二、评审费中标供应商需支付专家评审费 1500.00 元十三、评审结果通知组织专家评审，将评审结果通知所有参加本次活动的供应商（网上公示）注：本招标书的内容与要求的解释权归上海大学招投标科联系地址：上海市延长路 149 号北大楼 105 室邮编： 200072联系人： 曹 兰 电话：021-56333478徐春生 电话：021-56333478技术要求联系人：陈龙龙电话：56334402 13918006400 上海大学招投标科2009-12-15
