1、山东师范大学大学 实验四 压阻式压力传感器实验 了解扩散硅压阻式压力传感器的工作原理和工作情况 一 实验目的 二 基本原理 扩散硅压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应制成的器件 也就是在单晶硅的基片上用扩散工艺 或离子注入及溅射工艺 制成一定形状的应变元件 当它受到压力作用时 应变元件的电阻发生变化 从而使输出电压变化 三 实验所需部件 直流稳压电源 电压表 差动放大器 血压表 气压皮囊 扩散硅压阻式压力传感器 皮管 四 实验步骤 1 如图1将传感器及电路连好 注意接线正确 否则易损坏元器件 差放接成同相反相均可 2 如图2接好传感器供压回路 3 将加压皮囊上单向调节阀的锁紧螺丝拧松 4 开
2、启主 副电源 调整差放零位旋钮 使电压表指示尽可能为零 记下此时电压表读数 5 拧紧皮囊上单向调节阀的锁紧螺丝 轻按加压皮囊 当气压表示值约为0 4kp 且电压表有压力指示时 记下此时的读数 然后每隔这一气压差 读一次数 并将数据填入下表中 根据所得的结果计算系统灵敏度S V P 并作出V P关系曲线 找出线性区域 作为气压计使用 进行标定 标定方法 拧松皮囊上的锁紧螺丝 调差放调零旋钮使电压表的读数为零 拧紧锁紧螺丝 手压皮囊使气压较大 调差动放大器的增益使电压表的指示与气压表读数一致 这样重复操作零位 增益 调试几次到满意为止 注意事项 1 如在实验中气压表读数不稳定 应检查加压气体回路是否有漏气现象 气囊上单向调节阀的锁紧螺丝是否拧紧 2 如读数误差较大 应检查气管是否有折压现象 造成传感器与气压表的供气压力不均匀 3 如觉得差动放大器增益不理想 可调整其 增益 旋钮 不过此时应重新调整零位 调好以后在整个实验过程中不得再改变其位置 4 实验完毕必须关闭主 副电源后再拆去实验连接线 拆去实验连接线时要注意手要拿住连接线头部拉起 以免拉断实验连接线 思考题 1 差压传感器是否可用作真空度以及负压测试
