壓電驅動超精密定位平台,指導教授:黃世疇 教授 學 生:陳浴祥,國 立 高 雄 用 應 科 技 大 學,精密定位的等級,精密定位是0.11m的精度 超精密定位是0.0010.1m的精度,背景,早期:顯微鏡(STM, AFM, )近期:高科技產業(半導體、光電、 精密量測檥器),本文是設計一個單層的撓性結構，完成能夠做XYz三自由度的精密定位平台。利用撓性鉸鏈為基礎的撓性結構配合積層式壓電致動器，通入電壓的大小使壓電材伸縮，以達到施力的目的，驅使結構產生精密微小變形(也就是材料的滑移現象)，進而到達奈米級的5nm位移解析度。,致動器,壓電致動器(PZT)的優點,具有奈米級的解析度，響應頻寬可達到千赫等級，它擁有耗電量少、無雜訊、體積小、反應快、發熱少、精密度佳、轉換效率高和控制容易以及有足夠的剛性、系統結構簡單、無電磁干擾、等多方面的優點 。,更高精密度單層結構實現更多自由度更長行程微小化(不站空間),設計方針,撓性鉸鏈,撓性鉸鏈具有無餘隙、不需潤滑、沒有摩擦的優點，唯一消耗能量的地方是最薄處變形時分子的內摩擦力所造成。,旋轉平台,結論,微定位系統之研究已行之有年，在精密工程應用日益廣泛的今天，微定位系統之研發越形重要，而且朝更高精密度、更大行程與多自由度的方向發展。,
