超净扩散方阻异常分析,摘 要,方阻的影响因素a.排废b.温度、时间c.气体流量方阻偏高a.整组偏高b.单点偏高方阻偏低a.整组偏低b.单点偏低方阻不稳定a.扩散不均匀b.均值不均匀,排废 排废的变化对管内温度、气流、杂质源均有影响，但主要影响杂质源浓度。 排废过大：管内杂质源浓度降低，硅片P扩散不充分，方阻偏高，且气流速度加 快，片内均匀性较差； 排废过小：管内杂质源浓度相对偏高，P扩散过饱和，方阻偏低。 温度、时间 温度时间共同决定着结深，温度越高，扩散时间越长，反应更剧烈，硅片对P的吸收加强，P往内部的推结也越深，方阻越低。D为扩散系数，Do为本征扩散系数，Ko为波尔兹曼常数，T为绝对温度；Xj为结深，A为常数。,气体未能通入炉管内反应,管内反应的小氮偏小,杂质源未能通入炉管反应,液位以上源温度低影响小氮携带,小氮携带的源浓度偏低,PS：大氮对方阻的影响暂时不确定需实验来验证,END THANKS,
