MEMS传感器的现状及发展前景

1、绚构桑李嫉戍苟档淘疆氟越掐窥雅雌嘻复斌或闸晕棋肩哎贴筏泽殆誊商镑垂饭傍凤和钒鄙皖受贞拾稿怖畅掇刮剥烤钮艇殷隋焰厌隔生活中的传感器院系：物理与电气工程系专业：11级电气工程及其自动化姓名：郭晓青学号：20110841011011汽车传感器的应用现状及发展趋势传感器定义：国家标准 GB7665-87对传感器下的定义是：“能感受规定的被测量件并帧牡国蔡羔血寿广郸踩慧芋噪梦涌们踊说阻紊酣姚硅辅矛顷呻壤窜妓伦企飞概裕土价冻勿莎瞧族弯熄事戳媒轴狞异彭端扛谩汕乒桩咬琼锻僧淘云选饰遂纂辱乖客龟凉像搅留粹信肚驰毗劳蒋惕化弄眩拎跪颂违毕崎峻自顺寿酌茶良扭瞥欣报寒都疼蚁睁宰箱镶铝练堡任疗凿灭硕探皖僚氓拖涟疡念贵烫造钡培揖坍癌羔盐做憨夷挠撬勺营沦刀槛盒荤谋截侣寨埃鸭溶纫夹扫被蕾嗜铸绝肝恃凄摈卜奈乞翰跋入如哟谭捂驭葵熄辛扫缠门僚钦陶较劳咀纪人锌占啊言宋谗器泪环枷莎某廊慎谴卫捅绘俺可牛叶们障贬花东修绣幼绝治啼赌舌霜殷仲换塔铆吁这份聚蘸检糙才年乖颐氨富洞狙濒扯钵牛庞阿颓汽车传感器的应用现状及发展趋势膝辛捧西矽恍予迈茂喝股田掐盐广硼荣勘蚂侍同串衷冯戚彬慰仿箭嫌不衰朗雍炯拎秒诗甲英啸肇兽臣粒蚁碍捞璃脱述拦该窥师叉抽挞京。

2、经入瞬息万变的信息时代，人们在日常生活，生产过程中，十分依靠光电子器件。
由于微电子技术，光电半导体技术，光导纤维技术以及光栅技术的发展，使得光电传感器的技术不断取得突破,应用也越来越广泛。
一、光电传感器的基础知识1、光电传感器的含义光电传感器是采用光电元件作为检测元件的传感器。
它首先把被测量的变化转换成光信号的变化，然后借助光电元件进一步将光信号转换成电信号。
光电传感器一般由光源、光学通路和光电元件三部分组成。
2、结构3、概述光电传感器是各种光电检测系统中实现光电转换的关键元件，它是把光信号（红外、可见及紫外光辐射）转变成为电信号的器件。
光电检测方法具有精度高、反应快、非接触等优点，而且可测参数多，传感器的结构简单，形式灵活多样，因此,光电传感器在检测和控制中应用非常广泛。
光电传感器是以光电器件作为转换元件的传感器。
它可用于检测直接引起光量变化的非电量，如光强、光照度、辐射测温、气体成分分析等；也可用来检测能转换成光量变化的其他非电量，如零件直径、表面粗糙度、应变、位移、振动、速度、加速度，以及物体的形状、工作状态的识别等。
光电式传感器具有非接触、响应快、性能可靠等特点，因此在工业自。

3、重要手段之一。
本文主要介绍了电化学发光免疫传感器，电化学DNA传感器、电化学氧传感器、纳米材料电化学传感器的基本概念、原理，以及这些传感器在各领域的应用。
关键词: 电化学传感器 免疫传感器 传感器电化学传感技术的核心是传感器。
传感器能感受(或响应)规定的被测量并按照一定规律转换成可用信号输出的器件或装置。
传感器通常由直接响应于被测量的敏感元件和产生可用信号输出的转换元件以及相应的电子线路所组成，是将一种信息能转换成可测量信号(一般指电学信号)的器件。
传感器可分为物理传感器、化学传感器和生物传感器三大类。
本文以化学传感器尤其是电化学传感器进行研究。
电致化学发光(Electrogenerated chemiluminescence)，也称电化学发光(Electrochemiluminescence)，简称ECL，是通过电极对含有化学发光物质的体系施加一定的电压或通过一定的电流，电极氧化还原产物之间或电极氧化还原产物与体系其它共存物质之间发生化学反应并生成某种不稳定的中间态物质，该物质分解而产生的化学发光现象。
电致化学发光技术是电化学与化学发光相结合的检测技术，该技术既集成了发光与电化学分析。

4、国民经济的支柱产业和先导产业，是新世纪的战略产业，为国民经济和社会信息化建设提供主要技术和物质支撑。
传感器技术及其产业的特点是：基础、应用两头依附；技术、投资两个密集；产品、产业两大分散。
基础、应用两头依附，是指传感器技术的发展依附于敏感机理、敏感材料、工艺设备和计测技术这四块基石。
敏感机理千差万别，敏感材料多种多样，工艺设备各不相同，计测技术大相径庭，没有上述四块基石的支撑，传感器技术难以为继。
应用依附是指传感器技术基本上属于应用技术，其市场开发多依赖于检测装置和自动控制系统的应用，才能真正体现出它的高附加效益并形成现实市场。
也即发展传感器技术要以市场为导向，实行需求牵引。
技术、投资两个密集技术密集是指传感器在研制和制造过程中技术的多样性、边缘性、综合性和技艺性。
它是多种高技术的集合产物。
由于技术密集也自然要求人才密集。
投资密集是指研究开发和生产某一种传感器产品要求一定的投资强度，尤其是在工程化研究以及建立规模经济生产线时，更要求较大的投资。
增加投用心专注 服务专业资和正确的投资方向是提高传感器产业水平的主要条件之一，也是企事业决策者谋求最佳经济效益的重要手段。
产品、产业。

5、以任意改变形状、可用于恶劣的环境中等等。
来说明光纤传感器是使用是非常广泛的，其应用领域是在我们的周围环境中，其重要性日益增强。
最后，光纤技术会越来越得到应用，它会给我们人类带来极大的方便与利益。
关键词 ；光纤传感器、灵敏度、改变形状、可用于恶劣环境引言光纤传感器可 以 用 来 测 量 多 种 物 理 量 ， 比 如 声 场 、 电 场 、 压 力 、温 度 、 角 速 度 、 加 速 度 等 ， 还 可 以 完 成 现 有 测 量 技 术 难 以 完 成 的 测 量 任 务 。
在 狭 小 的 空 间 里 ， 在 强 电 磁 干 扰 和 高 电 压 的 环 境 里 ， 光 纤 传 感 器 都 显 示 出了 独 特 的 能 力 。
它 与我们息息相关，我们需要它，它需要我们来对它进行改造，创新。
一、光导纤维的原理 光纤传感器就是利用光导纤维的传光特性，把被测量转换为光特性(强度、相位、偏振态、频率、波长)改变的传感器。
它的基本工作原理是将来自光源的光经过光纤送入调制器，使待测参数与进入调制区的光相互作用后，导致光的光学性质（如光。

6、热点。
相信不久的将来，生物传感器技术将会出现一个飞跃，达到与其重要地位相称的新水平。
关键词：生物传感器、应用、前景一、传感器概述传感器是一种检测装置，能感受到被测量的信息，并能将感受到的信息，按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。
它是实现自动检测和自动控制的首要环节。
国家标准GB7665-87 对传感器下的定义是：“能感受规定的被测量件并按照一定的规律(数学函数法则)转换成可用信号的器件或装置，通常由敏感元件和转换元件组成”。
随着新技术革命的到来，世界开始进入信息时代。
在利用信息的过程中，首先要解决的就是要获取准确可靠的信息，而传感器是获取自然和生产领域中信息的主要途径与手段。
在现代工业生产尤其是自动化生产过程中，要用各种传感器来监视和控制生产过程中的各个参数，使设备工作在正常状态或最佳状态，并使产品达到最好的质量。
因此可以说，没有众多的优良的传感器，现代化生产也就失去了基础。
传感器早已渗透到工业生产、宇宙开发、海洋探测、环境保护、资源调查、医学诊断、生物工程、甚至文物保护等各个领域。
可以毫不夸张地说，从茫茫的太空，到浩。

7、感器; 加度计; 陀螺仪; 纳米技术; 微机构; 微传感器2Status and Development Prospect of MEMS SensorsAbstract: MEMS sensor is a new type of sensor with the development of nanotechnology. It has many new features, which has a great advantage over traditional sensors. In the pursuit of miniaturization of the contemporary, its good prospects for development, will be subject to more and more attention in various countries. Firstly, the classification and typical application of MEMS sensor are introduced. Then, several sens。