1、1,QIHANG上海企航科技咨询有限公司,2,ESD控制方案认证检验 检测技术,主讲：刘长雄,QIHANG上海企航科技咨询有限公司,3,一、认证检验计划要求,4,文件化的质量管理体系架构,质量手册,程序文件,作业标准、检查标准,质量记录、作业记录,质量方针、目标,文件化的管理体系,写做记说一致,ESD控制方案,方案计划 、验证计划、其它作业指导书,验证记录、作业记录,ESD S20.20标准要求,ISO9001标准要求,5,1、静电放电控制方案计划,目的：本标准的目的是提供行政和技术上的要求，以及建立，实施和维护静电放电的控制方案(文中称“方案”)。各单位应制定一个静电放电控制方案计划，将方案
2、中的每一个要求都一一列出。这些要求是： 培训 认证检验 接地及等电位相连系统 人员接地 静电放电保护区之要求 包装系统 标记 静电放电控制方案计划是实施和检验静电放电控制方案的首要文件。其目标是全面实施和整合一个与内部质量系统要求相符合的方案。该静电放电控制方案计划应适用于单位内部工作的各个方面。,6,2、认证检验计划,认证检验计划的建立，是要确保单位能够满足静电放电方案计划的要求。 认证检验计划应该明确要进行检验的技术要求，相关的测试范围及认证频率。根据此计划进行认证检验。认证检验计划还应规定，检测和测试方法及设备。如果单位采用的方法与本文件所列出的标准有差异，必须提供一个修改声明作为静电放
3、电控制方案计划的一部分存档。认证检验纪录应该被确认并保存，以便证明符合了静电放电控制方案中的技术要求。 所选择的测试设备应能够完成认证检验计划中定义的测量项目。,检查频率建议可根据稽查之历史据订定,7,3、合格检验与认证检验,标准中有哪些合格检验及认证检验参数要求？ 哪些物品哪些地方要认证检验？ 要用什么检验设备？ 用什么方法检验？,在静电放电控制产品和材料的初始选择的时候采用产品合格检验。 可采用的方法为：产品规范复查，独立实验室评估或内部实验室评估。,8,4、哪些物品要定期验证？,ESD TR53-01：2006-静电放电保护设备和材料之达标验证-建议下所述之静电放电防护品、材及设备等应定
4、期接受功能性验证检测： 接地/搭接系统 工作台面 手腕带 手腕带性能测试器 防静电鞋 地板材质 服装 座椅 移动式设备(手推) 包装 静电消除器 人员接地系统,设备定期保养、校准,9,5、ESD 物品检测频与方式,10,6 、 静电用品测试标准,11,7、ESDA认可的认证机构, DNV Certification, Inc. BSI, Inc. QMI, A Division of CSA Group National Quality Assurance, USA (NQA, USA) Lloyds Register Quality Assurance, Inc.(LRQA) TUV Ame
5、rica, Inc SGS SA PSB Certification BVQi (NA), Inc.,12,二、符合性验证技术,13,1、接地/搭接系统符合性验证,目的：确保EPA 工作站内所有之工作台面、固定式装置、手持式装置及人员接地装置等均应接至共同接地点(Common point ground；CPG)。共同接地点再接至ESD 接地/搭接考点。一般ESD 接地/搭接考点应为交电(AC)设备接地点。采用辅助接地时，应搭接至交电(AC)设备接地。 检测设备： (A)直奥姆计：可测范围应为 0.11M，精确应为10%。 (B) 交电插座分析器：指示设备接地导线是否存在。地线与中线、火线与中性
6、线、火线与接地线是否装置颠倒、设备接地线阻抗是否符合规范要求、 (C) 交电电测试器(阻抗计)：测设备接地导体自电源插座至主电源控制盘中性搭接点间之阻抗值，也具可检测接线正确性。 (D)条适当长之检测接导线。,现场CPG须标识出来,最好是AC地与静电地线分开,14,万用表/直奥姆计,电压档：量交流、直流电压值 电阻档：量接地、手环阻抗 插头与拉环间阻抗为1M10%,设备对CPG1.0欧姆,与防雷地线距离20M!,总接地10欧姆,15,断路器的使用,16,交流电插座分析器,左零右火上地是否正确 地、中线阻抗,交电插座分析器,交电电测试器(阻抗计),1.0欧姆,17,接地点对CPG1.0欧姆,18
7、,钳形接地电阻测试仪,测量原理：测量回路电阻，仪表的钳口部分由电压线圈及电流线圈组成。电压线圈提供激励信号，并在被测回路上感应一个电势E。在电势E的作用下将在被测回路产生电流I。仪表对E及I进行量测，并通过欧姆定理：R= E/I 测量范围：0.1-1000, 分辨率；0.01.,1.0欧姆,19,自动厂房静电接地系统监测器：,可同时并实时监测个作业员腕带和个工作枱面的ESD接地况 有独的安全警报声响告警装置 采用电阻回监控方式，准确而有效,连续式静电腕带及工作台监测器：,配有字显示操控面板及管锁 实时测接地系统之AC与DC阻抗 可实时监测并有声光警报，256组记忆装置，可接计算机印监测纪报告
8、可侦测ESD接地和AC接地是否混接,20,2、防静电手腕带接地实时监测器符合性验证,标准没有作要求,21,3、工作台面符合性验证,目的：确保ESD 防护工作台面、架子、抽屉、ESD 防护储存设备是否搭接至接地/搭接考点。电阻是否符合。 (1)检测设备：高阻表(MeggerMeter /High Resistance Ohmmeter) (A)测量范围:1103 1.9991013(至少要10次方以上，最大可测电阻11016) (B) 圆柱电极 ：符合ANSI/EOS/ESD4.1规定。重2.270.06kg、半径63.50.25mm 体积圆柱、导电接触材硬等级应为Shore A：50-70。1
9、0V 测试电压测属表面，电极间之电阻应小于1.0103。 (C) 直(DC)奥姆计：可测范围应为0.11M，精确应为10%。 (D)条适当长之检测接导线。,22,(2) 检测程序：,(A)验证前，勿即清洁 ESD 防护工作台面。 (B) 将所有 ESDS 从工作台面移除。 (C)工作台面上导电物品及具独接地的交电气设备仍维持接地。 (D)将一条检测导线一端接至电极，另一端接至整合性电阻测试器。 (E) 将另一条检测导线一端接至整合性电阻测试器，另一端接至接地考点。 (F) 将电极置于工作台面正中央，测试电压设定为10V，经一段适当之测试时间或待值稳定。 (G)指示电阻小于 1.0106，则再继
10、续测试。地面距离100CM 其它工作表面距离30CM，测试3-5次取平均. (H)指示电阻等于或大于 1.0106，则将测试电压改设定100V，再重新测试工作表面。 检测应包括 ESD 防护工作台上磨损处或具明显脏污处。,23,工作表面点对点阻抗测试,大于1.0x106，但应小于1.0x109 电压小于200V,测五次取平均。,24,工作表面点对点阻抗测试,大于1.0x106，但应小于1.0x109 电压小于200V,25,工作表面点对地阻抗测试,大于1.0x106，但应小于1.0x109 电压小于200V,测五次取平均,26,表面阻抗测试仪,将表放在被测表面上，按住红色的测量钮，持续发亮的发
11、光二极管（LED）指示出测量的表面阻抗量级。测五次取平均。,量程指示 103=1千欧姆 绿色LED 104=10千欧姆 绿色LED 105=100千欧姆 绿色LED 106=1兆欧姆 黄色LED 107=10兆欧姆 黄色LED 108=100兆欧姆 黄色LED 109=1000兆欧姆 黄色LED 1010=10000兆欧姆 黄色LED 1011=100000兆欧姆 黄色LED 1012=1000000兆欧姆 红色LED 1012=绝缘 红色LED,此表还可测量对地电阻,每十二个月需校准表面阻抗表,27,4、防静电手腕带符合性验证,检测设备： (A)整合性电阻()测试器：测范围至少为1.0101
12、0奥姆计，开测试电压为DC10V与100V(10%)。 (B) 手持式电极：锈钢圆柱棒、长75mm(3inches) 以上，直径25mm(1inches)、钢棒一端接香蕉插头或纹端子测试线。 (C) 一条适当长检测导线。,3.5107欧姆,0.8106欧姆- 1.2106欧姆,28,5、人体综合阻抗测试,检测设备： (A)整合性电阻( )测试器：测范围为5.0104 1.01010 奥姆计，开测试电压为DC 730V。 (B) 手持式电极：锈钢圆柱棒、长75mm(3inches)以上，直径25mm (1 inches)、钢棒一端接香蕉插头或纹端子导线。 (C) 足部电极：导电属板 305mm2
13、(12inches2)。 (D)条适当长之检测接导线。,3.5107欧姆,1.0109欧姆,29,6、静电鞋阻抗测量, 1 109 欧姆 100伏, 3.5 107欧姆,30,7、防静电移动式设备(手推) 符合性验证, 1 109 欧姆,31,8、防静电地板符合性验证,(1) 检测设备：-与工作表面测量一致 (A)整合性电阻()测试器：测范围至少为1.01010 之奥姆计，并且其开测试电压为DC10V与100V(10%) 。6次方以下用10V档。否则用100V档。 (B)圆柱电极：重2.270.06kg、半径63.50.25mm体积圆柱、导电接触材硬等级Shore A：50-70。当选用10V
14、 测试电压，测属表面时，其电极间之电阻应小于1.0103。 (C) 条适当长之检测接导线。,32,点对地测量,注意：地面距离100CM，其它30CM、测试5次取平均,1109欧姆,33,点对点测量,注意：地面距离100CM，其它30CM、测试5次取平均 46为导电地板，69为静电耗散地板,1109欧姆,34,9、防静电服装符合性验证,(1) 检测设备:一般为高阻仪 (A)整合性电阻()测试器：开测试电压为DC 100V(10%)，范围至少为1.01012。 (B) 圆柱电极：重为2.270.06kg、半径63.50.25mm 体积圆柱、导电接触材硬等级Shore A：50-70。 (C) 条适
15、当长之检测接导线。 (D)绝缘支撑板：平坦绝缘板，大小足以支撑进 ESD 材检测工作。符合ASTM D-257规定，绝缘板表面电阻应大于1.01013/sq。,35,静电工作服表面阻抗测试,防静电装服(袖口对袖口)符合性验证,可接地1109欧姆,普通静电服11011欧姆,系统电阻3.5107欧姆,新品反复摩擦20次静电电压小于100V,36,10、防静电座椅符合性验证,综合阻抗点对地,37,点对点, 1 109 欧姆,38,点对点测量, 1 109 欧姆,39,11、其它用品表面阻抗, 1 109 欧姆,40,12、静电消除器（离子风扇）符合性验证,检测设备： (A)充电板监测器(CPM：ch
16、arge plate moniter)：可携式验证工具组包括：电场计、可拆式(隔导电)平板、平板充电器及接地线等组件。 (B) 码表或其它适当测放电时间之工具。 (C) 测尺。,41,离子风机,产生原理：A、强电场的条件下空气电晕电离，产生正负离子；B、A射线和射线作用空气分子使之成为空气离子；C、高能射线（X射线）作用空气分让基电离 离子风机按形式分为:台式离子风机，卧式离子风机，悬挂式离子风机，微型离子风机 输入电压： 100VAC 50、60Hz,120VAC/60Hz,230VAC/50Hz 最大功率： 25W左右 离子平衡： 0+/-25V（有的设备是本能，无需调较） 消散速度： 由
17、1000V至100V小于1.5秒（最大风量） 覆盖范围： 30cm*150cm 显示： 亮-有高压电产生离子 显示报警： 测量仪内的感应器损坏 保养三步曲 清洁 检测 调较,STM3.1-2000,消散时间：用户自定 残留电压50伏特,42,检测程序,放电时间(衰减时间)试验： (a) 启动检测设备，并依照制造商建议予以设备置于稳定态。 (b) 将检测平板短暂性接地，并设定(或验证)为电压值。 (c) 请勿于子化气场内，将可携式验证仪器进归(或进充电)动作。 (d) 将检测平板充电至超过各电极初始检测电压之适当伏特(如12001500V)。 (e) 将检测板面向静电消除风扇的气方向。 (f)
18、放电时间测始于检测板电压衰减至初始测试电压(如1000V)时，并停止于检测板电压衰减至最终测试电压(如100V)。 (g) 针对另一电极重复上述程序。 (h) 记各电极放电时间(秒)。残余电压(offset voltage)(剩余子)试验： (a) 启动检测设备，并依照制造商建议予以设备置于稳定态。 (b) 将检测平板短暂性接地，并设定(或验证)为电压值。 (c) 请勿于子化气场内，将可携式验证仪器进归(或进充电)动作。 (d) 将检测板面向静电消除风扇的气方向。 (e) 等待使用者规范之时间。 (f) 纪检测板上之残余电压(offset voltage)(或剩余子)。,43,带电平板监测仪(
19、Charge Plate Monitor),离子平衡电压、静电消散时间、人体静电压、防静电材料性能等测量-ANSI EOS/ESD S3.1 监测空气离子平衡 监测电荷从固定电压点到需要终结点(通常为原始电量的10）的衰减速度.,44,立式离子风机测量,消散时间：用户自定 残留电压50伏特,45,悬挂式离子风机测量,46,13、防静电包装材之符合性验证,ANSI/ESD S541 ESDS 物品之包装材 定期检测程序,建议：反正摩擦后电压少于100V,47,静电防护材料分类及测量,48,三 其它设备的使用及测量,49,1、静电场表(Field Meter)(静电电压表),有效检测ESD工作场所
20、设备，工作台面，工具的带静电电荷。 电场测量范围 +/-20Kv * 2 LED确定 标准测距:25mm+/-1mm ESDSTM3.1-2000 lonization 标准 可配离子平衡测量板（+/-200V） 精 度:低范围精度为：正负0.1kv ；高范围精度为：正负1kv 静电场可测:+/-(0.00-20.0kV)（自动显示调整）,50,2、温/湿度计,测量范围：室内温度（-3050）湿度（20%99%）,EPA区相对湿度30%-70%，,51,3、静电电荷量测量,测量器件上的静电荷 1.将器件放入法拉第罩,记录读数A 2.将器件移出法拉第罩,记录读数B 移动电荷=B, 稳定电荷=A-B,52,铁尖端部位与接地点之间电阻值，通电热态下时电阻值应小于2.0(或电压低于2mV)； 未通电态下时，电阻值应小于2.0。铁尖端电压测及消散电测试时，所测得之尖端电压应小于AC/DC 20 mV，消散电应小于10 mA。 每日或定期检测消散电及电阻值，以确保尖端电压应小于20 mV。,4、电烙铁,53,5、手持工具,防静电手持工具之电阻测试方法。标准建议电阻值应为小于109电池驱动式或气动式手持工具电阻值应小于1.01012。,54,6、自动取放设备AHE （ESD SP10.1）,自行制订认证检验规定, 100伏,55,7、ESD电脑监视系统,56,
