1、浙 江 昱 辉 阳 光 能 源 有 限 公 司 文 件 编 号 ： Q03-JS-53版 本 号 ： A/0 页 码 ： 第 1 页 共 3 页硅 片 检 验 工 艺 流 程 生 效 日 期 ： 2007 年 10 月 1 日流 程 工 作 要 求切片车间送检核对数据作业员如实填写追踪单（晶体追踪单） ，完整详细记录晶体长度、手册号（来料加工） 、理论/实际出片数、切片机号、槽距、切片、清洗的作业员姓名，碎/废片数以及其它异常情况等；并将经清洗甩干的硅片按照从晶棒头到尾的顺序依次摆放在洁净台上，由窗口送入洁净房进行送检，严禁将不同编号或不同手册号的硅片进行混放。QC 必须着装工作服，戴上洁净手
2、套和口罩。核对晶棒编号和清点送检片数。注意事项：晶棒编号、长度、重量是否写错。 （发现及时反馈）物理尺寸/性能检验 QC 使用校正好的数显卡尺、厚度测试仪、极性仪、电阻 率测试仪等检测设备，并依物理尺寸性能检验标准，送交检验的硅片随机抽取总数的 2%的样片。注意事项：如尺寸、厚度、电阻率不在接收范围内就必须全检，并做好相关记录，及时反馈。浙 江 昱 辉 阳 光 能 源 有 限 公 司 文 件 编 号 ： Q03-JS-53版 本 号 ： A/0 页 码 ： 第 2 页 共 3 页硅 片 检 验 工 艺 流 程生 效 日 期 ： 2007 年 10 月 1 日外观检验 QC 根据外观检验标准或实
3、物样本以及客户要求对送交检验的全部硅片逐件进行外观检验。将诸如 A 级片、应力、线痕、崩边、污片、硅落、边缘等外观有缺陷的硅片并明确标识其编号、电阻率、厚度，并分类定位放置，对正棒发现 20%以上污片退回生产返工。注意事项：判定要统一，避免出错。抽检 由班长进行抽检，在包装台前随机抽检，不良问题及时追踪返工。包装 包装包括：硅片等级、电阻率、厚度的区分，分别 100 片 1 包，3 包 1 盒，6 盒 1 箱。用胶带将包装盒封好并在盒子上方贴上标签，标签上须标明晶体编号、片数、厚度、电阻率、等级、检验员、检验日期、外观等情况，并加盖检验章，作好相关记录。注意事项：编号不能出错，QC 章要盖正，
4、收缩袋不能烤破并且收缩均匀，堆箱不能超过 5 层。浙 江 昱 辉 阳 光 能 源 有 限 公 司 文 件 编 号 ： Q03-JS-53版 本 号 ： A/0 页 码 ： 第 3 页 共 3 页硅 片 检 验 工 艺 流 程生 效 日 期 ： 2007 年 10 月 1 日批 准 ： 审 核 ： 编 制 ：修 改 履 历页 码 内 容 状 态 备 注出厂检验 由品管部出厂检验员抽检，根据 GB/T2828.1-2003/ISO 方案来抽检、判定是否合格，合格批出货，不合格退回返工。注意事项:发现异常 ，进行追诉成品入库 每天及时入库，并填写好入库申请单。核对数据，并审核、确认从仓库返回的入库单，最终将入库单交给统计做好台帐。
