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太阳能光伏简化工艺 晶硅&薄膜.doc

上传人:gnk289057 文档编号:8723819 上传时间:2019-07-09 格式:DOC 页数:3 大小:225KB
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太阳能光伏的生产工艺流程主要有两类:晶硅太阳能电池和非晶硅薄膜太阳能电池(国内主要以晶硅太阳能电池为主)下面是具体的工艺流程一晶体硅太阳电池的工艺流程流程图:从图中可看出晶体硅太阳电池的制备要经过4 个工艺流程,他们分别是:(1) 硅材料提纯工艺太阳能级硅材料的提纯:一般使用改良西门子法,在这个工艺中先要将冶金级硅氢氯化形成三氯氢硅,在利用分流馏技术将其提纯,再在热反应其中反应,在1100C 沉积在仔晶上。而尾气中含有大量的四氯化硅,还要加氢循环利用。(2) 硅片制备工艺硅片制备包括硅锭制备与切片两个环节,硅锭的制备又分 CZ 法拉单晶硅和浇铸制备多晶硅。在硅锭制备出来以后又要切锭、滚圆、切方、切片、清洗。3 太阳电池制备工艺4 太阳电池封装工艺二非晶硅薄膜电池的工艺流程晶硅/非晶硅 具体工艺步骤简化对比:晶硅 非晶硅氢氯化工艺 氢氯化工艺分馏工艺 分馏工艺热解(1100C)尾气回收 尾气回收浇铸(1400C )切片3次清洗(RCA) 1(玻璃清洗)CVD沉积TCO膜扩散((850C)PECVD (450C) PECVD (350C)磁控溅射丝网印刷 激光切割(3次)PECVD去边 喷沙去边烘干(X3:200C)烧结(200800C) 老化(180C)分选焊接 汇流焊接层压(150C) 层压(150C)测试 测试

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