1、靜 電 知 識 及 靜 電 防 護 基 楚,Prepared By: Donni Hu,目 錄靜電知識靜電的概念靜電產生的物理過程靜電產生的物理效應靜電對半導體元件的不良影響 電子廠典型靜電源靜電防護基楚靜電控制原理防靜電用品(裝備)及其使用,靜電的概念,靜電是電荷的產生與消失過程中產生的 電 現 象 的 總 稱,特 點 高電位 低電量 小電流 作用時間短 復現性差 瞬間現象多 受濕度影響較大,靜電產生的物理過程,接 觸,電荷轉移,偶電層形成,電荷分離,靜電 產生的方式接 觸 摩 擦 沖 流 冷 凍 電 解 壓 電 溫 差 .,靜電產生,靜電產生的物理效應,力學效應(靜電吸附)放電效應(ESD
2、)放電感應效應(靜電感應),靜電對半導體元件的不良影響(一),靜,吸,附,電,靜電粒子,塵埃粒子,靜電吸附使IC等半導體制程良率受到影響,同時為了防止靜電吸附工廠對於制程空氣的潔淨投入極大成本,靜電對半導體元件的不良影響(二),靜電放電(ESD)引起器件擊穿,接觸-分離,摩擦,感應致人體/設備等產生並釋放靜電荷,芯片局部被形成硬擊穿或軟擊穿,靜電對半導體元件的不良影響(三),靜電感應之靜電源使半導體蕊線,工具,包裝容器等產生較高靜電壓,會對半導體蕊片介質放電,芯片局部被形成硬擊穿或軟擊穿,容器等上感應靜電形成靜電壓,電,靜電對半導體元件的不良影響(四),1,0,1,0,靜電放電時產生的電磁脈沖
3、信號,計算機正常工作時電平信號,受幹攏后計算機產生翻轉信號,靜電放電時產生的電磁脈沖 可使計算機產生誤動作,強能量脈沖,可使靜電敏感器件破壞,電子廠典型靜電源,人體靜電源,步 行 起 電 摩 擦 起 電 靜 電 感 應 起 電,人體靜電,產生原因,人體對地的電阻 不同布料制成的服裝和濕度關系 人體電容,影響人體,帶電因素,電子廠典型靜電源,電子裝配生產中的靜電源(1),工作服: 同外物摩擦可產生6000V以上的靜電電壓並使人體電,從而通過人體放電使器件電介質擊穿. 工作鞋: 達1013 OHM以上的一般工作鞋同地面摩擦產生的靜電傳致人體及衣服,使人體靜電不能快速泄漏從而對元器件產生不良影響.
4、樹脂、浸漆封裝表面:該類物件包裝后,於運輸過程中同外物摩擦,在其表面可產生幾百伏以上的靜電電壓,造成器件產生不良影響.,電子廠典型靜電源,電子裝配生產中的靜電源(2),各種包裝容器: 用PE、PP 、PS 、PVC 、PUR等高分子材料制備備的包裝及元件盒其摩擦靜電壓可達1.53.5 KV. 終端台、工作台: 表面摩擦靜電,可對放置其上的電子器件放電. 各種絕緣地面: 易產生摩擦靜電,同時也不利於靜電泄漏. 溫箱: 熱循環空氣同箱體摩擦產生靜電,對器件熱烘處理不利. 空氣壓縮機: 空氣的劇列流動或介質與噴嘴摩擦產生靜電可損壞電子器件. 某些電子生產設備: 焊烙鐵,波峰焊機等某些元件裝配設備可因
5、其本身的電流/電壓變化感應靜電電壓而損壞電子器件.,靜電控制原理,靜電泄漏與耗散 靜電中和 靜電屏蔽與接地 增濕,:,防靜電用品(裝備)及其使用(1),人體靜電防護系統,防靜電手腕帶防靜電工作服防靜電工作鞋、襪防靜電工作帽、手(指),防靜電用品(裝備)及其使用(2),防靜電地坪系統,通常防靜電地坪電阻應設定在105108 OHM范圍內,防靜電橡膠板地面 防靜電塑料地板 防靜電地毯 防靜電活動地板 防靜電瀝青砂漿地坪 水泥類防靜電地坪,:,防靜電用品(裝備)及其使用(3),防靜電操作系統,防靜電台墊 防靜電塑料包裝袋 防靜電硬塑料容器 防靜電包裝盒、條、管 防靜電周轉小推車 防靜電維修包 防靜電工具 防靜電工作椅(凳) 其它防靜電用品(毛刷/海綿/支架/),:,
