1、扫描电镜开机操作规程1. 打开配电盘主电源开关。2. 开冷却循环水。3. 转动电源钥匙从 OFFON START。4. PC 进入 WINDOWS XP 登录界面后按回车键，启动操作系统。5. SEM 软件自动启动后屏幕上出现：. 点击 OK 即进入 SEM 操作界面（无密码） 。扫描电镜观察步骤1 加高压 HV。2 信号选择（H-SEM 模式 SE/BSE；N-SEM 模式 BSE） 。3 扫描速度选择在 TV 模式。4 放大倍率调到最小。5 焦距粗调整。6 选择样品观察区域。7 扫描速度选择在 REDUSE 模式。8 放大倍率调整。9 焦距细调整。10 象散调整。user name：PCS
2、EMpassword：11 重复 8、9、10 直到图像清楚。12 倍率调整到需要倍率；扫描速度选择在 SLOW4 模式。13 自动 ABC 调整。14 图像保存。15 关掉高压。扫描电镜关机操作规程1. 确认 HV 关闭。2. 点击 SEM 操作界面右上角关闭 SEM 操作系统。3. 点击 start 视窗选择 Shut down the computer 后点 YES，此时屏幕上出现 It is now safe to turn off your computer信息。4. 关闭 DISPLAY POWER。5. 确认 EVAC 处于 HIGH 状态（绿灯亮） 。6. 确认样品台五轴回位。7. 关闭 EVAC POWER。8. 等待 25 分钟后关闭冷却循环水。9. 关闭配电盘上主电源开关。
