1、KYKY2800B 扫描电镜操作规程 一、开机操作1、 接通水源后开总电源2、 将真空后板的自动/手动开关打到自动3、 开机械泵、压缩机4、 开真空电源 vacuum power,并按一下准备开关 stand by,准备灯亮5、 待 30 分钟后,按一下准备开关,灯灭。6、 6-30 分钟以后才可看像二、观察图像1、 开电脑电源,打开电镜操作软件2、 开电器柜电源,放大倍数显示 149,off3、 拉开 V1,听到卡嗒声4、 调节亮度5、 调节对比度在 130-1506、 逐步加高压至 20-25KV7、 加灯丝电压至 6-7V 左右,束流表读数在 80-90 左右8、 调聚光镜,使束斑尺寸在
2、 512-6009、 调工作距离在 11-1210、调放大倍数、电对中,消除像散,选择扫描区域等三、关机操作1、 关灯丝电压至 02、 关高压至 off3、 关对比度至 04、 关 V15、 按一下准备开关,灯亮6、 将真空后板的自动/手动开关打到手动7、 过半小时关电源,按下准备开关,关机械泵,切断总电源,关水四、电镜操作注意事项1、 开、关机必须有 30 分钟准备过程,开机前先开水,关机后再关水,中途不能断水2、 加高压步距要小,加灯丝偏压不能过饱和,以保护灯丝3、 真空度未达要求前 V1 决不能打开4、 真空控制方式从手动转自动时,要特别注意每个手动阀门须为关闭状态5、 在未进入高真空之前,决不能接通探测器高压、电子枪高压及灯丝电压6、 不要在关控制台电源的同时,立刻放气到样品室和电子枪,以免损坏灯丝和闪烁体7、 镜筒部分未放气,不能拔掉光栏杆8、在关控制台电源之前,一定要先关上 V1,否则会损坏显象管