1、PECVD 工序员日常工作职责一、 交接班项目、设备工夹具点检 交接班检查工夹具（承载盒、真空吸笔、石墨框、计算器）数量无缺少、无损坏可正常使用。 交接检查在制品数量、质量，异常及时向工序长反馈。 交接确认岗位表单填写完整、正确、清晰，有变动及时询问和向工序长反馈。 交接设备运行的必要条件是否正常（如真空、压缩空气、冷却水） 。 交接设备运行参数有无更改，有更改要及时确认和向工序长汇报。 交接设备运行状态，未及时、彻底维修的设备故障要及时报修。 交接工艺运行情况，工艺参数变动，书面口头交接准确。 交接发生的质量异常，以及解决措施和注意事项，书面口头交接详细。 交接岗位 6S 状况，有问题立即处
2、理。 交接公司和部门的新规定和通知。 二、 产品生产加工、质量维持和改善、工艺卫生 迅速按要求佩戴劳保用品及时投入正常生产。 生产开始前做好本岗位 6S，并持续保持。从传递窗拿取硅片时，要轻拿轻放，必须双手拿稳，双手拿两盒。 检查设备运行状态处于自动状态，试投一框硅片确认镀膜效果稳定后准备开始投片,镀膜异常及时通知工序长处理。 生产过程中，目测抽检每盒硅片表面状况，发现表面不良要挑出返工如（滚轮印、吸盘印、手指印、边缘发黄） 。发现硅片边缘硅晶脱落时要挑出集中流入下道工序。 投片过程中注意控制放片速度和力度，硅片放到工艺点上要做到无声操作，放片后要检查硅片放到位后再进行下一框上料。 每框下料要
3、抽检 6 片硅片表面镀膜质量，镀膜后硅片呈均匀的深蓝色，镀膜颜色异常出现异常要立即通知工序长处理，如（发红、发黄、发白、整片色差大） 。 上料、下料每 400 片一张流程卡，上下料产生的返工片、碎片要及时记录，流入下道工序硅片实物要与流程卡填写数量一致。 生产过程中时刻巡查机器运行状态，确认石墨框是否出现裂痕，石墨条是否有断裂的情况，发现以上异常立即通知工序长一同处理。 下料人员时刻关注工艺仓石墨框出仓时的碎片情况，有碎片出现要及时向上料人员反馈，并分析原因采取预防措施。自己不能分析的碎片原因及时向工序长报告。 工作中时刻保持良好的工作状态，加强自我管理、严格遵守劳动纪律。不准追逐、嘻戏、打闹
4、、大声喧哗、睡觉、靠在机器上。 正确填写生产表单，做到字迹工整、填写完整、数据准确、传递及时。 准确统计当班生产产量和报废率，及时填写看板，并及时向上级准确汇报。 生产过程中严格执行并保持工艺卫生（如不准赤手接触硅片、不准不戴口罩面对产品说话、用脏的手套及时更换、上下料吸盘隔两小时擦拭一次、上下料台上的灰尘每班生产前擦干净、机器上下料台出口碎片要及时清理。 ）三、 工作分配、团队合作 服从直接上级 PE 工序长的工作安排，及时汇报工作情况。 帮助新员工学会岗位日常操作、与组员保持良好沟通和合作。 了解上道工序的岗位知识，做到能正确判别上道流入上道工序流入硅片的质量是否合格，能及时处理下道工序反馈的质量异常。 对 PE 的生产结果负责，对自身的工作失误负责。 严格遵守公司和部门的各项规章制度，严于律己。四、 设备使用、设备保养 熟悉清洗 PECVD 设备的工作原理和主要结构、熟知 PECVD 设备突发故障应急处理办法如（断电、断气、卡框等） 。 能正确使用 PECVD 设备，熟知 PECVD 设备按钮功能.熟练掌握 PECVD 设备安全使用注意事项。 懂得处理简单的 PECVD 设备故障和更换简单的设备零部件（如换石墨条，换石英管等） ，懂得石墨框的正常清理。 熟练掌握 PECVD 设备日常和月度维护项目和内容.
