平面阴极盖板方案阴极盖板中包含有：PLC 面板，流量计面板，航空插头，工业插头。PLC 面板中含有：端子排，线槽，断路器（或熔断器） ，PLC，开关电源，继电器单元。流量计面板含有：流量计，电磁阀，分气块，手动阀。航空插头用于 PLC 之间的通讯转接，工业插头用于提供整个阴极盖板的控制单元部分的电源。PLC 安装位置：PLC 在安装时要考虑时候有强干扰并且远离有溅撒到水的可能；在考虑到安装接线时方便接线和检查故障，建议 PLC 面板采用端子排中转连接。并且端子排安装于面板顶部。流量计面板：流量计建议安装时采用倒装，有以下几点：1、流量计面板面板出气口部分不会经常拆卸；2、流量计面板出气口到盖板进气口距离最近；3、流量计面板接入口移动到侧面，以方便在盖内进行拆装。旋转阴极具体配置及占用点数一、流量计面板，请参见下图包含 6 个电磁阀，8 个流量计，2 个分气块，6 个手动阀。名称 功能及作用 占用点数 备注电磁阀 气体控制 6 个开关量DP 控制 1 个 DP 模块流量计模拟量控制，设定及反馈 8 个 AD 和 8 个 DA 两种方式中选择一种。
