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平面阴极盖板方案.docx

平面阴极盖板方案阴极盖板中包含有:PLC 面板,流量计面板,航空插头,工业插头。PLC 面板中含有:端子排,线槽,断路器(或熔断器) ,PLC,开关电源,继电器单元。流量计面板含有:流量计,电磁阀,分气块,手动阀。航空插头用于 PLC 之间的通讯转接,工业插头用于提供整个阴极盖板的控制单元部分的电源。PLC 安装位置:PLC 在安装时要考虑时候有强干扰并且远离有溅撒到水的可能;在考虑到安装接线时方便接线和检查故障,建议 PLC 面板采用端子排中转连接。并且端子排安装于面板顶部。流量计面板:流量计建议安装时采用倒装,有以下几点:1、流量计面板面板出气口部分不会经常拆卸;2、流量计面板出气口到盖板进气口距离最近;3、流量计面板接入口移动到侧面,以方便在盖内进行拆装。旋转阴极具体配置及占用点数一、流量计面板,请参见下图包含 6 个电磁阀,8 个流量计,2 个分气块,6 个手动阀。名称 功能及作用 占用点数 备注电磁阀 气体控制 6 个开关量DP 控制 1 个 DP 模块流量计模拟量控制,设定及反馈 8 个 AD 和 8 个 DA 两种方式中选择一种。

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