1、,目录,2004.11.22,换型准备事项 M/C作业顺序 品质确认,#1#3和#9#10Line POL M/C MANUAL,POL Model Change Manual (Return),1. 确认将要换型的资材与Dummy Panel准备情况。2.准备微细线抹布与IPA(乙丙醇)。3.在型号选择画面上，预先确认一下您将要换型的型号设定在几号代码里面。4. 从清洗机Panel一投入完毕，就在上板触摸屏的Main画面上按下Panel排出键，以防止下一个Panel的投入。5.确认设备内部已无良品Panel，同时i确认POL投入部将POL取出,- 换型准备作业 -,- 进行换型 -,一）To
2、uch Panel M/C 作业顺序1.将工作中的Panel全部排出完了后，就操作触摸屏的主画面停止设备,同时将设备各个unit恢复原点位置。2.在Main Menu 上按下 Model 登录按钮.3.Model 登录画面选择要进行M/C的Model NO.4.选择NO后，按下Data Read Key (Data Read Key ON 为止）*注意 : 一定要按住型号Data Read键。（如果按住型号Data Write键，就现有工作的型号的数据上覆盖成将要变更的编码， 这样原来的数据就会被删除。）,POL Model Change Manual,5. 在Model画面按下次画面，按Mo
3、del选择按钮6. 在Model选择画面选择要进行M/C的Model NO后，按下Main按钮返回Main Menu画面7.更换数据更换完了二）机构部分调整 1.POL移栽机吸附区域调整到规定的范围2.POL Align Table Stopper调整3.POL Set Table吸附区域调整4.Roller Gap以及Roller平行度调整5.Camera测定调整6.翻转机吸附区域调整到指定型号的规定范围7.CST位置调整到适合的大小,POL Model Change Manual,1.拿出向Buffer Cassette排出的Panel，用肉眼确认是否有Poll翘起、Gate部 Line,
4、刻痕。2. 用游标卡尺确认粘贴精度。2-1.粘贴精度以各型号速查表为基准确认。3. 如无异常就向OP通报，使他迅速清扫并投入Panel。4. 如发生Pol翘起、刻痕，就首先确认一下发生位置，然后确认是否仍发生在同样的位置，接着开始生产。 5. 如发生粘贴程度,、Line气泡，就调整不良发生部位，然后重新投入Dummy Panel，其次再确认。5-1.调整粘贴精度 :.确认POL定位部的Guide与 POL的设定状态。(应无多余部分).如Gate部的精度差大，就确认在粘贴POL中是否有被挤压的痕迹。.当调整数据时，对Source, 轴调整Align Table的Panel排出位置，对Gate部调
5、整Panel吸附Stage的 POL粘贴开始位置。.调整数据的计算是；首先测定Gate为基准的两末端，然后如有0.1mm的差异，轴计算为0.03mm后补正 X,Y,。(Gate 0.1mm 0.03mm)5-2.调整气泡 : .如气泡形态由Roller Gap形成，将POL粘贴Stage Z轴的POL粘贴位置数据向上调整到2/100mm后，决定是否再调整。.如气泡集中在Gate部留有POL挤压痕迹，就在粘贴时确认POL吸附压力，然后将POL粘贴Stage的低压调到200mmHg以下。,-确认并调整质量的作业 -,POL Model Change Manual,5-3. 调整Line :.如Li
6、ne形态既细又一直线，粘贴Roller与POL以Roller Center为基准放在约1mm左右后边，将POL定位部的基准面与后面数据同时调整。此时粘贴精度有变，因此Panel吸附Stage的POL粘贴开始位置也要同时调整。.如Line形态既粗又不明显，首先要确认POL末端是否弯曲，当粘贴时边向上调整Pol吸附Stage的低压边确认状态的变化。6.调整数据时基准方向 :.基本上以平时工作时朝向设备的方向定为基准。(看Panel移送传送带前触摸屏的方向。).不管左/右对称，也是以看的方向做为基准。,.注意: 同样设备或者不同设备的同样部位也有方向不同的部分，因此必须要确认数据向哪个方向移动。(发
7、生与此相反的情况也有),2004.11.22,裁决,Part长,总工程师,Team长,总经理,目 录,1、Model Change作业流程 2、Model Change前准备事项 3、Model Change 过程说明 4、Dummy Test 进行，品质确认,担当,POL 4#8#Model Change Manual,M/C 作业流程,- 准备M/C用工具,-准备材料(POL, Dummy Panel等)-准备3枚Dummy (2枚Cell Assy, 1枚贴着上板POL的Panel),-停机后换型号编码,M/C 通报,M/C 事前 准备,更换作业,Dummy Panel Test,顺序,
8、作 业 内 容,-设备复原位 -粘贴工作台封闭 -调整上.下 unit(1,2) 粘贴滚轴间隔 -调整上.下 POL供给部 POL预定位Guide位置 -调整上.下 POL剥离部 Index Unit(1.2) POL Guide位置-投入Dummy Panel -确认上.下 Unit(1.2)后，确认粘贴精度,气泡等的质量。= 发生粘贴精度不良时，确认Unit POL Guide 及调整补正数据= 发生气泡时，检查粘贴滚轴间隔后调整,-整理工作台,-清扫设备 -粘贴良品 Panel POL完后，进行质量检查(粘贴精度,气泡, Line, 斑痕),调整作业,清扫及 斑痕检查,PM,OP,其他,
9、-投入POL 材料,-停机后进行清扫-清扫完后进行 Panel Pass-粘贴良品 Panel POL完后，进行质量检查(粘贴精度,气泡, Line, 斑痕),- 整理工作台,1 / 13,1. 确认将要换型的资材与Dummy Panel准备情况。2.准备微细线抹布与IPA(乙丙醇)。3.在型号选择画面上，预先确认一下您将要换型的型号设定在几号代码里面。4. 从清洗机Panel一投入完毕，就在上板触摸屏的Main画面上按下Panel排出键，以防止下一个Panel的投入。5.确认设备内部已无良品Panel，同时i确认POL投入部将POL取出6.换型所需工具准备情况确认,- 换型准备作业 -,PO
10、L MODEL CHANGE MANUAL,2 / 13,POL附着机型号变更时，作业顺序：在上一Model的Panel生产结束的情况下，确认设备有无Panel 和POL后，全体运转停止，原点回复.1) Touch Panel M/C 作业顺序1. 在Main Menu 上按下 Model 登录 Key.2. Model 登录画面选择要进行M/C的Model NO.3. 选择NO.后，按下Data Read Key (Data Read Key On 为止）4. 按下Return Key 后返回Main Menu 画面.5. 在Model 选择画面下，选择Model名称，直至ON为止.,POL
11、 MODEL CHANGE MANUAL,3 / 13,2）机构部分调整 M/C 作业顺序 POL供给部Guide Setting方法（上、下板一样）1.在POL部Touch Panel上，操作手动Key，在手动运转1画面，使位置决定为 前进.2.拧松供给部Guide固定用Bolt，放入现在Model用POL，把Guide Setting成与现在POL大小一致的Size.3.然后，把POL Guide固定用Bolt，重新固定.4. 按下Return Key 后返回Main Menu 画面.,POL MODEL CHANGE MANUAL,4 / 13,POL 取出PAD位置调整方法 (上、下板
12、一样)1.先拧松POL吸附PAD的固定BOLT，使吸附Shaft松动.2.根据POL Size的大小，调整好PAD之间的距离，并重新把Bolt固定.POL 2枚 Check Sensor Setting 方法 (上下板一样) = POL 厚度变更时实施 1.在Main 画面按下手动 Key2.在手动操作画面上，按下Check Key后，把现在更换的POL 放入2枚感知部后，按Close Key.3.然后对Sensor Amp进行调整，使其为ON（红灯亮）.,POL MODEL CHANGE MANUAL,5 / 13,Index Unit POL Guide Setting 方法 (上、下板
13、Index Unit 1.2 一样)1.在Main画面下，操作手动Key，进行手动运转.2.在手动运转（2）画面下，按照以Index Unit旋转 = Index Unit上升 = 真空吸附Buffer前进偏光板位置决定前进 = 偏光板位置决定1前进 = 偏光板位置决定前进2前进为顺序进行手动操作，对其进行Setting.3.先将POL定位Guide Screw拧松，把现在Model的POL放在吸附受台上去，调整Index Unit POL Guide与现在Model的POL Size一致，然后重新固定Guide Screw.,POL MODEL CHANGE MANUAL,6 / 13,贴合
14、 Roller Gap Setting 方法 (上、下板 Index Unit 1.2 相同)1.在Main 画面下按下手动KEY，准备好一张两面都没有POL的Dummy Panel和一张上板附着上POL的Dummy Panel .2.将两面都没有POL附着的Panel放置在上板附着Table上（上板附着POL的放置在下板），部分Panel之外剩余部分用POL保护纸Setting3.在手动运转（2）画面，以粘附Table吸着 = Table Unlock = 下面 = Table Lock为顺序对粘附Table进行操作.,POL MODEL CHANGE MANUAL,7 / 13,4.在To
15、uch Panel上按下 Main Key = 进入Model登录画面 = 进入Data设定画面 = 按下偏光板贴合Key 在贴合 Table Jog 运转选择低速后 使Table沿 X轴正方向前进20mm-40mm左右. 5.返回Main画面下，按下手动Key，在手动运转（2）画面，以Index Unit上升 = Index倾斜上升 = Roller上升为顺序对其进行操作（、这两步骤不能颠倒，否则Roller会受损）.,POL MODEL CHANGE MANUAL,8 / 13,6.打开设备门，关掉Index Lock、Unlock V/V.7.利用Index贴合Roller Unit 两
16、边的调整Roller Gap用Bolt来调整Roller Gap.=用内六角扳手拧松固定调节的Bolt，然后用Size为12mm的扳手Setting Roller和Panel之间的Zero Point，并把读数设置成为“0”.=根据不同Size POL的厚度，下降Roller Gap，然后固定调节用Bolt.Roller Gap的Zero Point的标准为，Panel与Roller之间没有缝隙，用手拨动的话，感觉Roller的转动有点紧.,POL MODEL CHANGE MANUAL,9 / 13,Panel CST Model设定. 如下图所示，根据M/C的Panel Model，旋转C
17、ST左侧的转盘，调整成和Panel Size一致的大小.,POL MODEL CHANGE MANUAL,10 / 13,1.拿出向Buffer Cassette排出的Panel，用肉眼确认是否有Poll翘起、Gate部 Line,刻痕。2. 用游标卡尺确认粘贴精度。2-1.粘贴精度以各型号速查表为基准确认。3. 如无异常就向OP通报，使他迅速清扫并投入Panel。4. 如发生Pol翘起、刻痕，就首先确认一下发生位置，然后确认是否仍发生在同样的位置，接着开始生产。 5. 如发生粘贴程度,、Line气泡，就调整不良发生部位，然后重新投入Dummy Panel，其次再确认。5-1.调整粘贴精度 :
18、.确认POL定位部的Guide与 POL的设定状态。(应无多余部分).如Gate部的精度差大，就确认在粘贴POL中是否有被挤压的痕迹。.当调整数据时，对Source, 轴调整Align Table的Panel排出位置，对Gate部调整Panel吸附Stage的 POL粘贴开始位置。.调整数据的计算是；首先测定Gate为基准的两末端，然后如有0.1mm的差异，轴计算为0.03mm后补正 X,Y,。(Gate 0.1mm 0.03mm)5-2.调整气泡 : .如气泡形态由Roller Gap形成，将POL粘贴Stage Z轴的POL粘贴位置数据向上调整到2/100mm后，决定是否再调整。.如气泡集
19、中在Gate部留有POL挤压痕迹，就在粘贴时确认POL吸附压力，然后将POL粘贴Stage的低压调到200mmHg以下。,-确认并调整质量的作业 -,POL MODEL CHANGE MANUAL,11 / 13,5-3. 调整Line :.如Line形态既细又一直线，粘贴Roller与POL以Roller Center为基准放在约1mm左右后边，将POL定位部的基准面与后面数据同时调整。此时粘贴精度有变，因此Panel吸附Stage的POL粘贴开始位置也要同时调整。.如Line形态既粗又不明显，首先要确认POL末端是否弯曲，当粘贴时边向上调整Pol吸附Stage的低压边确认状态的变化。6.调整数据时基准方向 :.基本上以平时工作时朝向设备的方向定为基准。(看Panel移送传送带前触摸屏的方向。).不管左/右对称，也是以看的方向做为基准。,.注意: 同样设备或者不同设备的同样部位也有方向不同的部分，因此必须要确认数据向哪个方向移动。(发生与此相反的情况也有),POL MODEL CHANGE MANUAL,12 / 13,
