1、磊晶化學溶劑 與有機金屬介紹,化學溶劑 無機氣體 有機金屬,磊晶常用無機氣體及特性,氫氣(H2)Hydrogen：分量子2，氫氣（Hydrogen）係一種無色、無臭、無味、無毒的可燃性氣體，亦是最基本的化學元素與原料，容易爆炸，在空氣中的最低爆炸濃度為 4%。,物理性及化學性危害：極高度易燃，火場中的容器可能會爆炸 。 主要症狀： 呼吸及脈搏速率增加、肌肉協調功能輕 度障礙、情緒不安、異常疲勞、呼吸障礙、噁心、嘔吐、虛脫、失去意識、動作痙攣、呼吸衰竭。 物品危害分類：2.1（易燃氣體）,磊晶常用無機氣體及特性,氮氣(N2)Nitrogen：分子量28，無色無味，惰性氣體不會助燃。氨氣(NH3)
2、Ammonia：分子量17，無色帶有特殊臭氣的氣體，有毒性，吸入過量引發喉頭水腫，喉痙攣而引起窒息，也可出現呼吸抑制，肺水腫，昏迷和休克。,磊晶常用無機氣體及特性,矽甲烷(SiH4) Silane 分子量32，為一無色、會與空氣反應、有窒息性影響。與空氣接觸會自燃，燃燒時會釋放出未結晶的二氧化矽濃煙。矽甲烷會刺激黏膜和呼吸系統；高度曝露在矽甲烷會引起肺炎和肺水腫，目前磊晶廠內使用濃度為200P.P.M.混氫(H2)。 氦氣(He) Helium 分子量4,鈍性氣體,無色、無毒、無氣味、不燃燒的氣體或液體，水中溶解很微。用於管路及chamber測漏時用。,丙酮(ACE)Acetone,危害成分:
3、丙酮(CH3)2CO CAS NO. :67-64-1 UN1090危害性分類:易燃性液體危害症狀:頭痛、虛弱、嘔吐昏迷、皮膚脫脂/炎、方位感障礙沸點:56.2 閃火點:-17.8 蒸氣壓：180mmHg警告訊息：高度易燃刺激眼睛、皮膚、呼吸系統長期吸入有害 危害防範措施：置於陰涼且通風良好處，緊蓋容器遠離火源，容器接地配戴護目鏡、口罩、手套，避免長期暴露 急救：用清水沖洗眼睛。皮膚污染部位用肥皂加清水沖洗吞食先洗胃，再給予生理食鹽水洗滌。,異丙醇2-Propanol;IPA,危害成分:異丙醇 CAS NO. :67-63-0 UN1219危害性分類:易燃性液體 危害症狀:咳嗽、暈眩、昏迷、嘔
4、吐、呼吸障礙、皮膚炎沸點:82.3 閃火點:11.7 蒸氣壓：33mmHg警告訊息：高度易燃刺激眼睛、皮膚、呼吸系統長期吸入有害危害防範措施：置於陰涼且通風良好處，緊蓋容器遠離火源，容器接地配戴護目鏡、口罩、手套用途:清潔Bake out 機內有Oring的部份急救：用清水沖洗眼睛。吞食先洗胃，再給予生理食鹽水洗滌。,危害成分:乙二醇HOCH2CH2OH CAS NO. :107-21-1 UN危害性分類: 9其他物質 危害症狀:刺激感、呼吸衰竭、心血管衰竭 沸點:198 閃火點:111 蒸氣壓：0.05mmHg警告訊息：刺激眼睛、皮膚刺激呼吸系統在體內累積過量會有危險 危害防範措施：配戴護目
5、鏡、口罩、手套避免長期暴露用途：加入水中可降低水的凝固點，防止水凝固結冰又名 抗凍劑,乙二醇Ethylene Glycol EG,甲醇Methanol,危害成分:甲醇 CAS NO. :67-56-1 UN1230危害性分類:易燃性液體 危害症狀:咳嗽、頭痛、暈眩/昏迷、虛弱/困倦、 噁心/嘔吐/酒醉、視力模糊/失明、呼吸急促、紅斑/皮膚炎、腎臟及心臟損害。 沸點:64.5 閃火點:12 蒸氣壓：100mmHg 警告訊息：高度易燃刺激眼睛、皮膚、呼吸系統長期吸入有害 危害防範措施：置於陰涼且通風良好處，緊蓋容器遠離火源，容器接地配戴護目鏡、口罩、手套，避免長期暴露 用途:清潔Bake out
6、機內腔體部份急救：用清水沖洗眼睛、皮膚污染部位用肥皂加清水、沖、送醫。每小時檢查CO2結能力或尿液中酸價吞食給予4%碳酸氫鈉水溶液洗胃,磷酸Phosphoric Acid H3PO48587%,危害成分:磷酸H3PO4 CAS NO. :7664-38-2 UN1805危害性分類:腐蝕性物質 危害症狀:嚴重腐蝕、急性肺炎、循環系統失調、昏迷、失明沸點:158 閃火點:不燃 蒸氣壓：無警告訊息：會灼傷眼睛及皮膚曝露24小時會有無法復原的損害危害防範措施：置於通風良好處，緊蓋容器配戴護目鏡、口罩、手套儲存容器採耐腐材料急救：立刻用清水沖洗眼睛。皮膚污染部位用肥皂加清水沖洗。吞食以洗胃以避免消化道穿
7、孔。,氨水 Ammonium Hydroxide,危害成分:氨水 NH4OH CAS NO. :1336-21-6危害性分類:腐蝕性物質危害症狀:刺激感、灼傷、角膜潰爛、胃炎、嘔吐 沸點:27 閃火點:不可燃警告訊息：腐蝕性刺激眼睛、皮膚、呼吸系統長期吸入有害危害防範措施：置於通風良好處，緊蓋容器配戴護目鏡、口罩、手套儲存容器採耐腐材料,雙氧水 Hydrogen peroxide,危害成分:過氧化氫 H2O2 CAS NO. :07722-84-1危害性分類:氧化性物質危害症狀:刺激感、皮膚刺痛暫時發白、紅腫起水泡、胃出血、眼疾、皮膚炎、肺水腫、皮膚 灼傷、眼盲警告訊息：會刺激眼睛、皮膚及呼吸
8、道危害防範措施：置於通風良好處，緊蓋容器配戴護目鏡、口罩、手套儲存容器採耐腐材料,鹽酸 Hydrochloric Acid,危害成分: 鹽酸 CAS NO: HCl危害性分類:腐蝕性物質危害症狀:刺激感、咳嗽、灼傷、潰瘍、皮膚 沸點:51 蒸氣壓：92mmHg警告訊息：可能完全破壞黏膜和導致窒息、會腐蝕傷口、喉、食道和肺、接著出現嘔吐眼睛接觸者可能會導致眼角膜紅腫甚至失明危害防範措施：置於陰涼且通風良好處，緊蓋容器儲存時遠離氧化性物質(如硝酸)或其他不相容物質配戴化學護目鏡、口罩、手套，避免長期暴露,MO SOURCE Bubbler圖示,Bubbler安裝時應注意其Inlet(進口)及Out
9、let(出口)方向,TMGa(三甲基鎵),1.物質資料標識 （TRIMETHYLGALLIUM）三甲基鎵 分子式(CH3)3Ga 2.危險辨識資料 自燃性物質，皮膚接觸或眼部接觸是最主要的接觸途徑。氧化後的無臭氣體會引起呼吸系統的過敏症狀。此物質會和溼氣起反應對皮膚及眼部造成化學熱灼傷。不慎食入此物質將灼傷口腔、喉嚨及消化腸胃系統，並可能會出現反胃噁心的情形。3.基本的急救措施 吸入-吸入時，將吸入者移至新鮮空氣處，而未吸入者宜使用呼吸器以避免吸入。可以呼吸器輔助提供氧氣並儘速就醫。 皮膚接觸-立即用手持水管以冷水沖去皮膚上殘留的化學品至少 15 分鐘。並請不要移除患者的護目鏡，旦請移除患者身
10、上受污染的衣物及鞋子，若衣物在沖水後無法去除，請勿移除。並請儘速就醫。清潔或是銷毀受污染的衣物。 眼睛接觸-立即以大量清水沖洗眼睛至少 15 分鐘(撐開患者的眼瞼以確保清洗到整個眼球面)，若患者配戴著隱形眼鏡，請移除。請注意勿污染患者未受污染的眼睛及皮膚，請儘速就醫。 食入-請勿催吐。請立即聯絡醫師或是毒物管理中心，並大量的飲用水。請勿給予痙攣或是意識不清的患者吞食任何東西。若患者有嘔吐現象，請讓患者左側側躺。,TEGa(三乙基鎵),1.物質資料標識 Triethylgallium 三乙基鎵 分子式(C2H5)3Ga2.危險辨識資料 為自燃物質,在水中會被激烈的分解。與皮膚接觸會導致嚴重的灼傷
11、;其所產生的煙霧會讓皮 膚和眼睛發炎及疼痛,所以要避免吸入濃煙。 3.基本的急救措施 當三乙基鎵及其副產品在所有的暴露情況發生時,必需要迅速至醫療檢查及治療且特別告知。緊急的援救人員應該用適當保護設備或裝備 (例如:個人獨立的呼吸裝置),以防止受到多餘暴露的傷害並且要察覺到三甲基鉀潛在著隨時可能有發生火災及造成爆炸的情況。 皮膚-接觸到會迼成嚴重的燒傷,而濃煙也會導致疼痛.此時必需立刻用大量的水沖洗受到傷害的 範圍,如果衣服尚未黏著皮膚,需儘快將此部份的衣服除去。 眼睛-接觸到會迼成嚴重的灼傷,而濃煙也會導致疼痛.當個人處於三乙基鉀可能暴露的環境中,千萬不能配戴隱形眼鏡,其可能也受到污染,必需
12、用馬上用大量的清水沖洗眼睛至少 15 分鐘並 且要把眼皮睜開以確保完全受到清洗。 吸入-會導致發炎,需將無處可遮蔽的人員迅速安排至未污染的區域,並且使用個人獨立的呼吸裝 置;假如有呼吸困難的情況發生,必需馬上給予氧氣;如果有停止呼吸的情況發生,要立刻給予人工呼吸的急救及立即尋找繄急的醫療支援,這段時間須讓受傷的人員平靜下來及保持溫暖。,TMAL(三甲基鋁),1.物質資料標識 Trimethylaluminium 三甲基鋁 分子式(CH3)3Al2.危險辨識資料 屬於恐火症之物質，會在水中劇烈分解，如有接觸到皮膚會導致嚴重燒傷，而濃煙會造成皮膚及眼 晴過敏，請避免吸入濃煙。 3.基本的急救措施
13、當暴露在一般的環境下，假如接觸到三甲基鋁及其副產品時，必須迅速至醫療單位檢查及治療，而在緊急救援時，援救人員應該使用適當保護設備或裝備(例如:個人獨立的呼吸裝備)，並要注意到三甲基鋁可能隨時會造成爆炸及大火。 皮膚-如有接觸到皮膚會導致嚴重燒傷，而濃煙會造成皮膚及眼晴過敏。立即用大量的水沖洗受到影響的範圍，儘可能快速脫下衣物避免受感染之衣物觸碰到皮膚。 眼睛-接觸到會導致嚴重燒傷，而濃煙會造成眼晴過敏，而眼鏡也可能有受到三甲基鋁的感染，應該馬上 脫下眼鏡，並立即用大量的水沖洗眼晴受到影響的範圍，至少十五分鐘以上，把眼皮睜開確保完全有受到水沖洗。 吸入-會導致發炎，需將無處可遮蔽的人員迅速安排至
14、未污染的區域,並且使用個人獨立的呼吸裝置；假如 有呼吸困難的情況發生，必須馬上給予氧氣；如果有停止呼吸的情況發生，要立刻給予人工呼吸的急救及立即尋找繄急的醫療支援，這段時間須讓受傷的人員平靜下來及保持溫暖。,TMIn(三甲基銦),1.物質資料標識 Trimethylindium 三甲基銦 分子式(CH3)3In2.危險辨識資料 為自燃物質,在有空氣環境中,於無點火的狀況下會自然地燃燒.皮膚受到接觸後會迼成嚴重的灼傷;萬一去吞食到或去接觸到皮膚及吸入後,此一溶液是對人體極度有害的;並且吸入過多可能會嚴重而致命。當氧化而冒煙時也會導致皮膚及眼睛的過敏,為了避免吸入濃煙而產生疼痛,所以三甲基銦是千萬
15、不能讓其溫度高於 80C以上,當溫度在高達 140C 或過熱的情況下,此一產品會極度的不穩定。3.基本的急救措施 當遇到三甲基銦及其副產品在所有的暴露情況發生時,必需要迅速至醫療檢查及治療且特別告知。緊急的援救人員應該用適當保護設備或裝備 (例如: 個人獨立的呼吸裝置),以防止受到傷害並且要察覺到三甲基銦潛在著隨時可能有發生火災及造成爆炸的情況。 皮膚-接觸到會迼成嚴重的燒傷,而濃煙也會導致疼痛.此時必需立刻用大量的水沖洗受到傷害的範圍,如果衣服尚未黏著皮膚,需儘快將此部份的衣服除去。 眼睛-當處於三甲基銦可能暴露的環境中,千萬不能配戴隱形眼鏡,其可能也受到污染,必需用馬上用量的清水沖洗眼睛至
16、少 15 分鐘並且要把眼皮睜開以確保完全受到清洗。 吸入-會導致發炎,需將無處可遮蔽的人員迅速安排至未污染的區域,並且使用個人獨立的呼吸裝置;假如有呼吸困難的情況發生,必需馬上給予氧氣;如果有停止呼吸的情況發生,要立刻給予人工呼吸的急救及立即尋找繄急的醫療支援,這段時間須讓受傷的人員平靜下來及保持溫暖。,1.物質資料標識 (cyclopentadienyl)Magnesium 雙環戊二烯鎂 分子式(C5H5)2Mg2.危險辨識資料 為自燃,在水中會被激烈的分解。與皮膚接觸會導致嚴重的灼傷;其所產生的煙霧會讓皮膚和眼睛發炎及疼痛,所以要避免吸入濃煙。3.基本的急救措施 當雙環戊二烯鎂及其副產品在
17、所有的暴露情況發生時,必需要迅速至醫療檢查及治療且特別告知。緊急的援救人員應該用適當保護設備或裝備 (例如: 個人獨立的呼吸裝置),以防止受到多餘暴露的傷害並且要察覺到雙環戊二烯鎂潛在著隨時可能有發生火災及造成爆炸的情況。 皮膚-接觸到會迼成嚴重的燒傷,而濃煙也會導致疼痛.此時必需立刻用大量的水沖洗受到傷害的範圍,如果衣服尚未黏著皮膚,需儘快將此部份的衣服除去。 眼睛-接觸到會迼成嚴重的灼傷,而濃煙也會導致疼痛.當個人處於雙環戊二烯鎂可能暴露的環境中,千萬不能配戴隱形眼鏡,其可能也受到污染,必需用馬上用大量的清水沖洗眼睛至少 15 分鐘並且要把眼皮睜開以確保完全受到清洗。 吸入-會導致發炎,需
18、將無處可遮蔽的人員迅速安排至未污染的區域,並且使用個人獨立的呼吸裝置;假如有呼吸困難的情況發生,必需馬上給予氧氣;如果有停止呼吸的情況發生,要立刻給予人工呼吸的急救及立即尋找繄急的醫療支援,這段時間須讓受傷的人員平靜下來及保持溫暖。,CP2Mg(雙環戊二烯鎂),滅火措施與個人的保護措施,滅火工具 使用乾性粉末、蘇打粉或石灰粉.(碳酸氰鈉, 蛭石,白雲石,或沙);千萬不能用水、二氧化碳泡末或鹵性混合物四氯化碳來滅火,此一牽涉到有機金屬化合物之特性。當沒有危險後,再停止此一混合物之滅火材料的使用;在確認安全無誤後,將鋼瓶移開著火區。暴露的危險 如果有機金屬在沒有完全有效地被熄滅或是控制住火源；在此
19、暴露的情況下，有可能接觸 到空氣或水後，會再度引起大火。滅火時的特殊保護裝備 防火衣(外套).個人獨立的呼吸裝置,防火面罩與安全護鏡及防火鞋與防火手套。個人的保護措施-呼吸裝置,防火手套,面罩與安全護鏡及防火鞋與防火衣(外套)，安全的淋浴設施和眼藥水。,有機溶劑和化學品之儲存、使用時應注意事項,作業場所各化學品懸掛危害標示看板：清楚標示種類名稱、危害性。所有化學品之中英文MSDS(物質安全資料表)便於參考。緊急處理及個人防護設備應清楚標示，所有作業人員應 知道放點及使用方法。處理時應注意事項公告標示看板。所有人員認所使用之化學品並知道其危害性易燃性/爆作性、毒性。氣化性物質與大多數物質不相容。有機溶劑遠離火源,名詞解釋,閃火點(Flash Point) :當溫度到達閃火點時液體揮發成氣體的質量足與空氣混合而形成可然混合物此時雖然可以著火但是揮發物質的總量不足以維持火勢的延續這就是閃火點 閃火點與壓力有關 壓力愈大 閃火點就會上升。 蒸氣壓(Vapor Pressure):是一個純液體 / 溶液在真空條件下產生的氣壓 (不限定溫度)。 沸點(Boiling Point)：當溶液的蒸氣壓等於外間大氣壓力時，水銀溫度計顯示出的溫度。基本上溫度越高，蒸氣壓越高。,物質安全資料表(MSDS)目錄,物質安全資料表目錄,物質安全資料表目錄,
