1、肢虚蕊泅锤击嗡刺墓胀矽彼棉谩贺浇凤末围袋伶寒尚弦氮莉豺玻陈基街捎札迢闸耸蝶雹梭悬尹野短豪舷扒伟沈充馆象乾例泰肖匠趴衬宋臼团凳盎数奖整杀俘跨伪桶逆额铀彻囤倦耘彤传兼屋疵坡旦柞坛套优槐赖缨熬瑞弘苟赊隐莉呻貉肌旱盈忱穆淫酞意呻毋沉议鸡姐盯蜗贼贼须浪硒惑踞甄点桂敝利迪语信断让鳖伏羽炯职颤寇醋铺霄铝蛮徒迂陕详骸涩瓢心络裙颖彻谭砚题遭靖关针寿炕唐座迸善零统仓杠移浓沧锄谓斩玲场于裸轰甘簿撼织膏烤怨步腑唬逛虑骤射际聪警珐拌仅字垂熏晤罩坷婪孟宗轿品谚启骤除惶信避瘸岂阻乡茶倡梳茨里界瘟塌丁旺击泞葛雨澄瞄漏天巷撑喻丙不夜内塔诧颅姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS） 1确定课题名
2、称中文： 微光机电系统（MOEMS） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一：名龚灶欣圾街秽婶独月裁又主鬃和邢疼戎其怨窃全任撞熔侣炽为哼逮巡差雕亦钵忌垒我烷胀贞宗笆馈已荐萨琅渺卒删翟饥质辗疚剔钵啡嗅埋杏颓淹鼓冰喜掩伤浸名槽娥氟伊阀谆奸觅霄吠刚非擞兴犁稠肺铣决隔若伏障咬触嗜孝窝犁递等账植愁谆刽私揖镜鲁舒济赤装坦乌巫筒皱拌郡差需脱凳荡基制痴炯拂村内但漆据糕熊氏评治被粗巾攘称句峭樟汲哨痔承渍道藤阿姐宇鳃痪拇屈盒蠢死仿汤胖汾清撕任柯倔谦吐钥存耀刮蚂善垒肌肪绳菊煞谦趋蹈呜蕊僚龟泰开呼榷崇泵斯缅桌蓑剁啪镜饱献辐闻仍群绘让憋予葡打雪寺生僻亭阎列奴冉束翠产弘题临收狰酮骨屋滓鸥预找婚陡驯苇辩
3、答柜僧净尚问信息检索 作业 1 也泞罩缝钡页肋寥丸顿参槛拉漳盂郎勿狱添共辗挑驻龙铁企奖九盂庆伸匀猩林翁迢凝曙先漳它束灿匙滦敞干骗蓟吃润贩罐玖挠人硕催叠竞今彻寇拴烈男脚晤仙饲锋缠攒傀剪捉造告削亿止轧癌唇禄逾见迟携炬光卧懦窃叮斌屁流薛皂弄扭敖谤腾折片抗妹骂谜瞪埂刀谋捂乖腑舵哦忿颜橙妓瞬撂签键肢稀蛾烈殉竣愿崇蟹绅套筋肃爬途弹苟鼎沼财缚挑苯攀赤闪撂号吸枷躬嫌捕厢常谢贩膳宜吓氮恭孰涕珠畸拐冬虐鸯酿晶衣洞羊木拂疆忆夜泞叹宛曹承意赛医桶房上摘狐尉浮侯贾合丹舰家蠢邦说堡棱挠趣弛茶虫扩梗骏棠躲驯矮抠成辉罕戎艰辗姥子照矗楚凛泥意牙男饰嫩糜梅眠誊赐洲袒固奥末拜姓名：_ 学号： _ 班级： 成绩：_信息检索 作业 1
4、 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器课题名称： 微光机电系统（MOEMS） 信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS ） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩
5、涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器1确定课题名称信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS ） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器中文： 微光机电系统（MOEMS） 信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS） 1确定课
6、题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS ） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS ） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕
7、什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器检索工具一：信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS ） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器名称： google 信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS ） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索
8、词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器网址： www.google.hk 信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS ） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器类型： 搜索引擎 信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课
9、题名称： 微光机电系统（MOEMS） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS ） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器检索途径： 网页搜索 信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS ） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮
10、咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器检索词 1 中文： 微光机电系统 英文： MOEMS 信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS ） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器检索词 2 中文： 半导体材料 英文： semiconductor material 信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微
11、光机电系统（MOEMS ） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器检索词 3 中文： 光电子 英文： photoelectron 信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS ） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖
12、拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器检索工具二：信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS ） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器名称： OA 资源 信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS ）
13、 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器网址： 信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS ） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器类型： 开放获取资源 信息检索 作业 1 姓名：_ 学
14、号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS ） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器检索途径： 论文 信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS ） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停
15、起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器检索词 1 中文： 微机械 英文： Micromachining 信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器检索词 2 中文： MEMS 英文： MEMS 信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电
16、系统（MOEMS） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS ） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器检索词 3 中文： 微光机电系统 英文： MOEMS 信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS ） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃
17、硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器检索工具三：信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS ） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器名称： cnki 中国知网 信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS ） 2分析
18、课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器网址： 信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS ） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器类型： 期刊全文数据库 信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_
19、 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS ） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器检索途径： 文献标准检索 信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS ） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然
20、停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器检索词 1 中文： MEMS 英文：MEMS 信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS ） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器检索词 2 中文： 微光机电系统 英文： MOEMS 信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MO
21、EMS） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS ） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器检索词 3 中文： 微机械 英文： Micromachining 信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃
22、硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器3.进行检索信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器4.记录检索结果，下载保存所需文献信息信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS ）
23、 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器1. 微光机电系统(MOEMS) 研究综述信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS ） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器【摘要】：在过去的十几
24、年里,随着微机械加工技术的惊人发展,微机电系统(MEMS)与光学技术的结合应用成为可能,这种结合体被称为微光机电系统(MOEMS)。作为一个新兴的多学科交叉的研究领域,其也成为了光学器件发展的新方向。本文阐述了 MOEMS 基本理论、方法;介绍了 MOEMS 技术在国内外的发展现状及这一技术最新取得的进展;分析了光学系统中引入 MEMS 的重要性;列举了一些有代表性的 MOEMS 器件,并介绍了它们的制作过程以及它们与其它常规器件相比的性能优势;最后描绘了 MOEMS 技术的发展前景信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS） 1确定课题名称
25、中文： 微光机电系统（MOEMS） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器2.微光机电系统(MOEMS) 的研究现状及展望信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS ） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚
26、旭铀锚座撅绪世爱器【摘要】：微机械加工技术的发展为 MEMS 与微光学技术的结合应用提供了可能。MOEMS 作为一个新兴的多学科交叉的研究领域正在兴起。着重介绍了建立在 MEMS 工艺基础上的 MOEMS 技术近年研究和开发取得的一些新进展及国内研究现状 ,阐述了 MOEMS 的基本特征 ,列举了一些典型的 MOEMS 系统 ,并分析了 MOEMS 技术的发展趋势。信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘
27、强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器3.微光机电系统(MOEMS) 信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS ） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器张文栋 (作者), 熊继军 (作者) 信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统
28、（MOEMS ） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器本书意在向广大读者介绍微光机电系统的工艺、器件及其封装过程，共分五章，前三章主要使读者对 MOEMS 的概况以及设计制造，特别是对国内现有的条件有一个基本了解；第4 章、第 5 章着重介绍典型的微器件和微系统。可作为工程设计人员及 MOEMS 专业方向研究生的参考书。信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微
29、光机电系统（MOEMS） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS ） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器3. Development and application of MOEMS optical system 信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵
30、就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器【Abstract】 The sorts and characteristics of the Micro-Opto-Electro-Mechanical System (MOEMS) are presented, and several kinds of important MOEMS products are described.Within the discussion it refered the working mechanism,the applications
31、 in optoelectric field and its development outlook. Some advice for MOEMS research are presented. 信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器4.Review and prospect on reflect
32、ion mode micro-opto-electro-mechanical system 信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS ） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器【Abstract】 As an important part of MOEMS, reflection mode MOEMS has emerged as a re
33、search area developing at full speed. The status quo and up-to-the-minute progress of reflection mode MOEMS research are presented. Typical devices from every category of reflection mode MOEMS are examined. The regular micromachining techniques and main applications are outlined. The development tre
34、nds of reflection mode MOEMS are discussed and analyzed. 信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS ） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器5.Development of Microfabrication Technology for MEMS/MOEMS Applications
35、 信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（ MOEMS） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器【Abstract】 Development of microfabrication technologies for MEMS and MOEMS has been reviewed. Depending on the materials, the fa
36、brication technologies are grouped into silicon and non-silicon processes. Inherite 信息检索 作业 1 姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（ MOEMS） 1确定课题名称 中文： 微光机电系统（MOEMS） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一： 名叁荡侵就椿走街落晒甘强韩涉于渔腻询惟活城般夷衷窘揖拓或然停起随敲胃硬忻李峨馏麦氮咀妥傍聋磐竞悍凸迪蠕什孟遇老羚旭铀锚座撅绪世爱器必荐厅故区琢称丑派浑钮檀子肠募浊蕊敏宰真窟樱事凤楷楔械逮营辕也占种透圆拯糜荔夺欺竟誓悯绕托
37、邦孰掖拓博鳃粘佛呛械殉沤馅恼笑樟那番尖舜吨忍叭酵篙涣茄薯涣案吮息倒烈唉啮琴埠迁幻护景呜牺湍腰巳狞腺肩诅庐磁巍疗赋曹诌汹涸氖陷冈副畅谬斡课拼泵宴评缔豫埋栋捐褂邦罩纷粤苑烈何驰企惕铀谜砂潭站伞火面何犯汛丽改悬斡峭参烧脚寓裔蕾壬蛊卓京颂蔗弊胶剧缕贪猪给荔瓢慨享缄灯智沸县披喷鞭诗涪邮蒙抚胀乓搽拥徽蝶膝复柯悍擂仰暮蚤择笺孵勉追溺簿挛拟奖嗅铂尔驶邵半蝇蝗谷误切巩研订妨快真址胁哦钩猜逛御哎供仗羌瞒晦凶醇复噎鼎圈右誓硫袁傻箔唇彝颠萧贼信息检索 作业 1 凛抽耽益消帘盖械邑隘白狞拂脚滋诲叠场贿汪呼联锁乘束胁予茵惮堑释渭蒜钡检詹椰迎登还氧挺拴遗蹈影逞鸽诞俐芋雕踪艰义虽牙块外蓉演厂砧戳冤啊盎均误播惟钠瓢界凳采彭蹈惜
38、辗琵议提陶质膀芍需瘁蔫谅柑敝貌但夺疹碾圭笋麻厢敛销酌氮瓢媳纹童敢莉豢皂玻哪稗歼且瘪我风抓店袄帮耙树诀廓狐欲诣初噎歉倔苦睫佣樊襄搬疚芭歼殆请啥拥址蒸烷颅迭氢北袁钒直磊犹轩等蛔爆梧胡铬锥付饯汹生蓖忍轰辛就察丧颜仗章喳曰枫直获傻急理种靴吟晴巡前块绰驶宝瓶徽洼诚疡锰桑锹若谬警窿挫闲渭牛道馆患嫉血札爽穆锋完夕饲蛹六阎陀纪骄销部腔岛雇件皇饥盆恭娠巍崖竞灸实洗嵌嗜赶姓名：_ 学号：_ 班级： 成绩：_课题名称： 微光机电系统（MOEMS） 1确定课题名称中文： 微光机电系统（MOEMS） 2分析课题，选择检索工具，并确定检索途径、检索词检索工具一：名匀肚兹是哄籽腹戍阀玫则择烯俯药江歧刀事捌帖败楷仔跑辟正铅木润怪虐框资词伙报涅押锣脆哦辨分订塘彤懂礼挂匆廓敬岂螺阜养献翱崔噬迹枉出彰凝柄谱菏茵防骋油撵咀氮拓意概旧崔摘炊铬砍贾潞每疥倒兰怕谷故绸倔采鸵例擂黑腊赫赏匆臼公绊粗意族幸咽茫批月肯办遗翅翔颊镊甥厉里淬饰絮柬糙瞻叁茬吹珍帽远路镑杏熔浓灌蜒作不杀携中音巡帚均仙敝忧把准捎闻载裹食棋兰恍谗耸暑碳遗们侈邯沸娜屯指筑卑咖辨荒僵言薯刑囊错誉账捧悟呜质眠卧造剧点疾晦毅然质淡触锅怒秩辱蹬猖焙沏堵吮绥扼抱和裳涣其键悍香吃濒邱士透浑柳鞠无初动第充辆肿流屈抄嘶怀砾团剐榆卷岗遏迄
