1、1酸性蚀刻全数字自动控制仪器面板各元件的功能: 该电箱集中控制系统,采用美国进口 ORP 仪和电导率仪,数字式比。互动式人机交流,各种参数和操作方法,尽收眼底,而且数据稳定性、安全性大大提高。 打开电源开关,把盐酸、双氧水、自来水添加的开关。 本机有手动和自动操作方式。手动时,手动指示灯亮起,此时添加泵不受仪器的控制。盐酸、双氧水和自来水都进行添加。此时,要有人密切观察药液的变化,适合加药量后,马上关掉,否则一直加药致使工件报废。自动操作时,盐酸仪、双氧水仪和比重仪达设定值时才各自进行添加。 添加泵:各水缸达到工作水位后,添加泵才能启动。工作中,水位低时该指示灯亮起,相应的水洗泵停止。蜂鸣器发
2、出警报,请马上检查,并加水达到工作水位,重新起动水泵。 警报器 :有故障时,蜂鸣器发出警报,提示操作员工及时排除故障。 盐酸、双氧水的添加,实行间隔添加,能充分使药水充分混合。电箱内有加药时间和停止时间,可以根据情况自由调节。 ORP 仪控制双氧水的浓度,一般设定 510540MV 左右。根据各厂家的药水浓度和工作速度不同而设定。低于该值时自动添加双氧水,加药 40S,停止 10S。有充分的时间把药水混合均匀。 电导率仪控制铜离子的浓度,一般设定 320400MS 左右。根据各2厂家的药水浓度和工作速度不同而设定。低于该值时自动添加盐酸,加药 40S,停止 10S。有充分的时间把药水混合均匀。
3、 做板时,药水的比重越来越大,比重浮子就慢慢上升,数字比重仪器的设定达到设定的比重范围时(1.250)。就会工作,一直加子液进行对蚀刻槽内的药水稀释。子液添加没有间隔时间设定。 电箱内有盐酸、双氧水仪的触点异常保护装置,若盐酸、双氧水仪的触点烧死、取样盒内无水或探头坏掉,加药达到一定的时间会停止加药。日常检修1 每次开机要检查电箱内各电气是否正常,保险丝是否烧毁 。2 每次开机要检查各添加缸工作水位是否正常。3 每次开机要检查比重浮子是正常。4 每次开机要检查供水系统是否正常。5 每日开机要检查各段管道是否漏水。6 每日开机要检查各仪表是否正常。7 取样盒的进水和出水要合适,不要把药水溢出外边。8 更换 ORP 仪和电导率仪的电极时,要小心轻取,更换同种规格的电极。9 ORP 仪和电导率仪的电极要每 2 个星期进行清洗一次,否则,显示不准或控制不灵敏。10 洗缸时,不能把盐酸和双氧水同时排放,否则会爆炸。11 补充新盐酸和双氧水时,不能把盐酸和双氧水同时倒进一个槽子,3否则会爆炸。12 加药时,不能把盐酸和双氧水的管子随意移动,否则会爆炸。13 蚀刻机长时间不工作或长时间不用添加系统,把电原关掉,并把探头浸泡在清水里,使其经常保持湿润。飞仕达公司2007 年 2 月 1 日