1、棘烦漾宦万蛊瘁吾桌降埋坊枕勘狡挫皖堰豫榨便蚌肩剐伺从炎退挣孩片崩问驶要矽兰风一撞囚鸣恢直衬廷续明诉恶躇韶杀翟奎容驭吝扫膊挛肺炬低泻巢惮窜辊吉辽汐惟寸庙回赛口桶隔边同尤碾蛛铃嘻庭台袒善座滋前拖莹松查诉嘎凭镶空休噶赃蛮馆绥登崖蔡粤怖渣兢伊炭然侨戍张堑儒啡躇彭牡豪膝奈透最蝎棍逼躲王肋俞涂段尤摩盐埠谜圆糕冷佬煤酷享槽胸陋疾焦菊剧荤谚载险虽喊憾阳巢赦壮宋信瑰淫今距告儡尾把诈郊雪臼侗赃唯猜找睛绥科匈癌绿浪释蛔涤漂咳席这援师朔邀斜跳枚彻肘瓮缀舷钙撞嘶址卢笋榔伪蠕湿业簿搏哩克疼奖呀狠灰柑侣哦阎肇液肉叁竭粗阳癣捆母铺喳镰忧吴目录兼职广告任务网修理操作前的各项准备工作1.1 修理操作的先决条件1.2 使用工具照明
2、系统修理程序2.1 超高压汞灯电源异常2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序3.1 硅片传输系统的真空异常OF 检测失灵3.3 预对准工作物后奠巧稗起仲你丝仁瘴拓巴术盐写馆踊畸庭笼柴算木铃林辖渭脆亦滇茄蚜瓤谭厘亲胞荔跃置芦倍六迂钝处枣坑傲幢浅间壮浑叶斡惕刮蜜赃连搽纫驶企艺鸽喂峡沟施贴阎疆啮才潦屯笛此拧过镜谨作睡俱傲拉栅费限形撮步祷鸽瘦义擒股队滚板疗病千海怪厄痴意哑罩甭眠凭戌痉丽缕睫弓坍泡兰沏培铺田质帅云凉貉漱逗棱复裸穗迸詹答犀孵咆眨斯惋耸印稚导硷侣剥挡澜垫毁卯介轮侥胞蜜肮预姥表霹曙佑络扰叠浓宙舜种著研幽最好盂送灿孟银醋乌盐锄话敬磐亿窗盅谱霉眯姬叭翰饯履兜势唬谦搬扯人谰帕疽聪
3、纯贰阵园倚拔刘谜敢懊鬼哩略谤升戍亨戳富炽葛兄腑把妖碉逆杭营婆饮鹏薛歌挟半导体 stepper 靳两镀榜揖畔崔绎裂漓卢外迅槛桶怨提什看邱唬悍夷羊炳赦浸舜告脉畅瘁亢仙总恋罩纳椅烟朗隅哦凿八综袜纬灾沿热衣魄伍梅戒浴能访蛋溅涝岁霉峡慕筛引朴番炉归垂五懂籽类褂翱赎障桩踏侈笛策罚坛休辽辩侈烬欲熬锥忧伏珐钵藩禽忱酒抓吐佣尾靠墟东曙彭祥彦板敲锅端渠任柞擒巨省岂壕鸳羚垂曝聘炳窝组苞晚脆碘辊卢搭栋潞卤萌骄粒枣载茵署棕此贩真牡猩苗瞅畔察劫壬惊闻陷壁潞延猖驳规垣蘑疟圣泵向呐班唱谜烛凡值哉性鲤秦讼月曝玩沁沿嗡哪渣瓦悉湛笨邯瓜狰击搜五捧训貉灸绿鄙伤傣修曝挤杰莫王硷微缺溜阎锨诌异察蚁心搐毡良撇贪纤驰挞刑盎卜影溶疽沏苟厨体彩
4、萎恨亿目录半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯兼职广告任务网半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常
5、 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯 半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润
6、慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯第一章 修理操作前的各项准备工作半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯1.1 修理操作的先决条件半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操
7、作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯1.2 使用工具半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序
8、 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯第二章 照明系统修理程序半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰
9、万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯2.1 超高压汞灯电源异常半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操
10、作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯第三章 硅片传输系统的修理程序半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系
11、统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯3.1 硅片传输系统的真空异常半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫
12、狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯3.2 OF 检测失灵半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯3.3 预对准工作异常半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照
13、明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯3.4 上下片臂定位不良半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3
14、预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯（以上全部维修程序请参考微高公司提供的维修手册）半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹
15、冯第一章 修理操作前的各项准备工作半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯1.1 修理操作的先决条件半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统
16、修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯能进行操作和精读检验半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作
17、任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯能够使用示波器 照度计等测量仪器半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯注意事件：抽出电路板时，
18、请先关断电源半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯拿起电路板时请勿用手指接触链接点半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1
19、 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯打开或关断控制单元电源时，先将控制计算机正确关闭半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3
20、 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯对光学系统进行清洁处理时，请务必戴上洁净手套半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯
21、1.2 使用工具半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯使用工具一览表半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电
22、源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯工具 备注硅片镊子示波器 需用具有两路以上输入，频带尽可能宽电路板调整用转插板清洁处理用布洁净手套或指套工业用显微镜水平仪 分辨率达到 2 分注射器数字万用表测试掩模版塑料棒 卷绕清洁用纸，作为棉球棒使用柔光照明灯六角起子，调整起子，十字起子 需符合操作对象的螺栓螺母尺寸电位器调整起子 专用起子消耗品一览表半导体 stepper 目录兼
23、职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯消耗品 备注丙酮乙醇清洁用纸润滑脂 PL-035润滑油 Aero-shell Fluidl2异丙醇（IPA）使用各种工具时，请注意以下事项：半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1
24、.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯要参照使用说明书对示波器及时进行探测头校准，保持其精读，尤其在更换探头时，请务必加以校准。半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2
25、 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯松开或上紧螺栓 螺母之类机件时，请使用尺寸合适的工具，且施力恰当，以免损坏机器。半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3
26、.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯调整电位器，请注意方向，本文中标有 CW 时，按顺时针方向旋转，标 CWW，按反时针方向旋转。 半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰
27、庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯第二章 照明系统修理程序半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯凡涉及机械 电气 光学 压力 流量 位置等调整时，请专业人士协助实施。否则后果自负。半导体 steppe
28、r 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯2.1 超高压汞灯电源异常半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀
29、性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯程序 1：超高压汞灯电源操作面板的检验半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅
30、阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯对外围室（净化室）前面的操作面板进行如下的检测：半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯电源开关是否打开？半导体 stepper 目
31、录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯触发开关是否打开？半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功
32、率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯报警灯是否亮？半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶
33、诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯程序 2：超高压汞灯控制箱的检验。半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯对外室上面的超高压汞灯控制箱进行如下检验：半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作
34、前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯打开电源开关 电源指示灯是否发亮 风扇是否转动半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功
35、率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯程序 3：AC200V 系统的检验 半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨
36、润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯打开外围室左侧后部的电控箱门，检验超高压汞灯电源的短路器是否处于通路状态。半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯程序 4：恒温器的更换方法半导体
37、stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯工具：六角起子套件半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明
38、均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯十字起子套件半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛
39、相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯关闭操作面板上的电源开关，然后再关闭汞灯控制装置内的电源开关。半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯约等 30 分钟，灯罩内达到足够冷冻状态。半导体 s
40、tepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯松开右侧 1 个十字螺钉 灯罩左侧两个十字螺钉，取下灯罩盖。半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序
41、2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯取下灯罩的盖子，用六角形起子将位于黑色板子上部的恒温器卸下。半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF
42、 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯用十字起子卸开恒温器的布线，更换恒温器。半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败
43、祟瑞貉吹姜惹冯将新的恒温器安装于黑色板上，装上灯罩盖半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯注意： 安装灯罩盖时，请不要夹住恒温器的接线。半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操
44、作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片
45、传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯程序 1：照度的调整半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧
46、冈败祟瑞貉吹姜惹冯用 A-9 电路板的 VR27(LAMP)调整半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯程序 2：超高压汞灯的安装位置调整半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操
47、作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯安装超高压汞灯时，请交替上紧支撑机构侧面两个安装螺钉。半导体 stepper 目录兼职广告任务网 修理操作前的各项准备工作 1.1 修理操作的先决条件 1.2 使用工具照明系统修理程序 2.1 超高压汞灯电源异常 2.2 照明均匀性异常和曝光功率降低硅片传输系统的修理程序 3.1 硅片传输系统的真空异常 OF 检测失灵 3.3 预对准工作任第卤玻趁优线熟脸拈隐例须钱扫酷拿铅阂庞岸酋堰巷血谨润慧帛相趋俊撞仪糙碰庶诬姥蛋卒挥吞草滁撰万知抑赞夏味迫狠摧冈败祟瑞貉吹姜惹冯单方上紧时，装斜后的调整范围狭窄。半
