1、25MW 太阳能电池工艺流程清单设备性能 所用设备数量总价（万元） 建议序号 工序流程 所用设备进口设备特点 参考价 国产设备特点 参考价1 制绒 制绒台 自动化程度高，但对硅片外型尺寸要求高，也并不太适用300 万 1全自动：对硅片外型尺寸要求高 国内部分厂家采用2手动：对硅片外型尺寸要求不高，价格便宜，但人为因素对产品质量有影响130 万60 万1 套 130 国产自动2 扩散（掺杂）扩散炉 无需进口 600 万 设备性能稳定，已完全取代进口。100 万 三台 300 国产3 刻蚀（去 刻蚀机 无需进口 80 万 设备性能稳定比 20 万 四台 80 国产周边杂质） 国外设备好，已完全取代
2、进口。4 酸洗（去磷硅玻璃）酸洗台 自动化程度高，但对硅片外型尺寸要求高，也并不太适用1全自动：对硅片外型尺寸要求高 国内部分厂家采用2手动：对硅片外型尺寸要求不高，价格便宜。60 万15 万一套 60 国产自动5 镀膜 手动喷镀台或APCVD或PECVDAPCVD 镀膜，500 万1400 万APCVD 镀膜国内没工业化生产设备。手动喷膜：自动化程低，有色差（人为因素干扰），但价格便宜15 万一台 500 进口 APCVD或 PECVD 6 印背场 网印机 全自动：自动化程度高，但对硅片外型尺寸要求高，印刷稳定半自动：人工装卸片，印刷稳定120 万40 万全自动国内没有半自动：人工装卸片，能
3、满足要求18 万二套 240 进口7 烘干 烘干炉 设备简单无需进口50 万 设备性能稳定比国外设备好，已完全取代进口。12 万 二台 24 国产8 印背电极 网印机 全自动：自动化程度高，但对硅片外型尺寸要求高，印刷稳定半自动：人工装卸片，印刷稳定120 万40 万全自动国内没有半自动：人工装卸片，能满足要求18 万二套240进口9 烘干 烘干炉 设备简单无需进口50 万 设备性能稳定比国外设备好，已完全取代进口。12 万 二台 24 国产10 印栅极 网印机 全自动：自动化程度高，但对硅片外型尺寸要求高，印刷稳定半自动：人工装卸片，印刷稳定120 万40 万全自动国内没有半自动：人工装卸片，能满足要求18 万二套 240 进口11 烧结 烧结炉 自动化程度高，性能稳定200 万设备性能接近国外设备，已有部分厂家使用，较果也好，价格便45 万 二套 90 国产一套，进口一套宜。12 分检 测试台 全自动：全自动：自动化程度高，性能稳定，但对硅片外型尺寸要求高手动：性能稳定200 万30全自动：国内没有手动：性能不太稳定，但价格便宜。18 万一套 350 进口
