1、三次元作业指导书（CMM SOP）编号： 制定：2014.7.231.目的：正确使用三次元仪器，以确保量测的准确性及延长仪器的使用寿命2.范围：三次元及量测软件3.参考文件：三次元说明书4.环境要求：保证测量精度的环境温度：202湿度：5815 5.使用三次元量测的注意事项：1，量测前须作三次元的清洁及保养工作；2，须对待量测工件作清洁动作；3，被测工件架设于大理石工作台面，需用夹具或其它适当方式固定；4，每次更换测针或测针使用时间超过一周，须对测针进行校正；5，测针接触工件时应无变形现像；否则应采取其它合理方法量测。6.三次元开/关机程序：6.1 开机程序：1）开启电脑；2）开启空气滤清器及
2、三次元气阀；3) 开启三次元电源开关;4) 开启测头开关;5)进入 calypso 及 holos 软件量测。6.2 关机程序: 1) 将测针归位；2）退出 calypso 及 holos 软件量测；3）关闭电脑；4）关闭测头开关；5）关闭三次元电源开关；6）关闭空气滤清器及气阀。7.三次元软件使用方法：略（详见 ZEISS 操作说明）8.三次元量测行程：X：800mm Y：1200mm Z：600mm9.保养及其它注意事项：9.1 保养：1）室内：放置本仪器的室内应保持清净，防止灰尘污染；2）导轨：三次元的 X，Y，Z 轴移动的部分需每天有无尘布擦拭保证其运行通畅；3）光学尺：三次元一起的光
3、学尺如有脏污需由专业人士用无尘布擦拭光学尺对应的接触面；4）测头：每次使用前后需观察测头是否磨损；5）校准球：一般呈 45 角度，球面不可粘有其它物质；6）大理石平台：测量前后需用无尘布，酒精将平台擦拭干净,且定期使用大理保养液进行保养，不允许放置其它无关物品。9.2 注意事项：1）当气压不足（小于 5.5BAR 时），请不要使用三次元；2）长时间不使用三次元时，请关闭仪器电源及气阀开关；3）测量过程中，若跑自动程序时，操作者须在一旁观察。若发生撞针或意处时应及时按下控制器上“ESC”按钮或紧急停止开关，以防测针和仪器损坏。4）非专业人员请勿自己动手修理或拆解仪器，以免造成仪器损坏。任何必要的维修应由 ZEISS 公司或授权单位处理。10.校准周期：一年核准： 确认： 制定：
