气相沉积技术在提高塑料模具寿命中的应用.pdf

1、第 8卷 第 6期2008年 12月湖 南 工 业 职 业 技 术 学 院 学 报JO URNAL O F HUNAN IND USTRY POLY TECHN ICVol18 No16Dec12008气 相 沉 积 技 术 在 提 高 塑 料 模 具 寿 命 中 的 应 用曾 霞 文 谭 彦 显 陈 超 蔡 素 玲(湖 南 工 业 职 业 技 术 学 院 , 湖 南 长 沙 410208)摘 要 气 相 沉 积 技 术 是 一 种 实 用 而 有 效 的 模 具 表 面 强 化 新 技 术 、 新 工 艺 。 通 过 对 物 理 气 相 沉 积 PVD和 化 学 气 相 沉 积 CVD的分

2、析 和 对 比 , 在 对 几 种 模 具 材 料 进 行 涂 层 试 验 之 后 , 分 析 和 总 结 了 气 相 沉 积 技 术 应 用 于 塑 料 模 具 的 可 行 性 及 应 注 意 的 几 个 问 题 。关 键 词 气 相 沉 积 , 表 面 , 塑 料 模 具中 图 分 类 号 TB21 文 章 标 识 码 A 文 章 编 号 1671 - 5004 (2008) 06 - 0011 - 03The Applica tion of Vapor D eposition on the Pla stic M ouldZENG Xia - wen, TAN Yan - xian, CH

3、EN Chao, CA I Su - lin(Hunan Industry Polytechnic , changsha 410208, Hunan) Abstract Vapor deposition technique is the new technology and p rocess of mold surface strengthening , which is p ractical and effective.Through analyzing and comparising of the physical vapor deposition ( PVD) and chem ical

4、 vapor deposition (CVD) , and making test on coating ofseveral mould materials , we analyze and sum up the feasibility that the vapor deposition technology be used in p lastic mold, and some issueswhichshould be paid attention . Key words vapor deposition; coating; p lastic mould收 稿 日 期 2008 - 11 -

5、10基 金 项 目 本 文 系 湖 南 省 教 育 厅 资 助 课 题 , 编 号 07D029。作 者 简 介 曾 霞 文 (1962 - ) , 女 , 湖 南 湘 乡 人 , 湖 南 工 业 职 业 技 术 学 院 副 教 授 、 工 程 师 , 研 究 方 向 : 模 具 设 计 与 制 造 。一 、 引 言模 具 的 使 用 性 能 特 别 是 使 用 寿 命 反 映 着 一 个 国 家 的 工 业水 平 , 各 国 都 非 常 重 视 模 具 工 业 的 发 展 和 模 具 寿 命 的 提 高 工作 。 科 学 研 究 和 实 践 证 明 , 模 具 在 通 过 常 规 热 处 理

6、 获 得 良 好的 基 体 强 韧 性 之 后 , 再 经 过 表 面 强 化 处 理 , 可 以 使 模 具 具 有表 面 高 硬 度 、 耐 磨 、 耐 蚀 、 耐 热 、 抗 粘 着 和 低 摩 擦 系 数 等 许多 优 良 性 能 , 会 使 模 具 寿 命 提 高 几 倍 甚 至 几 十 倍 。 其 中 气 相沉 积 技 术 就 是 一 种 实 用 而 有 效 的 模 具 表 面 强 化 新 技 术 、 新工 艺 。二 、 气 相 沉 积 涂 层 技 术 提 高 模 具 寿 命11物 理 气 相 沉 积 涂 层 技 术物 理 气 相 沉 积 PVD现 在 已 被 广 泛 应 用 于

7、欧 美 等 地 的 制 造业 , 但 在 我 国 则 仍 处 于 刚 起 步 的 发 展 阶 段 , PVD技 术 主 要 适用 于 刀 具 (如 铣 刀 、 车 刀 、 刀 片 和 钻 头 等 ) , 模 具 (如 冲 压拉 伸 、 成 形 、 钟 表 外 壳 模 具 及 精 密 零 配 件 等 ) , 涂 层 处 理 可以 增 加 工 件 硬 度 (抗 磨 力 和 降 低 摩 擦 系 数 ) 从 而 延 长 工 件 寿命 。 一 般 可 延 长 3 至 10 倍 , 目 前 主 要 的 涂 层 包 括 TiN、TiCN、 CrN、 TiA lCN、 Ti2N等 , 每 种 涂 层 各 有

8、其 不 同 的 特 性和 用 途 , 虽 然 传 统 硬 化 工 艺 如 表 面 渗 氮 、 碳 氮 共 渗 、 电 镀 硬铬 或 镍 等 技 术 也 能 使 工 件 表 面 变 硬 , 例 如 在 模 具 淬 火 后 进 行表 面 渗 氮 或 碳 氮 化 合 物 都 能 在 低 于 回 火 温 度 下 实 现 1000HV以 上 的 表 面 硬 度 , 同 时 提 高 表 面 的 抗 腐 蚀 、 耐 磨 和 抗 龟 裂 等特 性 , 并 降 低 摩 擦 系 数 , 但 是 , 这 些 模 具 无 法 承 受 高 温 压 铸的 工 况 , 因 此 不 适 宜 用 于 钢 , 铝 等 材 料 的

9、 压 铸 加 工 , 至 于 电镀 硬 铬 或 镍 , 则 因 其 抗 疲 劳 性 较 差 , 一 旦 失 效 就 会 出 现 龟 裂现 象 , 改 善 的 方 法 之 一 是 加 厚 镀 层 , 但 却 会 使 镀 层 的 附 着 力降 低 , 同 时 使 表 面 精 度 及 粗 糙 度 提 高 , PVD则 不 存 在 以 上 弊病 , 实 践 证 明 , 工 件 经 PVD涂 层 处 理 后 , 寿 命 和 生 产 效 率 都能 够 增 加 3至 10倍 , 特 别 是 一 些 精 密 工 具 , 经 处 理 后 更 能 承受 涂 层 前 不 可 能 承 受 的 严 苛 加 工 条 件

10、, 另 外 , 已 损 耗 的 刀 具经 翻 磨 及 脱 去 原 有 涂 层 后 , 只 需 再 次 进 行 涂 层 处 理 便 能 重 新使 用 , 这 是 很 具 经 济 意 义 的 。21化 学 气 相 沉 积 涂 层 技 术化 学 气 相 沉 积 (CVD) 是 借 助 空 间 气 相 化 学 反 应 在 基 材表 面 上 沉 积 固 态 薄 膜 的 工 艺 技 术 。 应 用 CVD 方 法 将 TiC、TiN、 Ti (C. N)、 A l2O3等 涂 覆 于 刃 具 、 模 具 及 各 种 耐 磨 结构 零 件 表 面 上 , 获 得 几 个 微 米 厚 的 涂 层 。 以 上

11、几 种 CVD的 硬质 涂 层 基 本 具 备 低 的 滑 动 摩 擦 系 数 , 高 的 抗 磨 能 力 , 高 的 抗接 触 疲 劳 能 力 , 高 的 表 面 强 度 , 保 证 表 面 具 有 足 够 的 尺 寸 稳定 性 与 基 体 之 间 有 高 的 粘 附 强 度 。 使 硬 质 合 金 刀 片 的 寿 命 提高 1至 5倍 以 上 , 而 冷 作 模 具 的 寿 命 可 提 高 3至 数 10倍 。31PVD和 CVD的 比 较表 1列 出 了 两 种 工 艺 处 理 特 性 的 比 较 。 下 面 就 实 际 应 用中 有 关 问 题 进 行 讨 论 。PVD处 理 的 最

12、大 特 点 是 , 沉 积 过 程 中 模 具 不 发 生 变 形 ,所 以 它 是 尺 寸 精 度 要 求 高 的 模 具 或 机 械 零 件 最 适 宜 的 表 面 强化 技 术 。 缺 点 是 不 能 沉 积 直 径 小 于 3 mm的 深 孔 及 窄 的 沟 槽 ,此 外 不 能 对 有 氧 化 腐 蚀 、 变 质 层 的 零 件 进 行 沉 积 涂 层 。 为 了11 1994-2011 China Academic Journal Electronic Publishing House. All rights reserved. http:/充 分 发 挥 PVD处 理 的 稳 定

13、 效 果 , 模 具 材 料 应 先 进 行 热 处 理 或氮 化 , 从 而 获 得 尽 可 能 高 的 硬 度 , 同 时 被 处 理 表 面 的 粗 糙 度应 小 于 1 m。CVD处 理 是 在 800 1200 的 高 温 , 所 以 必 须 考 虑 由 处理 而 带 来 的 尺 寸 、 形 状 变 形 问 题 。 特 别 是 细 长 杆 件 、 半 导 体用 模 具 以 及 其 它 精 度 达 微 米 级 公 差 的 精 密 模 具 (如 模 具 冲杆 、 加 料 仓 等 ) , 应 避 免 CVD处 理 。 但 是 对 于 表 3所 列 的 变形 小 的 钢 种 不 限 。 采

14、用 CVD 处 理 时 , 必 须 对 模 具 材 料 的 选用 , 材 料 取 向 、 模 具 大 小 、 形 状 、 预 先 热 处 理 等 精 心 安 排 和考 虑 。表 1 PVD和 CVD处 理 的 特 性 比 较比 较 项 目 PVD处 理 CVD处 理沉 积 粒 子 能 量 /ev 014 1000 011 012处 理 温 度 / 180 560 , 但 一 般 都 在360 以 上 一 般 在 800 1000 范 围处 理 时 间 /h 2 5 1 2气 氛 /Pa 10 - 2 1 5 104或 常 压涂 覆 材 料 纯 金 属 、 合 金 、 化 合 物 、碳 、 氢

15、(气 体 )、 N2 等金 属 蒸 气 、 卤 化 物蒸 气 、 碳 氢 气 体 、N2、 H2 等基 体 材 料 任 意 有 限 制 , 低 温 回 火材 料 不 可 应 用涂 层 种 类 纯 金 属 、 化 合 物 (碳 化物 、 氮 化 物 、 硼 化 物 等 )纯 金 属 、 化 合 物(碳 化 物 、 氮 化 物 、硼 化 物 等 )涂 层 厚 度 / m 3 8 3 10涂 层 组 织 形 态 纤 维 组 织 、 柱 状 晶 、 等 轴晶 、 甚 至 非 晶 态 纤 维 组 织 、 柱 状 晶 、等 轴 晶 、 甚 至 非 晶 态涂 层 与 基 体 间 结 合 力 良 好 , 但

16、基 体 表 面 存 在 氧化 腐 蚀 时 差 优 良 (有 扩 散 过 渡层 )表 面 光 洁 度 变 化 无 基 本 没 有尺 寸 变 化 和 变 形 小 有 热 处 理 变 形形 状 和 涂 层 形 成 背 对 蒸 发 源 部 分 涂 覆 不 上 ,小 径 深 孔 窄 槽 不 利 与 形 状 无 关 , 可 用于 复 杂 形 状 的 模 具能 否 局 部 涂 覆 可 以 一 般 不 可 能涂 层 与 热 处 理 关 系 高 温 回 火 材 料 沉 积 涂 层 后不 再 热 处 理 沉 积 涂 层 后 进 行 真空 热 处 理涂 层 特 性 提 高 耐 磨 、 耐 热 、 抗 蚀 、抗 烧

17、伤 性 和 脱 模 性提 高 耐 磨 、 耐 热 、抗 蚀 、 抗 烧 伤 性 和脱 模 性成 本 较 高 较 低模 具 适 用 性拉 伸 模 、 磁 性 塑 性 成 型 模 、塑 料 模 、 压 强 小 于 50 kg/m m2 的 模 具 均 有 效冲 压 、 塑 压 、 压 铸 、锻 造 、 粉 末 、 陶 瓷 、铁 氧 化 体 成 型 模 等由 于 CVD处 理 涂 层 的 组 织 中 存 在 扩 散 层 过 渡 区 , 所 以 可以 得 到 结 合 力 很 强 的 涂 层 。 因 而 即 使 施 加 表 面 压 强 高 达 200kg/mm2 的 减 薄 拉 伸 和 有 冲 击 力

18、的 零 件 , 模 具 也 不 会 产 生 剥落 、 崩 块 等 问 题 。 对 铁 氧 体 、 陶 瓷 磁 性 塑 料 等 成 型 模 的 耐 磨性 、 抗 腐 蚀 性 和 脱 模 性 都 得 到 大 幅 度 提 高 。 经 CVD处 理 的 模具 , 一 般 还 需 要 在 真 空 炉 中 重 新 淬 火 , 变 形 较 大 , 处 理 的 程度 不 如 PVD简 便 。三 、 气 相 沉 积 涂 层 技 术 应 用 于 塑 料 模 具 的研 究11塑 料 模 具 的 工 作 条 件 及 失 效 形 式众 所 周 知 , 模 具 在 使 用 过 程 中 承 受 着 各 种 形 式 的 复

19、杂 应力 , 其 表 面 更 是 处 于 极 大 的 应 力 状 态 下 , 服 役 条 件 更 为 恶 劣 。模 具 的 失 效 和 破 坏 , 往 往 发 生 在 表 面 或 由 表 面 开 始 , 模 具 表面 性 能 的 优 劣 将 直 接 影 响 到 模 具 的 使 用 寿 命 。 特 别 对 于 塑 料模 具 来 说 , 由 于 塑 料 成 型 加 工 是 在 一 定 的 温 度 下 进 行 的 , 模具 的 工 作 温 度 一 般 在 250 以 下 , 并 且 由 于 某 些 塑 料 在 成 型加 热 时 会 分 解 出 氯 化 氢 或 氟 化 氢 气 体 , 这 些 腐 蚀

20、性 气 体 会 对塑 料 模 具 表 面 造 成 腐 蚀 , 同 时 , 大 部 分 塑 料 中 都 加 有 一 定 量的 填 料 , 如 玻 璃 纤 维 、 粉 未 填 充 剂 会 造 成 对 塑 料 模 具 表 面 的磨 损 , 腐 蚀 后 的 模 具 表 面 粗 糙 度 提 高 又 会 加 剧 模 具 的 磨 损 导致 失 效 。 因 此 , 提 高 塑 料 模 具 使 用 寿 命 , 便 是 通 过 采 取 必 要的 技 术 手 段 , 提 高 其 表 面 抗 磨 性 、 抗 腐 蚀 性 、 抗 热 粘 附 性 。21对 常 用 模 具 材 料 的 涂 层 试 验 及 应 用我 们 以

21、 常 用 的 模 具 材 料 进 行 PVD涂 层 试 验 , 试 验 内 容如 下 :1) 试 样 : 以 Cr12 MoV为 基 体 材 料 , 加 工 成 30 30 10mm3规 格 的 试 样 , 经 常 规 热 处 理 后 , 硬 度 为 60HRC。 再经 砂 纸 研 磨 (从 粗 砂 到 03 #) , 最 后 用 W 215金 刚 石 研 磨 膏 抛光 。 试 样 在 涂 层 前 经 严 格 的 清 洗 、 除 锈 和 除 油 。2) 处 理 涂 层 制 备 工 艺 为 : 试 样 先 在 LD28 100型 离 子 氮 化炉 中 进 行 离 子 氮 化 , 氮 化 温 度

22、500 , 氮 化 时 间 5h , 真 空 度480 520Pa , 工 作 电 流 30 40A。 随 后 用 非 平 衡 磁 控 溅 射( Teer 450 / 4 UDP) 沉 积 Ti/ TiN涂 层 , 沉 积 前 , 试 样 在 -500V偏 压 下 用 A r离 子 清 洗 , 然 后 用 Ti靶 在 - 60V 偏 压 下沉 积 0. 1 mTi底 层 和 3 m TiN涂 层 。3) 试 验 结 果 如 表 2表 2 TiN涂 层 检 验 结 果检 验 项 目 检 验 方 法 结 果涂 层 厚 度 m 金 相 检 验 3. 02涂 层 硬 度 HV0. 025 显 微 硬

23、度 2500、 2645、 2450膜 基 结 合 强 度 N 按 JB /8554 - 1997 65N摩 擦 系 数 GB /T18682 - 2002附 录 F检 测 0. 215涂 层 耐 蚀 性 h 盐 雾 腐 蚀 时 间 620小 时 60小 时颜 色 目 测 金 黄 色4) 应 用 根 据 以 上 的 研 究 结 果 , 将 由 Cr12MoV 钢 制 作 的PVC塑 料 注 射 成 型 模 具 , 经 常 规 热 处 理 后 进 行 PVD 法 沉 积TiN强 化 处 理 , 其 耐 磨 性 能 提 高 , 由 于 耐 盐 雾 腐 蚀 性 能 提 高了 , 使 模 具 表 面

24、不 会 发 生 点 蚀 而 引 起 粘 模 , 所 以 模 具 在 脱 模时 不 粘 模 , 塑 件 表 面 光 滑 , 质 量 好 , 使 用 寿 命 比 原 来 提 高 2 4倍 , 提 高 了 生 产 效 益 。四 、 气 相 沉 积 涂 层 技 术 应 用 于 塑 料 模 具 的几 个 应 注 意 的 问 题11基 体涂 层 使 用 性 能 的 好 坏 不 仅 取 决 于 涂 层 本 身 的 性 能 , 而 且还 和 基 体 材 料 的 性 能 有 关 , 尤 其 是 基 体 材 料 的 硬 度 , 只 有 建立 在 比 较 坚 硬 的 基 体 材 料 上 , 硬 质 涂 层 才 能

25、发 挥 出 其 优 越 的耐 磨 性 。 基 体 材 料 硬 度 不 同 , 则 TiN涂 层 与 基 体 的 结 合 强 度亦 不 同 , 基 体 硬 度 越 大 , TiN涂 层 与 基 体 的 结 合 越 好 , 在 实际 应 用 中 , 要 尽 量 使 基 体 材 料 在 沉 积 温 度 下 保 持 高 的 硬 度 以21第 6期 湖 南 工 业 职 业 技 术 学 院 学 报 2008年 1994-2011 China Academic Journal Electronic Publishing House. All rights reserved. http:/提 高 涂 层 质

26、量 。 基 体 表 面 粗 糙 度 及 洁 净 度 对 涂 层 质 量 也 会 产生 影 响 , 表 面 粗 糙 度 越 小 , 表 面 越 洁 净 , 涂 层 与 基 体 的 结 合强 度 越 高 , 所 以 基 体 表 面 最 好 能 抛 光 、 去 油 。因 此 , 应 注 意 选 择 能 满 足 服 役 条 件 以 及 涂 层 与 基 体 之 间的 匹 配 性 的 基 体 材 料 , 如 两 者 的 热 胀 系 数 、 界 面 能 、 化 学 性 、冶 金 性 以 及 两 者 之 间 是 否 会 生 成 脆 的 或 软 的 中 间 过 渡 层 等 。对 于 高 温 化 学 气 相 沉

27、积 ( TCVD ) , 由 于 处 理 温 度 较 高 , 必 须考 虑 基 体 材 料 的 耐 热 性 和 组 织 结 构 变 化 情 况 , 因 此 一 般 选 择硬 质 合 金 、 高 速 钢 、 基 体 钢 、 高 碳 高 铬 工 具 钢 、 气 淬 工 具 钢 、热 模 钢 等 为 基 体 材 料 。 而 对 于 碳 素 工 具 钢 如 T10A等 , 由 于在 热 处 理 后 进 行 表 面 处 理 , 其 处 理 温 度 低 于 基 体 的 回 火 温 度如 碳 素 模 具 钢 、 低 合 金 模 具 钢 在 低 温 回 火 态 使 用 , 则 不 宜 采用 PVD法 处 理

28、, 因 为 处 理 温 度 高 于 回 火 温 度 , 将 导 致 基 体 材料 软 化 。 如 : Cr12MoV 钢 只 有 用 高 淬 高 回 热 处 理 工 艺(1050 淬 火 , 520 回 火 三 次 ) , 才 能 施 行 PVD 处 理 ; 而Cr12MoV钢 若 用 低 淬 低 回 热 处 理 工 艺 (980 淬 火 , 200 回火 ) 时 , 则 只 能 在 基 体 热 处 理 前 进 行 CVD 处 理 。 模 具 在CVD处 理 之 前 , 应 精 加 工 至 最 终 尺 寸 , 因 为 经 过 这 类 表 面 处理 后 , 模 具 不 再 进 行 机 械 加 工

29、 。 为 了 合 理 的 选 用 表 面 处 理 方法 (CVD或 PVD) , 必 须 对 具 体 模 具 的 工 作 条 件 、 制 造 过 程 、基 体 材 料 以 及 热 处 理 工 艺 等 进 行 全 面 分 析 , 再 确 定 选 用 最 合适 的 表 面 处 理 方 法 。 并 通 过 实 验 , 确 定 合 适 的 工 艺 参 数 , 严格 操 作 工 序 , 方 能 收 到 预 期 的 效 果 。21根 据 基 体 材 料 合 理 选 择 涂 层 材 料根 据 工 件 的 服 役 条 件 选 择 具 有 相 适 应 的 物 理 、 化 学 性 能的 涂 层 材 料 。 但 是

30、 , 随 着 工 模 具 技 术 的 飞 速 发 展 , 单 一 涂 层难 于 满 足 使 用 性 能 要 求 时 , 如 TiN涂 层 在 高 温 条 件 下 抗 氧 化 、抗 扩 散 磨 损 能 力 等 方 面 的 不 足 , 在 此 情 况 下 , 应 用 新 型 的 纳米 复 合 涂 层 技 术 , 将 氮 化 物 、 碳 化 物 、 氧 化 物 和 硼 化 物 组 合起 来 , 组 成 种 类 繁 多 的 复 合 型 化 合 物 和 固 溶 体 涂 层 , 如 ( Ti,Zr) N、 ( Ti, Mo) N、 ( Ti, Si) N等 , 可 以 满 足 工 模 具 对 涂层 性 能

31、 日 益 提 高 的 要 求 。31确 定 合 适 的 涂 层 厚 度TiN涂 层 厚 度 对 涂 层 结 合 强 度 有 影 响 , 若 涂 层 太 薄 (115 m) , 在 外 力 作 用 下 涂 层 容 易 变 形 剥 落 , 若 涂 层 太 厚 (417 m) , 涂 层 应 力 增 加 , 其 抗 变 形 、 抗 剥 落 能 力 也 会 下 降 ,涂 层 厚 度 在 215 315 m为 最 佳 。表 2 是 常 用 CVD涂 层 厚 度 范 围 ,具 体 厚 度 要 根 据 服 役 条 件 来 选 择 。表 2 常 用 CVD涂 层 厚 度 范 围涂 层 材 料 TiC TiN

32、Ti(C、 N) - A l2O3 Gr7C3 复 合 涂 层厚 度 ( m) 2 8 5 14 4 10 2 10 7 12 3 1541根 据 使 用 条 件 实 施 合 理 的 涂 层 工 艺对 于 塑 料 模 具 , 采 用 CVD处 理 沉 积 TiN ( TiC + TiN ) 涂层 效 果 好 。 关 于 脱 模 性 , 无 论 采 用 沉 积 TiC或 沉 积 TiN均 可发 挥 优 异 的 性 能 , 但 在 工 作 条 件 苛 刻 、 载 荷 大 的 情 况 下 ,CVD处 理 表 现 出 稳 定 的 效 果 。 对 于 深 孔 型 及 复 杂 型 腔 的 模具 , 使 用

33、 CVD处 理 较 PVD处 理 更 易 形 成 涂 层 。 对 于 那 些 压强 超 过 500kg/mm2, 耐 磨 性 要 求 高 的 深 孔 模 具 , 宜 使 用 CVD处 理 。 对 于 要 求 提 高 抗 咬 合 性 的 模 具 , 表 面 有 5 m的 TiC涂层 就 可 有 显 著 效 果 ; 若 要 提 高 耐 磨 性 , 则 通 常 需 形 成 810 m的 TiC涂 层 。塑 料 模 具 由 于 受 压 不 是 很 大 , 而 精 度 要 求 高 , 亦 宜 采 用PVD处 理 。 它 也 可 用 于 切 削 刀 具 、 和 部 分 冷 作 模 具 的 处 理 。为 了

34、 提 高 模 具 的 耐 磨 性 , PVD处 理 的 TiN涂 层 厚 度 应 在 5 m以 上 , 太 薄 的 涂 层 只 能 用 于 装 饰 或 防 蚀 , 并 应 适 当 调 节 工 艺参 数 以 提 高 TiN涂 层 的 硬 度 。参 考 文 献 1 范 玉 殿 1Sudarshan T S. 表 面 改 性 技 术 M 1北 京 :清 华 大 学 出 版社 , 19921 2 李 学 丹 1真 空 沉 积 技 术 M 1杭 州 :浙 江 大 学 出 版 社 , 19941 3 徐 滨 士 1表 面 工 程 与 维 修 M 1北 京 :机 械 工 业 出 版 社 , 19961 4

35、刘 或 1日 本 工 模 具 钢 及 表 面 强 化 工 艺 现 状 J 1国 外 金 属 热 处理 , 1996 (1 2) : 18 221 5 沈 利 群 1表 面 处 理 技 术 在 模 具 上 的 应 用 J 1金 属 热 处 理 , 1996(5) : 27 291 6 王 德 文 1模 具 材 料 及 热 处 理 技 术 的 发 展 (二 ) J 1国 外 金 属 热处 理 , 1997 (2) : 5 71 7 张 林 荣 ,张 福 林 1用 化 学 气 相 沉 积 TiN涂 层 提 高 模 具 上 的 使 用 寿命 A 1全 国 化 学 气 相 沉 积 会 议 论 文 集 1 8 林 香 祝 1西 安 理 工 大 学 学 报 ,气 相 沉 积 技 术 在 模 具 上 的 应 用 1(2001)第 17卷 第 4期 1 9 潘 应 君 1金 属 热 处 理 1PCVD法 在 模 具 钢 表 面 沉 积 Ti ( CN )涂 层的 研 究 12003年 第 28卷 第 8期312008年 湖 南 工 业 职 业 技 术 学 院 学 报 第 6期 1994-2011 China Academic Journal Electronic Publishing House. All rights reserved. http:/