1、,图 解 入 门 静 电 入门手册 静电消除器基础知识,目录,静电入门手册,第1章 静电是什么? 静电引发故障! 2,第5章 静电消除器的基础知识,DC方式和AC方式, 20, 3,什么时候产生静电?,除电时间与静电平衡, 22,静电是什么? 4 物质带电是怎么回事? 6 单纯由导体引起的静电感应 7 带电列与带电量的关系 8, 24,静电消除器有3种类型, 25 26 27,只有高频AC方式才能做的微小除电 静电平衡优良的风扇型静电消除器 广范围高速除电的棒型静电消除器, 9,发出“啪!”声音时感知的带电量,第6章 静电测量 灵巧地测量静电 28 静电测量时的注意点 29,引力、库仑力 灰尘
2、附着的原理, 10 11,静电消除器周围的金属体的影响 30 除电对象物周围的金属体的影响 31 必须进行接地 32,静电破坏是怎么回事? 12 引起静电破坏的原因 13,静电破坏的原理, 14,第8章 静电消除器的维修,随着时间的推移,除电能力也变差, 33,除电是指去除电子吗? 导电体的除电方法 用静电环就可轻松除电,15 16 17 18 19,变差的原因放电针的污垢, 33,变差的原因放电针的磨损 34 放电针的维修与寿命 35,绝缘体的除电方法 用静电消除器除电, , 36,有效除电的思路,1,第9章 有效地引进静电消除器,第4章 各种各样的除电方法,第3章 静电引发的设备破坏问题,
3、第7章 静电消除器的使用方法,第2章 静电引起的附着问题,画像,画像,画像,第1章 静电是什么?,静电引发故障!,在制造现场引起机械停止或产生不合格品等故障的原因之一就是静电。,静电会在制造现场引起下列的故障。,吸附错误造成吸附2片,零件送料器的堵塞,贴标错误,切屑的缠绕,玻璃基板放电造成模板 破坏,现场的不舒适感,2,第1章 静电是什么?,什么时候产生静电?,那么,在什么时候会产生静电呢?,例如,垫子和头发这两种物体摩擦后会产生静电。此外,在剥离物体或仅仅是接触也会引起静电。从科学 上讲,“静电是因两个物体接触和剥离、摩擦、物体变形、离子附着等产生的现象”。,在这些时候产生静电 两个物体摩擦
4、时,剥离接触在一起的东西时,3,要点! 在反复进行摩擦和剥离的制造现场的工序中会产生很多静电。,第1章 静电是什么?,静电是什么? 之1 电有静电和动电两种。在干燥的冬天,从汽车里出来时接触车门后会发出“啪”的一声,这就是静电。用垫 子摩擦头发后头发会粘在垫子上,这也是静电。也就是说,电子“停留”在汽车和垫子上的状态就是静电。相 对于此,动电是指电子在电线中“流动”的状态。 一切物质是由带有负()极性的电子和正()极性的质子和中性的中子构成的。然而,两个物体摩 擦或剥离时,一个物体的电子跳出,正极性变多,另一个物体附着了电子,负极性变多。这叫做带电,例 如,垫子带负电,头发带正电。,一个物体的
5、电子跳出后带正电。,原子的结构 ,的质子 10个,两个物体摩擦剥 离时,的电子,9个,质子的数量多,因此 带正电, , , , , , , , , ,附着电子后带负电。 ,例如, 的质子 10个 的电子 10个时 、同数,因此稳定,的质子 10个,的电子,11个, , ,电子的数量多,因此 带负电, , ,4,第1章 静电是什么?,静电是什么? 之 2 让我们再次看一看物质是什么。一切物质是由带负()极性的电子和正()极性的质子和中性的 中子构成的。也就是说,电子是构成物质的一种成分。,分子,原子,原子核,物质,电子,静电带电的状态 带电状态并不是电子“乘坐”在物质上,而是物质本身“发生了变化
6、”。,相对于此,带电的状态 (静电带电的状态),处于平衡的 0 V 的状态 (静电不带电的状态),5,要点! 静电带电的状态是指物质本身发生变化的状态。, , ,第1章 静电是什么?,物质带电是怎么回事? 容易导电的物质叫做“导电体”,铁和铜、铝等是其代表。另一方面,难以导电的物质叫做“绝缘体”,丙 烯和橡胶、塑料等属于绝缘体。但是,不管是容易导电还是难以导电,物质都是带电的。 导电体和绝缘体的带电方式(带电分布)是不同的。,。, , ,即使接地也不变成 0。,6, 絶縁体場合 ,绝缘体的带电示意图, 導電体場合 ,导电体的带电示意图 进行接地后变成 0,第1章 静电是什么?,单纯由导体引起的
7、静电感应 静电感应是只在导电的金属等导体上引起的现象。带正电的带电体接近导体时,在导体接近带电体的,一面出现负电荷,在反面的一侧出现正电荷 (图1) 。,但是,拿走带电体后电荷恢复原样 (图2) 。,导体,导体,带电体,带电体, , , , , , , ,接近, , , ,离开, , , , , , , , , , , ,图1 带电体接近时,虽然保持中和,但电子在移动,图2,带电体离开后,壳体的电荷恢复原样, , , ,接地后 被中和,即使不接触物体,导体也会带电 (图3) 。, ,离开, ,残留了 负电荷,图3,7,第1章 静电是什么?,带电列与带电量的关系 两种物质摩擦时,哪一种物质带正电
8、、哪一种带负电?对其进行归纳后就形成了“带电列”。因物质的不 同,有些物质具有容易带正电的性质,有些则容易带负电。,一般来说,在这个带电列中位置关系相近的两种物质摩擦时带电量较小,位置关系远的两种物质摩擦 时带电量较大。 但是,摩擦带电因湿度、温度、摩擦物体形状和状态的不同也会发生变化,因此,该现象并非适合于 所有物质。另外,摩擦同一种物质时,虽然带电量少,但必然一个带正电,另一个带负电。,铝和丙烯摩擦后铝 丙烯 铝和丙烯摩擦后的带电量 铝和氯化乙烯摩擦后的带电量 8,负( ),特氟龙 氯化乙烯 赛璐珞 聚乙烯 聚氨酯 丙烯 奥纶 赛璐珞 聚酯 醋酸酯人造丝 金铂 黄铜银 镍铜 硬质橡胶 封蜡
9、 琥珀 木 麻 铁 棉花 铝 纸 丝 铅 头发毛皮 羊毛 尼龙 云母 玻璃 兔毛 石棉,人手 空气,正( ),-,+,带电列(摩擦顺序),第1章 静电是什么?,发出“啪!”声音时感知的带电量 带电量用V(伏)来表示。下表总结了人体带电量与电击的关系,人能感觉到的静电一般为3kV。如果是 1kV以下的静电,人体是感觉不到的,但是,在制造现场,即使是这种微弱的静电也会引起故障。,人体为10kV、车体为0V时,由于存在着 10kV的电位差,因此接触后会引起放电。,如果距离接近,只要少许的 带电量就会发生放电。,人体为0V、IC为500V时,由于存在着 500V的电位差,因此接触后会引起放电。,即使静
10、电环保持0V,由于 IC带电,也会发生放电。,选自:静电安全指南 劳动省产业安全研究所(1988)精选,9,要点! 带电量不同的两个物体接近时会产生放电现象。,人全带电电位,电击的程度,1kV,完全感觉不到,3kV,感觉到象针刺那样的刺痛,5kV,手掌甚至前臂感觉到电击和疼痛。放电发光从手指尖先延伸出去,7kV,手指、手掌剧烈疼痛,感觉到麻木,9kV,手腕剧烈疼痛,感觉到手的麻木在加重,10kV,整个手疼痛,感觉到流过电流,引力、库仑力 带电的两种物质接近时,“库仑力”开始工作。库仑力是指两个电荷之间工作的力,相同极性的静电相互 排斥,不同极性的静电相互吸引。但是,电荷很大时,由于吸引力大于排
11、斥力,因此会把物质吸引过 来。,垃圾 10,电荷 10,000V,尘埃 10,这种库仑力是制造现场各种各样故障的起因。 【食品、药品产业领域】,()食品 ()药品 ()成形品,垃圾混入、灰尘附着、粉体的飞散、标签粘贴不良等 垃圾混入、灰尘附着、粉体的飞散、筛选不良、粉尘爆炸等 垃圾混入、灰尘附着等,【纤维、紙、纸浆产业领域】,()纤维 ()胶片 ()纸,原料线的绞接不良、线缠绕、线切断等 附着灰尘、卷绕在滚筒上、静电放电等 因吸附错误而致使吸附2张,等等,10,要点! 具有被电荷大的一方吸引过来的性质。,排斥力,吸引力,第2章 静电引起的附着问题,灰尘附着的原理 为什么静电会使灰尘附着?根据附
12、着对象的不同,其原理大致可分为两种。一种是“附着在导体上”, 另一种是“附着在绝缘体上”。,附着在导体上,导体(金属体)接近带电的物质(灰尘等)时,金属的表面将会带电。这是静电感应 引起的,是电位和灰尘等的静电在库仑力的作用下相互吸引引起的现象。此 时,由于静电感应是产生库仑力的因素,因此即使对导体(金属)进行除电也 是无效的。必须对附着的物质即带电的灰尘本身进行除电。, 带电的 物质(灰尘等),导体(金属体),附着在绝缘体上,电荷大的绝缘体接近带电的物质(灰尘等)时,绝缘体会吸引带电的物质(灰 尘)。此时,只要对绝缘体进行除电就能使库仑力减弱,除电是有效的。, 带电的 物质(灰尘等),绝缘体
13、,11,要点! 附着在绝缘体时,对电荷大的一方进行除电可取得效果。,要点! 附着在导体(金属体)时,必须对附着的物质进行除电。,第2章 静电引起的附着问题,静电破坏是怎么回事? 静电破坏是静电放电(ESD)引起的故障之一。例如,众所周知,IC等电子部件被静电破坏的现象是静 电破坏的典型例子。由于是人体感觉不到微弱的静电,因此其特征是在不知不觉间引起了静电破坏。,静电破坏的事例 【半导体、液晶、电子仪器产业领域】 ()半导体 电路的破坏、特性变差、出货后不良等 ()液晶 液晶的破坏、晶体管的破坏等 ()电子仪器,装置的破坏、电路的误动作、设备的误动作,动作停止等 众所周知,半导体(IC、FET、
14、高频装置等)部件是非常敏感的,容易被静电破坏。,静电 破坏,接触!,静电环,12,要点! 接触时,大量的放电电流流过装置的电路。,带电的IC,佩戴着静电环的人体,第3章 静电引发的设备破坏问题,引发静电破坏的原因 作为静电破坏的原因,被认为有:作业人员,装置类,半导体元件,。,作业人员(从人体向装置放电) 人体带电模式(HBM) 装置,带有静电的人手接触到装置的导线部时,因静电放电使装置带 电。装置接地后,电路中流过放电电流,发生静电破坏。,电流,手,装置类(从装置向装置放电) 机器模式(MM),装置的导线部接触到带有静电的金属性装置等导电体时,因 静电放电使装置带电。装置接地后,电路中流过放
15、电电流, 发生静电破坏。,导电体,电流,半导体元件(装置自身带电引起的破坏),装置带电模式(CDM),装置自身摩擦后带电,使电路或导线部的导电体产生静电感 应。在此状态下接地后会引起静电放电,从而引发静电破坏。, , ,电流,13,第3章 静电引发的设备破坏问题,静电破坏的原理 静电放电发生时,大电流瞬间流过IC电路。该电流使电路的熔化,从而使装置发生不良情况。,静电破坏的实例 因静电破坏,使布线图形上产生电桥。一般来说,布线材料 铝的熔点是660、铜的熔点是1083。(参照右下图表) 在静电放电的瞬间,电路产生3000以上的热量。因此,超过 了熔点的铜和铝等布线熔化,从而产生了电桥。该布线引
16、起短 路或断线,使电路发生故障。这就是静电破坏的原理。 近年来,由于产品的小型化和薄型化,使电路变得微小化, 布线之间的间隔很短,这也是导致静电放电的一大因素。,布线材料的熔点和放电时的发热量,放电时的 温度,铜的熔点,铝的熔点,660,1083,3,000 铝和铜是普通的布线材料,14,要点! 把电子部件的静电控制在100V以下,这是一般的静电对策。,要点! 静电破坏时,布线越细,越容易产生低电压。,第3章 静电引发的设备破坏问题,除电是指去除电子吗?,“除电”与“去除静电”是不同的概念。正如“静电是什么?”一章中所述,“静电的产生是指物质内部的正负 平衡崩溃后发生的偏向于一方的不稳定状态”
17、。因此,要使这种不稳定的状态变成稳定的中和状态,这就 是“除电”。,除电的原理, , , , ,带电 0,带电,中和电子不稳定的状态,15,第4章 各种各样的除电方法,导电体的除电方法 导电体也带电。如前所述,即使不接触物体,导体也会带电。 但是,由于电子能流过导电体,因此通过接地就可简单地除电。,(参照“单纯由导体引起的静电感应”),下面,对于制造现场的典型导电体 机械(装置) 结。,作业人员(人体),工作台,的除电方法进行总,机械(装置)的除电 使机械接地就可简单除电。,作业人员(人体)的除电 使用静电环、导电鞋等就可除电。,静电环,工作台的除电 使用导电垫子就可除电。,导电垫,16,第4
18、章 各种各样的除电方法,用静电环就可轻松除电 与导电地板和导电鞋一样,只要套在手上就可简单除电的静电环(照片)经常被当作轻松廉价的静电对 策来使用。人体的静电通过静电环就可接地,使人体总是保持在 0V 的状态。 使用静电环时必须注意以下几点。 请定期检查静电环是否接地。 检查时请使用专门的测试器。只要在戴上静电环的状态下触动测试器就可确认静电的状态 (插图) 。 即使静电环的布线正确,人体流出的汗水变成干燥的盐分粘附在静电环上后,就会从接地变成绝缘 的状态。,照片,插图,其实,仅仅这样做,作为轻松廉价的静电对策来使用的静电环还是不能确保万无一失。正如“静电破坏 是怎么回事”一章所说明的那样,即
19、使利用静电环使人体的静电保持在0V,如果对象物带电,因静电放电 还是会引起静电破坏。仅仅对象物带有静电是不会破坏装置的,但是,与人接触的瞬间就会放出静电, 就有可能导致破坏。因此必须对对象物装置采取除电对策。,17,第4章 各种各样的除电方法,绝缘体的除电方法 不能流过电子的绝缘体用接地的方法除电是无效的。一般来说,,用防止带电的喷雾剂来除电,通过控制湿度来除电,用静电消除器来除电。,用防止带电的喷雾剂来除电 在绝缘体的表面形成一层导电体的覆膜,使电子流过,象 导电体一样进行除电。 将防止带电的喷雾剂喷射到绝缘体的表面,形成一层界面 活性剂的覆膜。(图1)该 界面活性剂吸收空气中的水分后 就可
20、使电子流过。 但是,这种方法只不过是一种简易的静电对策。虽然具有 轻松简单的优点,但持续效果不长,还会对工件产生坏影 响,因此必须加以注意。,界面活性剂的覆膜,防止带电的喷雾剂,绝缘体,图 1,通过控制湿度来除电 冬天容易引起静电,这是由于湿度的影响。湿度高时,即使产生静电,由于向空气中富含的水分放 电,因此静电不会残留。但是,在干燥的湿度较低的冬天,空气中的静电不会放电,由于人体和物质 带电,就会经常引发静电。 利用这种自然现象的除电对策就是通过控制湿度来除电。据说,静电自然放电的起始相对湿度为 65。 通过控制湿度来除电,是在静电发生的瞬间使其放电,其优点是营造出静电不带电的环境。另一方
21、面,它的缺点是:控制所有环境是很难做到的,引进设备的成本较高,高湿度会产生霉菌,作业人员 感到不舒适等。 18,第4章 各种各样的除电方法,用静电消除器除电 静电消除器又被称作静电去除装置,将离子气喷射在对象物上,缓和对象物的带电状态,从而去除静电。 静电消除器有4种类型:电晕放电式、放射线方式、软X线方式、紫外线方式。,高压电源,电晕放电式静电消除器的除电原理 通过从电极放出电子的电晕放电来产生离子,使带电物的静电中和,这就是电晕放 电式除电。这种类型的静电消除器的结构由“接地”、“高压电源”、“放电针”这3个部分 组成。 (图1) 除电的原理如下。,电极针,接地,图1,1. 从高压电源向放
22、电针施加3kV以上的高电压,从放电针 的尖端产生电晕放电。 2. 电晕放电后,放电针周围的空气被电性分解,从而产 生离子。此时,施加正电压后,产生正离子(图2), 施加负电压后产生负离子(图3)。,施加的高电压时,产生正离子, 电极针 ,施加的高电压时,3.,将该离子施加到带电物后静电被中和,即进行了除电。,图2,产生负离子 ,电极针,电晕放电式静电消除器的除电效果高,但另一方面,与防止带电的喷雾剂 相比价格高,引进的成本较高,这是它的缺点。,图3,19,第4章 各种各样的除电方法,第5章 静电消除器的基础知识,DC方式和AC方式之 1 电晕放电式静电消除器大致有2 种:根据向放电针施加电压方
23、式的不 同,分为“DC方式”和“AC方式”。 “DC方式”可进一步区分为“DC方式” 和“脉冲DC方式”,AC方式可区分为 “脉冲AC方式”、“高频方式”、“商用频 率方式”这3种。(图1),图1,DC方式备有专用的放电针和专 用的放电针,在各放电针上施加直流 (DC)电压后会产生正离子和负离 子。 相对于此,AC方式是在1根放电针上施 加交流(AC)电压,交互产生正负离子 (图2)。,放电针:根,放电针:专用、专用,产生正离子,0V,0V,产生负离子,图2,20,产生正离子,产生负离子,方式,方式,静电消除器,电晕放电式,DC方式,AC方式,DC方式,脉冲DC方式,脉冲AC方式,高频方式,商
24、用频率方式,第5章 静电消除器的基础知识,DC方式和AC方式之 2 比较离子发生的分布图后可以发现,AC方式(图)用根放电针交互产生离子,离子的发生量比DC 方式少,但静电平衡良好。 DC方式是专用的放电针和专用的放电针分别产生离子,因此离子发生量比AC方式多,但近距离时 静电平衡差,这是其特征。(放电针的数量因静电消除器性能的不同而不同),+放电针,放电针,-放电针,图1 AC方式,图2,DC方式,电晕放电式静电消除器的特征,21,AC方式,DC方式,优点,静电平衡良好 擅长近距离除电離,离子发生量多 擅长广范围除电,缺点,离子发生量比DC方式少 离子需要空气传输,近距离时的静电平衡差 有可
25、能对象物反向带电,第5章 静电消除器的基础知识,除电时间与静电平衡之 1 静电消除器的性能通过除电时间 除器被认为是高性能的优良产品。,静电平衡这两点来评估。除电时间快而且静电平衡良好的静电消,除电时间与静电平衡被定义如下。,除电时间 除电时间是指:带有1000V电压的带电物降低 到100V时除电所需的时间。,电压(V),1,000,静电平衡 用静电平衡这个词语来表达正、负的均衡保持在什么 程度?如何使对象物接近0? 静电平衡变差时,会使对象物反向带电。,100 0,时间,22,参考 JIS TRC 0027-1:2002 A 6.2 IEC 61340-5-1: 1998 A 6.2,静电平
26、衡,除电时间,第5章 静电消除器的基础知识,除电时间与静电平衡之 2 下图是某种静电消除器的除电特性。 样本上只有数字记述,这种特性可以用下图表示。 除电时间快,但可能对工件产生400左右的反向带电。 除电时间定义为达到100V的时间,0V时没有时间。 对象物品为抗静电较弱的设备时,反而可能发生反向带电的危险情况。,1000,700,100V,400,100,-100,-400,-700,-1000,时间(s),23,电压(V),要点! 根据对象,并非除电时间越快越好。,0 0.2 0.4 0.6 0.8 1 1.2 1.4 1.6 1.8 2 2.2 2.4 2.6 2.8 3 3.2 3.
27、4 3.6 3.8 4 4.2 4.4 4.6 4.8 5,第5章 静电消除器的基础知识,静电消除器有3种类型 如果按形状来对电晕放电式进行分类的话,则有风扇型,棒型,鼓风型这种类型。欧姆龙为了,最大限度地发挥AC方式和DC方式的长处,根据类型来区分使用。,风扇型(DC方式:ZJ-FA) 是内置风扇的类型,供应离子化的气体。可在机上作业时设 置和使用。特征是设置和操作简单。,在DVD拾音时除电,在电子部件等元件生产时除电,棒型(DC方式:ZJ-BA) 根据用途准备了各种长度的棒,最适合于广范围的除电。,在搬运液晶基板时除电,防止颠倒防止附着垃圾,鼓风型(AC方式:KS1),利用干扰可进行微小除
28、电。可供应的气体压力高,既可“吹散”灰 尘等附着物,又能“除电”。,防止装置的ESD,防止元件带电,24,第5章 静电消除器的基础知识,只有高频AC方式才能进行的微小除电,KS1系列,节省空间和丰富的喷嘴种类,对于微小的装置也能有效地进行非接触式除电。,喷淋喷嘴 60/90,平头喷嘴90,标准喷嘴,直棒喷嘴 100/200/300/400/500mm,柔性管喷嘴 100/200/300/400/500mm,高频AC,从个放电针上产生了等量的正/负离子,因此静电平衡 良好。 与以往的AC方式相比,用68KHz的高频振荡,因此产生 高密度的离子。 此外,在2kV的低电压状态下进行电晕放电,因此干
29、扰发生得很少。,放电针,不需要高压布线的安全设计。DC24V驱动型。 电源ON时起动很快,是能够立即使用的节能型。体积 小,可放心、安全地使用。,25,第5章 静电消除器的基础知识,静电平衡优良的风扇型静电消除器,ZJ-FA系列,采用了离子量多的DC方式,风扇的结构精良,用静电平衡传感器来进行反馈控制,实现了优良的 静电平衡。,混合式可变DC方式 与以往的产品相比,风扇部与放电针的配置倒了过来,把放电针配置在风扇部的后面,使产生的离 子搅拌,因此,放出的离子具有优良的静电平衡性。 在前面配置了静电平衡传感器,对离子检测电极与GND之间的电位差产生的离子电流进行检测,进 行反馈控制。,静电平衡传
30、感器,风扇, ,放电针, ,静电平衡传感器, ,搅拌,无论何时都达到静电平衡,混合式可变DC方式,静电平衡传感器的结构,26, ,高压发生 电路, 反馈电路,离子电流检 测电路,第5章 静电消除器的基础知识,广范围高速除电的棒型静电消除器ZJ-BA系列,通过电极结构精良的双重混合型可变DC方式和3个静电平衡传感器,可实现优良的静电平衡和 高速除电。 静电平衡传感器,空气,负离子,正离子,双重混合型可变DC方式 将放电针配置成倒V字型,搅拌正负离子后进行空气传输。 静电平衡打破时,3个静电平衡传感器会进行反馈。,适应于带电量的3种模式 除了等量放出正负离子的零平衡模式外,还可设定多放出正离子的正
31、模式和多放出负离子的负模式*。 知道对象物带正电多还是带负电多时,可多放出相反极性的离子,进行更加高速的除电。,零平衡模式,正模式,负模式,*,正模式负模式分别可设定两个阶段,进行控,制,使第1阶段增加50%,第2阶段增加75%(换 算成高压输出),27,灵巧的静电测量ZJ-SD系列 静电发生现象受周围环境和物质表面状态变化的影响,是再现性少的现象。为了有效地进行静电对 策,必须用联机的方式测量带电量的时间变化,这是很重要的。,联机静电传感器的介绍,小型传感头,灵敏放大器,能直接显示工件带电量的灵敏放大器和6mm平方的小型传感头。测量的带电 量可在电脑上进行波形显示和存入。 使带电量的经时变化
32、数据化,为静电对策和工序管理作出了贡献。,6mm方形 传感头,对象物是液晶基板等带电量不均匀的物体时,进行多点测量是有效的。 ZJ-SD型最多可连接5台放大器,能把数据一次性输入电脑。,28,第6章 静电测量,静电测量的注意点 设置距离产生的影响 测量静电的传感器(叫做表面电位计)可测量静电引发的电场 变化,但是,电场的变化在很大程度上受传感器与对象物之间的 距离的影响。 为了准确地测量带电量,为了不受距离变动的影响,必须在限 定的距离范围(非常狭窄)内测量,或者根据距离信息来校正静 电传感器的测量值。,静电传感器,距离数据,位移传感器,ZJ-SD与ZX位移传感器系列连接后,装 载了常时校正与
33、对象物之间的距离的功 能。,测量面积产生的影响 静电传感器的测量面积,根据与对象物之间的距离,呈指数函 数式地扩大趋势。测量带电量的分布不一样的绝缘体时,静电传 感器的测量电压显示为测量区域的平均电压。在使用数据时必须 充分考虑到这一点。,静电消除器,产生较多 负离子!,传感区域 带电物,用表面电位计测量后被平均 化,显示为“0V”,在某些设置场所,测量带电量并且使电压施加量变化的 静电消除器有可能根据平均化的带电量来进行控制,因 此有可能使对象物反向带电。,+1,500,+1,000,500,+500,29, , , ,( (,第6章 静电测量,静电消除器的设置、静电消除器周围的金属体的影响 为了最大限度地使静电消除器发挥除电时间和静电平衡的能力,首先必须注意的是“静电消除器的设,