1、Mright Chang,無塵室基礎知識簡介,万級無塵室,千級無塵室,一.無塵室定義,二.無塵室的部分應用,三.無塵室的發展歷史,四.無塵室的分類,五.無塵室的等級划分,七.無塵室的量測,八.無塵室的行為規范,目錄,六.無塵室基本結构圖,一.無塵室定義,無塵室(Cleanroom ) 是一間能夠控制微塵粒子濃度的房間,并且它是采用將引進及產生的污染微塵粒子數降到最低的原則來建造及使用,而且包含其它相關參數(例如溫度、濕度和壓力等等)皆必須加以控制在必要之范圍內。ISO 14644-1,二.無塵室的部分應用,三.無塵室的發展歷史,1. 潔淨室 (cleanroom) 這個名詞和概念源於 18 世
2、紀六十年代的歐洲醫學，當時的理解僅限於經噴灑消毒後可以控制創部感染率的處置室、手術室這類滅菌處理的工作環境。2. 1951年美國研製成功了高效空氣過濾器(HEPA)。3. 1961 年美國人懷特菲爾特 (Willis Whitfield) 提出了當時稱之爲層流 ，現正名爲單向流 的潔淨室氣流組織方案。從此潔淨室達到了前所未有的更高潔淨級別。4. 1961 年美國空軍制定頒發了世界上第一個潔淨室標準 TO -00 -25 -203 空軍指令“潔淨室與潔淨工作臺的設計與運轉特性標準”。5. 1963 年 12 月公佈了將潔淨室劃分爲三個級別的美國聯邦標準 FED STD 一 209 。至此形成了完
3、善的潔淨室技術的雛形。 6. 上世紀六十年代中期，潔淨室在美國各種工業部門出現 。7. 七十年代初潔淨室的建設重點開始轉向醫療、制藥、食品及生化等行業。除美國 外，其他工業先進國家，也都十分重視並先後大力發展了潔淨技術 。,四.無塵室的分類,一.分類方式:按照其通風方式來划分 二.類別:1. 亂流型無塵室,又稱非單向流無塵室氣流方向不受控制，潔淨度較低的無塵室都是用非單一流向型氣流以節省成本。,亂流型無塵室示意圖,2.單一流向型無塵室：氣流以同一個方向移動，這種無塵室稱為單一流向型無塵室，以前稱為層流型無塵室，定義並無多大改變。高潔淨度無塵室需要單一流向型氣流。單一流向型無塵室分類:(1)垂直
4、層流無塵室(2)水平層流無塵室,單一流向型無塵室,垂直層流無塵室-結构示意圖,垂直式單一方向流無塵室,牆壁排風型之垂直層流無塵室,水平層流無塵室-結构示意圖,五.無塵室的等級划分,無塵級別划分定義: 以每立方米(或立方英尺)為標准,以量測到的微塵粒子總數取對數,最后所得之值即為公制單位(或英制單位)分類之等級.,微塵粒子的大小,無塵室等級分類之規范(1),3,530,000,無塵室等級分類之規范(2),10萬級無塵為: 每立方英尺中含有粒徑為0.5m微塵粒子總數在10萬個以內的無塵室.,無塵室的等級分類-例,六.無塵室基本結构圖,風淋室,洁淨工作台,高效送風口,傳遞窗(無塵級別較高時采用),送
5、風系統,回風系統,送風系統結构圖,初效過濾網,中效過濾網,高效過濾器,天花頂和隔間結构圖,天花頂,高效送風口,縫隙間均為弧形, 以防止灰塵堆積,隔間,風淋室,外部,內部,七.無塵室的量測,1. 無塵室的三种作業形態:,2.測試設備粒子計數器,3.測試設備壓力計,在209的舊版本中，正壓有建議值，但是後來就取消了。目前常見的正壓值約是10到25 Pa之間。 量測時，所有門窗都必須關上，所有的供、排風系統也必須維持正常運轉。,斜管式&磁針式壓力計,4.測試設備風量計,5.空气采樣點數:,NL=A,NL為最少取樣點數(取最近整數),A為無塵面積,6.空气采樣時間:,一般為1分鐘,7.換气次數:,每小
6、時換气次數= 平均气流速度(ft/min)*無塵室面積(m2)*60(分鐘/小時) /無塵室体積(m3),八.無塵室的行為規范,1.人員著裝:,1.1.人員必須穿靜電服,靜電鞋;,1.2.人員著裝必須穿戴整洁,頭髮必須完全包在帽子內;,2.無塵室內部的行為規范(部分):,2.1.人員進出無塵室必須走更衣室;,2.2.無塵室內物品必須走物品風淋室.,2.5.門不允許在打開的狀態,且在開門時先确認另一扇門為關閉狀態;,2.8.無塵室內必須保持清洁衛生,定時打掃;,2.7.無塵室內禁止使用紙箱以及可能會污染無塵室環境的物品;,2.6.禁止攜帶私人物品和其他可能會污染無塵室環境的物品進入無塵室;,2.9.無塵室內使用之耗材須定期更換,如過濾網;,2.3.上班前應提前十分鐘左右打開無塵室內供、排風系統,以保証正壓;,2.4.上班時人員盡量不要有走動,盡量不要触摸工作臺;,谢谢您的參与！ 欢迎讨论、赐教！,
