1、1,低温泵的构造、保养项目及压缩机的日常点检,愛発科商贸（上海）有限公司2007年1月13日,2,、低温泵的构造、挡板的保养、冷冻机的保养、压缩机的日常点检,目次,3,挡板,冷凝板,K屏蔽筒,温度計,活性碳吸着材,安全弁,、,、ar,O,低温泵的构造,冷凍機段冷头,冷凍機段冷头,冷凍機,4,压缩机将氦气压缩之后送到冷冻机里冷冻机使被压缩的氦气在冷冻机里膨胀，冷却作用泵壳泵体内（挡板处）将气体凝固，使气体被吸空获得真空上述的三个系统组成一个整体的低温泵系统运转。,低 温 泵 的 构 成,5,为什么要定期保养？,泵,腔体,蒸着物,工业（艺）气体,生成物,因为是储存式的泵、所以内部会受污染,6,溅射
2、设备用的泵体内部,起着过滤作用所以污染程度比溅射的金属还要更污染,7,蒸发台使用的泵体内部,因为会产生很多水分再生时屏蔽筒的涂装处理层面会受影响，出现涂装层面脱落的现象,8,交換部品,冷凝板（）如有必要则更换,冷凝板（）如果有污染进行更换,挡板视情进行更换,屏蔽筒如有必要则更换,9,挡板,因为表面不光滑辐射出来的热量将被吸住，使温度上升,因为表面光滑将辐射出来的热量反射掉，防止温度上升,再生品,污染时的情况,10,再生品,污染后屏蔽筒, 屏 蔽 筒,涂装处理层面如果脱落了，辐射的热量被反射，增加15 K挡板的负载。,熱輻射,11,如果表面污染了将吸收辐射出来的热量，使温度上升成为可能,輻射熱,
3、 挡 板,再生品,污染的冷凝板,12,交換必要理由,活塞部分,从气缸中取出,确认污染程度,13,一段密封件因为磨损受污染,二段密封件因为磨损受污染,气缸内部的污染,汚,14,传动组件没有更换部品,阀体组件更换部品：特殊O型圈C密封件,驱动交換部品：驱动轴套驱动阀轴套*個,马达交換部品：马达轴套*個,驱动组件的分解图,交換部品,15,部,特殊型圈到污染，颜色变黑,16,押外。,C汚確認,17,新品使用品比較,新的密封件套装,使用12000小时以上的密 封件,18,交換部品一覧,交換：交換対応可能対応不可,O/H、交換,19,冷冻机保养内容,冷冻机的分解,清洗,组立（密封件，轴套的更换）,对已经内
4、部污染和磨损的密封件，轴套进行更换,氦气的置换.精制,推奨時間：,20,/,交換,交換,清掃,交換,清掃,交換,21,冷冻机内其他可能交换的部品,导向销:销子磨损超过1/4以上需要更换,活塞销:销子两端的耐磨层磨损变薄后需要更换,22,冷冻机内其他可能交换的部品,高低压阀体:磨损或密封不良时需要更换,中字架铜套:磨损较大松动时需要更换,23,冷冻机内其他可能交换的部品,摇锁座吊臂:损坏或间隙变大产生干扰时需要更换,轴承组件:磨损严重或变形时需要更换,24,冷冻机内其他可能交换的部品,固定位置O型圈:破损老化或者检漏泄漏处需 要更换。马达：马达驱动轴断裂或扭矩明显不足时需要交换。气缸：使用超过十
5、年或内部刮伤、有氦气泄漏的需要更换。马达键：磨损严重时需要交换。其他部件：有破损或明显不可修复变形时，需要交换。,25,压缩机日常点检,蝕強扮議儿薦柴,（狼双）,26,压缩机氦气填充,27,压缩机内部的油成分和油吸附器的作用氦气在压缩机里和油一起压缩，此时与氦气混在一起的大部分油在通过分离器的分离。吸附器的作用是将没有被油分离器分离出来的油成分，在进入冷冻机前完全过滤,役割,28,吸附器内部的活性炭在超过交换期限后，会处于饱和状态，导致吸附油分的能力下降如果油分进入冷冻机里那么在冷冻机内部变成固体、异物，导致各种机械性故障的 发生。,如果不定期更换吸附器，结果可能是付出预算以外的成本,交換時期超場合影響,29,冷冻的油成分导致的症状和问题点）损伤密封件突然发生故障）伤及冷冻机气缸导致更换气缸等高额修理费的）油成分沾在金属管内既是进行了标准的OH也会突然发生冷却不良,粘在活塞上的油,交換時期越場合問題点,30,不进行定期OH的危险性,因为连续使用加剧密封件以及轴套的老化,密封件：不能进行正常的气体转换，导致冷却不良轴套：轴套老化导致运转不良,导致定期保养以外的部品更换、导致生产的停止,保养所需的费用更换高,
